上芯工序5S规范

1、.：.；目 录 TOC o 1-2 h z u HYPERLINK l _Toc207014737 现场5S管理规范 PAGEREF _Toc207014737 h 2 HYPERLINK l _Toc207014738 一 小货架上物料放置规范 PAGEREF _Toc207014738 h 2 HYPERLINK l _Toc207014739 二 检验桌上物料放置规范 PAGEREF _Toc207014739 h 3 HYPERLINK l _Toc207014740 三 传送盒在货架上放置规范 PAGEREF _Toc207014740 h 3 HYPERLINK l _Toc207

2、014741 四 传送车上产品放置规范 PAGEREF _Toc207014741 h 3 HYPERLINK l _Toc207014742 五 静电环的运用规范 PAGEREF _Toc207014742 h 3 HYPERLINK l _Toc207014743 六 氮气柜中晶圆的放置规范 PAGEREF _Toc207014743 h 3 HYPERLINK l _Toc207014744 七 氮气柜中引线框架的放置规范 PAGEREF _Toc207014744 h 3 HYPERLINK l _Toc207014745 八 领班任务桌物料放置规范 PAGEREF _Toc20701

3、4745 h 3 HYPERLINK l _Toc207014746 九 氮气柜中兰膜的放置规范 PAGEREF _Toc207014746 h 3 HYPERLINK l _Toc207014747 十 设备上记录的放置规范 PAGEREF _Toc207014747 h 3 HYPERLINK l _Toc207014748 十一 产品传送规范 PAGEREF _Toc207014748 h 3现场5S管理规范目 的：经过5S管理、规范物料放置、提升任务效率：运用范围：上芯工序 一 小货架上物料放置规范序号图片阐明备注1设备旁边小货架按标识分类放置整齐；一致放置在左边；引线框架要侧放；不能

4、超出边缘线。2设备旁边小货架第一层小货架第一层放置晶圆提篮、装有产品的传送框、废引线框架或打产品；传送框中产品周围要留有缝隙；装有打产品的传送盒首尾时要及时清理放置以防混批。二 检验桌上物料放置规范序号图片阐明备注1检验桌检验桌上物料放置严厉按标识位置规范放置；三 传送盒在货架上放置规范序号图片阐明备注1货架上传送盒的放置规范同一封装方式传送盒整齐放置在货架的同一层并挂上标识牌；操作员取用时从右向左按序取用；四 传送车上产品放置规范序号图片阐明备注1 传送车上产品放置要求一层最多只能放置4框产品；流程卡对折放置在第一个和第二个传送盒中间；操作员放置时流程卡方向要一致;传送框不能超出传送车边缘平

5、安；一致封装方式不同批次产品不能放置在传送车同一层。五 静电环的运用规范序号图片阐明备注1 操作设备时1.操作设备及时插上静电环；2.抽检产品时及时插上静电环；2检验产品时1.在检验桌前检验产品时及时插静电环六 氮气柜中晶圆的放置规范序号图片阐明备注1 氮气柜外面1.一切晶圆按标识放置在对应的氮气柜中；2氮气柜中的晶圆提篮氮气柜中的晶圆提篮按规范放置在氮气柜中。七 氮气柜中引线框架的放置规范序号图片阐明备注1框架标签物料员领用的引线框架按标识分类放置在对应柜中；2氮气柜中框架放置规范1.引线框架一致按规范放置在柜的右侧；3框架放置规范 1.普通框架在氮气柜中都要竖放；4框架放置规范1.有盖子的不能竖放的平行放置。5框架的取用规范1.物料员取用框架时按先进先出的原那么从左向右取用。八 领班任务桌物料放置规范序号图片阐明备注1领班任务桌1.按标识规范放置整齐。2首尾兰膜放置规范1.操作员首尾的产品把流程卡、晶圆上芯统计记录、晶圆控制卡对着整齐的放置在兰膜的上面。九 氮气柜中兰膜的放置规范序号图片阐明备注1兰膜氮气柜1.将首尾兰膜按标识分类放置在对应氮气柜中；2氮气柜中记录及兰膜规范1.氮气柜中记录及兰膜放置规范；氮气柜中兰膜放置规范1.兰膜放置规范十 设备上记录的放置规范序号图片阐明备注1设备前面记录放置规范1.设备前面左面放置流程卡和晶圆控制卡；右面放置