ESD静电防护管制程序

1、名称ESCB电防护管制程序制订审核核准张明丰李超凡张政献1.0目 的：在制造.组装.测试.包装或贮藏高敏感电子装置.装配或产品之区域，须有控制静电的标准，使其改善产品质量，提高生产力.降低电子产品或敏感组件受静电的损害，使本公司以及外包厂商，有一个共同的标准化、高质量化, 可执行之制度，并满足客户要求。范 围：凡对厂内、外包厂商等单位之敏感组件、组装、装配和产品造成损坏 之区域或人员均适之。定 义：静电（ELECTROSTATIC）:静电之含义：是物体表面过剩或不足的静止电荷，一种电能形式， 它留存于物体表面，是正电荷和负电荷在局部范围内失去平衡的 结果，是通过电子或离子的转移而形成的。静电之

2、产生：通过摩擦、冲流、冷冻、电解、压电、温差等所产 生的。静电产生过程：在工业生产中常见的静电产生物理过程包括：固体静电产生包含：接触带电.金性属与高分固体的接触带 及断裂.压电效应.热电效应.剥离.电解等）。1. 3. 2粉体起电。1. 3 .3液体起电。静电现象：是电荷的产生和消失的过程中产生的静电现象的总称。静电之优缺点：静电具有双重性，即能为人类造福.即为利用静电应用技术制造出 静电复印.静电涂敷.静电除尘等，但是.在电子工业制造中也存在静电危害，现正 在日益表露出来并逐渐受人们所重视.其在电子工业领域的静电危害形式如下：静电吸附 静电放电引起的器件击穿（硬击穿.软击穿） 静电感 应.

3、静电放电时产生的电磁脉冲敏 感 组 件 : 电 子 组 件 在 电 子 产 品 制 造 业 上 最 为 普 遍 , 最 严 重 的 是 静 电 危 害 . 即 电 子 组 件 在 预处理.焊接.清洗.单 板测试.组 装,调试.直到包 装,贮存,发送等工序时,由 于 接 触 - 分 离 - 摩 擦 - 感 应 等 作 用 , 都 会 使 操 作 人 员 . 工 具 . 工 作 台 面 , 电子组 件,电子组 件包 装容器 等 产 生静电,同时会随时对电子组 件造 成静电损害 . 因 此 . 此 类 电 子组件 为 静 电敏 感 组 件 （ 如 IC. 晶 体 等）, 总 称 敏 感组 件 。静

4、电 释 放 : ESD （ELECTROSTATIC DISCHARGE） 一 种 突 然 产 生 的 静 电 重 新 分 配 , 这 对 敏 感 组件或装置会造成损坏。静 电 （ESD） 防 护 安 全 距 离 : 为 能 使 容 易 受 静 电 破 坏 之 产 品 . 敏 感 组 件 得 到 有 效 安 全 的 保 护 . 设 立 1 米 （3 尺 ） 保 护 范 围 的 安 全 距 离 。ESD 稽 核 员 : 对 静 电 防 护 的 产 品 . 工 作 区 域 . 敏 感 组 件 等 进 行 技 术 性 之 量 测 和 处 理 之 专 业稽核检查人员。特 定 工 作 人 员 : 指 正

5、 规 受 训 过 并 考 试 合 格 之 ESD 稽 核 员 和 主 管 级 以 上 干 部 。自 我 检 查 : 表 示 工 作 区 域 内 之 全 部 人 员 每 日 上 班 前 对 自 己 工 作 区 域 内 静 电防护检查。保 护 接 地 : 将 电 气 设 备 . 装 置 不 带 电 的 金 属 部 分 与 接 地 体 （ 地 壤 直 接 接 触 的导电金属体 ）之间作良好的金 属连接。9表面阻抗：表示物体之表面部分与接地线之间的绝缘电阻阻抗数值，通常用奥姆（Q） 表示。静 电电压 : 表示 物体表 面 过 剩 或 不 足的 静止 电 荷 量 . 用 电 压伏（Voltage）表示。

6、防静电屏蔽袋: 用防静 电材 料 之 包 装袋进行成 品 或 半成 品包装 （适用 于客户 要 求） 。导 体容器 : 用于 存放防 静 电 成 品 , 半成品之导 电 体容器 。有线静电手环: 为防止人体 接触敏 感组件而造成 静 电破坏,佩 带于手 （脚）上的防静 电物品,并用一根 导线连接 接到大。 .要求:手环上之 电阻在688.0 X 10 10 Q范围内.佩带手环之紧度要接触皮肤为准.静电手环又俗称“静电 手腕” 。静 电手 套 : 为 防止人 手触摸 敏 感组 件 , 使其上汗 . 油 污并造 成静 电 破坏和腐蚀，特佩带防静电的材料制作成的手套，并要求静电阻抗为1010Q,范围

7、内，静电电压为100伏特以下。防静电周转箱：为使容易受静电敏感之成品.半成品，存放于用防静电材 料制作的容器内，进行储存或运输.并要求用防静电材料制作之隔板进 行隔离。检定：即用标准器对被量测之仪器进行比对.检定值是否超出误差范围。内校：利用现有的可追溯到国家或国际之标准器，校正检定公司内之仪器。校正失效：用标准器对厂内仪器进行量测比对，被量测之仪器示值超出 最大允许误差范围，则判定为校正不合格.即为校正失效。校验周期：仪器设备视其使用频繁程度，规定其每年进行校验检定次数。 即为校验周期。权 责：仪校中心负责静电（ESD）控制技术指标.制订静电防护办法，以及工作之倡导。品保单位.制造单位.SM

8、T单位.实施静电防护工作.并每日进行自我检查，提报不良状 况。资材部实施静电保护工作.并对敏感之组件和成品.半成品妥善之保存和防护。生技课ESD工程师负责对全厂内静电防护单位和个人进行ESD技术性之控制.量测. 稽核和处理改善。程序内容：静电（ESD）防护流程图受训过静电防护的人员，必须有静电防护识别标示（如下图一所示），分期对人员进行受训I。静电防护受训合格后上岗识.另U标乐5.2.1.6 受训后人员必须进行考试，及格为80分。考试题目如（附件二）（附（图一）件三）所示。5.2.1.7 受训课程必须包含以下内容:受训内容受训时间受训人数（不得超过）静电之概念产生物理过程1 H30静电之来源.

9、对半导体组件的不良影响.0.5H30静电防护区域之化分及防护措施0.5 H30保护静电之包装.运输.储存0.5H30静电防护的识别标示.0.5H30ESD管理小组及工作职掌0.5H30自我检查的流程内容及实施0.5H30静电控制区域：凡对敏感组件会造成伤害之区域必须用班玛带标贴静电（ESD防护安全距离”如下图（二）所示。只能在其范围内组装和装置。有效 距离为1米（3尺）内。（图二）静电防护在其控制作业中，每周指派专人进行技术量测和稽核，并记录于【ESD稽 核检查记录周报表】（PHG-Q4-PE39） 内。每年必须对外包厂进行之评鉴一次以上，记录于【外包厂 ESD评监报告】（PHG-Q4-PE4

10、2） 内，对不良状况提出改善意见和对策，并定期进行追踪处理结果，记录于【ESD异常处理对策单】（PHG-Q4-PE43） 内。矫正措施：当静电电压超过100V时，并对其进行隔离，分析不良原因，加以改善，必须有ESD稽核员。ESD工程师和ESD主任3人以上人员进行确认并记录 于【ESD异常处理对策单】内紧 急 事 故 处 理 :当在 静 电防护区域 作业时,发生意外事故时,应先 考 虑是否对 人 身安全有危 害,并立即采 取 措施解决.尔后,再 考 虑解决是否对 静 电防护有破坏,并加以改善。对 外 包 厂 商 静 电 防 护 要 求 :外包 厂商与公司有直接的业务来往,为了质量的提升 ,为降低

11、 不 良的发生,对 其也要作静 电防护的要 求:生 产 工 艺 : 在 生 产 制 程 过 程 中 , 须 作 静 电 防 护 。包 装 : 对 静 电 有 敏 感 之 组 件 （ 如 :IC. 晶 体 等 ） 必 须 防 静 电 胶 带 包 装 。运 输 : 必 须 把 完 成 品 存 放 于 防 静 电 屏 蔽 袋 内 而 运 输 , 并 标 明 静 电 防 护 标 示 。 如下（图三）所 示。（图三）ESD 管 理 组 职 : （ 附 件 三 ）.稽 核 组 织 成 员 :必须受过ESD正规的教育训练，是厂内ESD的技术顾问，对静电防护进 行技术 的量测。 检 验和管理 ,并制订受训计划

12、和进 行倡 导, 稽核组 织 成员工作 职掌如（附件四）所示。静 电 防 护 成 员 :必须 受 过静 电 防 护 （ESD） 正 规训 练 , 获 得 ESD 资 格 , 对全厂 内 静 电 防 护进 行 管理和 推动实施 。静电防护之 成员必须 是生产 线班 组 长以上干部。工作职 掌如（附件四）所示。静 电 （ESD） 检 查 :静 电 ESD 每 日 自 我 检 查 :各静 电 防 护 （ESD） 单位之 员 工每 日 上班 前进行 静 电 防 护 自 我检 查 。使 用 之 有 线静 电 环是 否 测 试 过 。 如 有 测 试 , 是 否 记 录 于 【 静 电 环检 查 记 录

13、表 】 （PHG-Q4-PE45） 内 。在其工作区域 内之 静电台垫 是 否接 地, 台 面是 否 清 洁 , 干 净 。在其工作之工 作台 面上是否 有 产生 静电 物（如 : 塑 料 带 （袋 等） 。仪 器 . 治 具 是 否 完 全 接 地 。员 工本人使用 之烙 铁是否3 Pin之插头 . 若为 2 Pin 应 立 即通 知所 在 单位 的 负 责人 联络 ESD 工程师 加 以 改 善 。检 查 自 己 是 否 有静 电 防 护 训 练 合格 后 , 所 佩 带 的 ESD 认 别 标 示牌 .如上图（一）所示。每个员工进行自我检查后，并记录于【ESD每日自我检查记录表】（PHG

14、-Q4-PE46） 内 . 经 所 在 单 位 负 责 人 确 认 后 方 能 上 线 工 作 。稽 核 检 查 :为使静电防护得到彻底的推动执行和质量提升。能及时发现不良现 象 , 并得 到 有 效之改 善 。 特 ESD 稽 核小组 每 月 内 派 专人 负 责稽核 检查,每周依 据稽核检查程序进行 稽核检查一次。检 查 所 有 员 工 是 否 依 据 自 我 检 查 程 序 进 行 自 我 检 查 , 并 有 完 整 记 录 。量 测 工 作 台 垫 静 电 电 压 和 阻 抗 的 实 际 示 值 , 静 电 电 压 和 阻 抗 是 否 分 别 为 10058伏特以下或1010Q之间。量

15、 测 静 电 防 护 区 内 静 电 电 压 是 否 超 过 100 伏 特 。有线 静电手 环 是否有 不良现 象 , 如 不 良 现 象 , 有无改善措施和对策。静电 安全区 之 仪器. 设 备.工 具 是 否 安 全 接 地 。每日 上班前 所 有员工 是否进 行 静 电 手 环 测 试 并记录于静电环检查记 录 表 不允许 没有带 静 电腕环 （或 接 地线 ） 的 人靠 近 你 的 静 电 安全区 1 米 （3 尺） 之 内告诉他们在 你的区域 要靠近和触摸,任 何对 象 之 前的人 ,要带静电腕 环（或接线 ）才 可 进 入 ,而触摸元气件必须佩带静电手套 。静 电 防 护 控 制

16、 区 域 是 否 有 状 态 标 示 （ 如 上 图 二 所 示 ）. 是 否 划 线 列 出 管 制 。仪 器 . 治 具 是 否 超 出 100 伏 特 。静电安全区域所有物品均是否低于 100 伏特。IC 房.SMT.AI湿度是否控制在 55沮10%检 查静 电 防 护 工作 区 的 接地 线 是 否漏 接 , 损坏 或 开路 , 断线 现象 。检 查 工 作 区 是 否会 产 生静 电 物 . 如 未 处 理塑 料袋 . 箱 子 . 保 力 龙 , 胶 带 或 个 人 用 品 , 最 少 离 ESD 敏 感 组 件 1 米 （3 尺 ） 之 距离 。检查 所 有 的 ESD 敏 感组件

17、 , 半 成 品 . 成 品 是 否 完全 的 放在 导 体 容器 （导 静 电 篮 子）内。确认装ESD敏感组件的导体容器（导静电篮子）内没有会产生静电物。确认所有保护容器在外边均有一承认的静电注意标志。如上（图 三）所示。如任一检测项目失败的话，则未受到保护，ESD敏感组件不许搬动，直到改善 为止，如执行者不能改善这些错误，则ESD主任须负责改善。各部门有责任将其自我检查及执行情形接受班组长之确认，并将其结果完 整记录送交稽核小组内存盘管制。ESD工程师经常执行ESD稽核使ESD控制的标准化能落实。从他们对部门程 序的了解，ESD稽核员应每月一次执行稽核。执行每月ESD自我稽核时，需确认其

18、程序书仍是可用的，及能使用正确的仪器、设备，并须定期受校正检定。当发现不符规定的事项能迅速的采取改善措施。年度稽核在11-12月中进行。稽核检查结果应记录于ESD稽核检查记录表内。另：稽核检查表及未列入 表内以外的上述内容，如有不良现象发生，应出具【ESD异常处理对策单】， 送出静电防护管理组织相关人员进行对策和加以改善。量规仪器静电区域之管制：静电防护区域内之仪器.设备必须安全接地，其静电电压值不得超过100Voltage, 如果超出仪器设备必须进行隔离直至处理改善后方能 再投入使用，并记录【ESD异常处理对策单】内。每三个月仪校中心进行静电保护接地是否良好检查，并记录于ESD 季度 接地检

19、查 H录表】（PHG-Q4-PE41） 如内。接地电阻不得超过3Q。防静电用品.装备之质量检验。防静电工作服和帽：外观质量：防静电工作服.帽外观要求无破损.斑点.污物以及影响衣、帽上之 性能缺陷.结构设计要满足穿着轻便，舒适便于解脱.服装上一般不得使用金 属或橡胶佩件.如金属或橡胶带静电之铭牌或商标等。静电量检验：对防静电工作服和帽进行静电量测时.先进行洗涤（不包含新购 入未使用服装和帽），其洗涤条件应符合（表一），并 洗涤脱水自然晾干后方可量测.静电电压不得超过50伏特。洗涤条件项目条件项目条件洗涤方式普洗洗涤液浓度2g/升水温40+3 C溶比1:30水溶量30升以上(表一)(注：洗涤剂呈中

20、性或微碱性 PH=7-8)防静电鞋：外观质量：鞋底应无绝缘物，无裂纹.无开胶.无孔洞.鞋面不得带有金属或其 它带静电橡胶铭牌等。585.4.2.2 质量检验：鞋底电阻阻抗值应为0.5 X 10 10 Q范围内，鞋面电压值不得超 过100伏特。58防静电工作台垫：表面阻抗应为1010Q范围内，鞋面静电值不得超过100伏特。防静电零件盒，周转箱.胶带。外观质量：应无裂纹，破损.不得有明显变形.并要求盒箱表面光滑，且胶带必 须柔软、光滑。质量检验：静电量不得超过100伏特。防静电手环：外观质量：手环带应无毛刺.裂迹和孔洞。质量检验：用静电手环测试器测试是否为GOOD。68或用FLUKE5500A 检定电阻值在8.0 X 10 - 10 Q范围内，并且手环带引出6 线必须串接一只10 Q 电阻。注明：以上防静电用品测试不合格为A类不合格.不可使用.另外观不合 格为B类不合格.视其情形酌情考虑是否可使用之。5.6 防静电测试器之检验：防静电测试用之仪器：静电手环测试器.表面阻抗测试器.静电电压测试仪.接地阻 抗测试器，依据【仪器设备管制计划表】(PHG-Q4-CC02) 之“校验周期.计划校验 日期进行送出中国电子工业部第五研究所601