TFC膜系设计实例教程

1、TFC膜系设计实例教程TFC膜系实例设计步骤（首先以AR膜三层为例介绍）首选镀膜材料：AL2O3ZR02MGF2AR膜技术要求：400700R仃运行TFC软件（如图1）,选择“取消”按钮，如要打开已设计好的膜系文件，可按“打开”来调用文件。4.在File菜单中选择NewCoating选项（如图2）。图25.进入环境编辑界面（EditEnvironment。如图36.在环境编辑界面中，第一项为监控波长（Referencewavelength），默认设制为550（图3）。如果设计400-700波段的AR的话，就可以用这个设制。如要设计红外波段的话，那就要改大点。设好后，点击AnalysisPara

2、meters.项，进入下一个波段的设制界面（SetAnalysisParameters）o（如图4）6.在SetAnalysisParameters界面中选WavelengthsandAngles设计波段范围，在第一个输入框里输入起始波段400,第二输入框里输入结束波段700,第三个输入框里的为步长，可以不改，其它的不动（如图4）。输入完成后，按“OK”键确认，返回到如图3的界面，再按“OK”键，进入设计界面（如图5）7.在Modify菜单中选Layers一Front（如图6），然后进入添加膜层。（如图7）TFCalciin-titled.FileEditRijtlEeE_ultzMisc.H

3、elpEriviruruTicnt.Layers-Front工丄丄imirMediiuiiiSl-LtiSt-IEni七:Det.ynt-L-5_UtLayers-B：ckGrc-nipsT：ai_gets一IIiecreteTargets一CuntirnicmsT：arge一CurLe_AiLgleComnienteg丄邑二u-Li(degjference:55d.U(iiill：i1arizatioti:AwerstSnrace=Frc-iTt4_8:V=il_i=ibl已n：lt哙厂i：il吕MixtureHaterL：alzErivirordTirLte也鼻tSubeIrateeIll

4、unirL：=LTLtEDetectursDi5tributions4004E050LiESU600650700750Reflectaiic已(%)vsTijav已丄已口gth(ritii)图77.选择OptionsFrontLayers，添加层数，如图7,在弹出的输入框的第一个中输入3代表3层，如图8TFCalc-untitledNeedles?450juuuee.u4-o400450500500550550600600RefLeetaiice650650JFileElitModifyKnnE距ult百Misc.HelpE3Layers-FrontQitionsFjloreOptiorisL

5、ayerMaterialQWOTThicknessinmOplimiEe?Group匚onstrain?Mh.ThicknessMaxThickness图88.然后点“OK”，进入，出现如图9的画面。图99.现在把Material材料）项中的，改成你所要的材料AL2O3ZRO2MGF2,把Optimize?（优化否）项中的NO,全部改为YES（如图10）HlFCalc-untitledL-冈IJileZditUodifvRmKesult:Mis:.HelpIk_JU一s_E1Lasers-Front0jitioE5lor已OptionsL耳er123MaterialZRO2MGF2QWOT1.

6、00001OOOO1.0000Thicknessnrn|84.4167.409S21Optinize?YesYesYesGroip111Constran?NoNoNoMin.ThicknessQOOODnm0.0000nmD.0000nmMax.ThicknessQOOODnm0.0000nmD.0000nmNeedles?YesYesYes图1010.选择Modify菜单中的Targets一continuous项来设定优化目标（如图11）图1111.选择Options中的AddContinuoustargets.（如图12）,点击进入，如果是创建一个优化目标的话就不用改，如果要创建几个优化目

7、标的话，就在第一个输入框中输入几。如图13BSTFCalcuntitledXE3Targets一Continuous冈!jiticnia|AddContinuousTargets.|Delate匚untirLUijUi.Print匚口口_七1miijiiET:t_getsCjpyiluqusT：u_gstwFrQni.AlipemiCurLlLRUijuzTargRtEFrom.OjitlOIL1Option2Option3Targel(end)ToleranceEnvironirientFileElitMOilifyRimResijltsMize.Help图12图1312.如图14,在Wav

8、elength(begin)(起始波长)处输入400，在Wavelength(end)(结束波长)处输入700其它不要动。3TFCalc-untitledXtfordPileEdi+HeidifyRtitlJleEul+sMlec.HelpPlotEJTarget-Continuo口宫0jitlOlL5.5.Li4.S4.54.44.4.ijQptiunsTarget#1KindIntensityRefl/TranReflPolarizationAyeWavelength|begin400.0Wavelength(end)700.0Angle0.0Targetbegin0.0Tsrgeteri

9、d0.0Tolerance1.0EnvironmentIOIlluMediSiltsExitI：1Stt!4004ELISOLIEEU6i：n：i6-507007.50P.5fi：ib兰TiJavsL&Hi.lL0-Jik)图1413.完成后，选Run菜单的OptimizeDesign选项进行优化，如图15图1514.优化界面如图1615.优化完成后，点击Analyze查看优化后的曲线，如图17图16图1716.好了，这个AR的膜系已设计完成了，要查看每层的物理厚度，可以打开菜单Modify中选Layers一Front如图18TFCalc-untitled|xPileEliiMediyRhitlResultLayers-FrontUjitiorLEMoreOptiotleLayer123MaterialAL2O3ZRO2MGF2QWOT0.30441.78180.9155Thicknessnm|E3E!120.0990.03Optimize?YesYesYesGroup111Constrai