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文档简介

1、彩色滤光片的研讨开发和消费深圳莱宝高科技SHENZHEN LAIBAO HI-TECH CO., LTD.彩色滤光片显示器的运用 彩色滤光片显示器彩色手机笔记本电脑电子字典可视PDA监控面板游戏机. 偏光片 彩色滤光片 定向层 液晶 ITO透明电极 偏光片 背光源彩色滤光片在彩色STN显示器中的运用基板玻璃基板玻璃. 偏光片 彩色滤光片 定向层 液晶 TFT ITO透明电极 偏光片 背光源彩色滤光片在TFT显示器中的运用基板玻璃基板玻璃.深圳莱宝CF消费线2002年5月设备到厂,开场安装调试2002年9月投入试消费月消费才干:3万片填补了国内彩色滤光片消费的空白.CF 的研讨开发和消费 前言一

2、、彩色滤光片的构成二、彩色滤光片消费线简介三、实验和研讨开发任务四、彩色滤光片的质量性能五、彩色滤光片设计要点.CF 的研讨开发和消费一、CF 的构成 透过型-TRANSMISSIVE TYPE 反射型-TRANSFLECTIVE TYPE REFLECTIVE TYPE.透过型 CF 的构造 红 色 光 绿 色 光 蓝 色 光 透明导电膜 维护膜 红绿蓝膜 黑矩阵膜 SiO2 膜 白 色 光 白 色 光 白 色 光玻 璃 基 板.反射型 CF 的构造 红 色 光 绿 色 光 蓝 色 光 透明导电膜 维护膜 红绿蓝膜 黑矩阵膜 反射膜 开口 白 色 光 白 色 光 白 色 光玻 璃 基 板.C

3、F 的研讨开发和消费二、彩色滤光片消费线简介 1、CF 制做方法 2、CF 消费流程.彩色滤光片制做方法电着法 印刷法 光刻型 非光刻型 喷墨法 颜料分散法 彩胶法.颜料分散型光刻胶CF的制做 光刻胶 滴胶 玻璃 旋转涂胶 紫外线 铬掩膜板 图形曝光 图形显像.CF 消费流程 1000 级净化 O/C 线 B 线 G 线 R 线 BK 线 后烘烤 现 像 曝 光 预烘烤 旋转涂胶 清 洗 后烘烤 现 像 曝 光 预烘烤 旋转涂胶 清 洗 后烘烤 现 像 曝 光 预烘烤 旋转涂胶 清 洗 后烘烤 现 像 曝 光 预烘烤 旋转涂胶 清 洗 后烘烤 预烘烤 旋转涂胶 清 洗.CF 的研讨开发和消费三

4、、实验和研讨开发任务 1、工艺实验与结果 2、研发任务.BK 膜特性资料:树脂类颜料分散型黑色光刻胶特点:消费流程简单 本钱低 反射率低 污染小膜厚0.81.5m时,其OD值为1.83.5以上最小宽度:10 m.BM 膜厚 - OD值.BK 膜的款式 BM BS BL (Black matrix) (Black Stripe) (Black Less).R、G、B 膜的特性1、资料:树脂类颜料分散型彩色光刻胶2、特性:色度透过型和反射型 透光率 膜厚 尺寸精度.膜厚 - 色度 0.6 0.5 0.4 y 0.3 0.2 0.1 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 x

5、.膜厚 - 后烘烤.膜厚-转速.膜厚均匀性 膜厚偏向:1.83%.曝光能量-线宽MASK 线宽:70um.现像时间、温度-线宽MASK线宽:70um.图形对位控制一、MASK 的制做精度和套合精度二、采用先进的图象处置和对位技术,提高对位精度三、研讨设计了曝光机精细温控安装,稳定对位精度四、采取有效的工艺控制保证对位精度.O/C 膜层一、资料:丙烯系树脂二、膜厚:12um三、功能 1、维护RGB色层 2、外表平坦化 微观波纹度:无O/C层,0.8600.1225um 有O/C层,0.6770.963um.ITO 膜层镀膜工艺:RF+DC 镀膜温度:小于230电 阻 率:1.8x10-4面 电

6、阻:7-15 透 过 率:大于80%.ITO膜电阻率-RF功率分量.CF 的研讨开发和消费四、彩色滤光片的质量性能 彩色滤光片产品主要性能目的 .彩色滤光片产品主要性能目的一项 目性能指标1.基片 材料钠钙玻璃,抛光,镀SiO2膜长度300、400、420mm,14、16”宽度300、370mm,14”厚度0.4、0.5、0.55、0.7、1.1mm2.Al 膜厚1000反射率90%开口精度3m.彩色滤光片产品主要性能目的二项 目性能指标3.BM 材料颜料分散型光刻胶膜厚1.0mOD值1.7( 3.0)图形精度3m4.RGB 材料颜料分散型光刻胶膜厚1.0m图形精度3m.彩色滤光片产品主要性能

7、目的三项 目性能指标5.O/C 材料丙烯系树脂膜厚1.4m透过率80% (550nm)像素间高度差0.15m6.ITO 膜厚2000电阻Rs10 透过率80% (550nm).彩色滤光片产品主要性能目的四项 目性能指标7.色度 透射型透射型x, y R0.585, 0.3450.406, 0.303G0.305, 0.5200.312, 0.357B0.140, 0.1700.224, 0.263YR1515G4545B4040.彩色滤光片产品主要性能目的五项 目性能指标8.可靠性 温度稳定性250, 1小时1.无膨胀、无开裂、 无损伤 2. 透过率变化率 10% 3. E*ab5 耐化学性能 5% NaOH, 50, 20分钟NMP, 25, 30分钟丙酮,25,30分钟O/C 附着性3M, No. 610 胶带无损伤ITO稳定性250, 1小时电阻变化率10%.CF 的研讨开发和消费五、彩色滤光片设计要点 1、客户提出的详细CF图形陈列和尺寸 2、BK膜OD值和厚度 3、RGB膜色度和厚度

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