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文档简介

1、全自动夹杂物分析系统技术文件仪器型号:INCASteel2013年月 日目录附件一、品牌介绍附件二、设备用途附件三、技术指标附件四、供货范围及报价附件五、计划进度及培训附件六、环境要求附件七、质保及其它服务附件一:聚焦WARL ZEISSCambnogeInstruments世界可见光及电子光学的领导企业-德国蔡司公司始创于1846年。其电子光学前身为LEO(里奥), 更早叫Cambridge (剑桥)和Zeiss。积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验,ZEISS电 子束技术在世界上创造了数个第一:第一台静电式透射电镜(1949)第一台商业化扫描电镜(1965)第一台数字化扫描电镜

2、(1985)第一台场发射扫描电镜(1990)第一台带有成像滤波器的透射电镜(1992)第一台具有Koehler照明的200kV场发射透射电镜(2003)第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)CARL ZEISS其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼 动的王者地位。自成立至今,一直延续不断创新的传统,公司拥有广泛的专有技术,随着离子束技术 和基于电子束的分析技术的加入、可为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜FIB and SEM)、透射电子显微镜等全系列解决方案。其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全 世界广

3、大用户的信赖与认可。作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开 创探求纳米科技的崭新纪元。北京欧波同光学仪器有限公司做为Carl Zeiss SMT下属的纳米技术系统部的合作伙伴,在北京, 上海,广州,鞍山,济南设有营销公司和维修服务站,致力于蔡司电镜的技术咨询,销售和售后服务工 作。附件二:设备主要用途传统能谱仪及电镜只能判断夹杂物的元素,现在夹杂物分析系统通过电镜中能谱仪 对夹杂物的元素分析,更可依据“系统数据比对分析功能”自动得到该夹杂物的物相种 类,判断夹杂物矿物属性,这样就得到了该夹杂物的物理化学性质。该软件可以在夹杂 物的可能来源、夹杂物的形成机理、各

4、物相间的连带关系、各物相的含量及含量关系、 夹杂物的改性等进行深入研究。该分析系统可以一次放入多个样品,所有分析都是自动 完成。因此,该分析系统在钢铁行业中有很重要的意义。简述如下1、可以对炼钢精炼炉、大包、中间包等不同期次的夹杂物取样分析,用于判断钢水的质 量、温度对夹杂物的影响、渣子及合金对夹杂物的影响、钢包中不同部位夹杂物的类 别数量及尺寸,不同夹杂物生成条件及先后顺序及特点,从而可以通过夹杂物的研究 间接得到炼钢的气氛、合金元素、钢及钢渣的温度期次等参数。2、在结晶器内提取试样,分析保护渣对夹杂物的影响机理,及钢水中夹杂物的变化规律。3、判断钢中初生夹杂物及次生夹杂物的类别、含量、及其

5、相互包裹关系和形成条件。4、判别初生夹杂物及次生夹杂物结合程度及机理,用于帮助合理加入合金的类别和时间, 建立更有效和节约的冶炼工艺。5、对夹杂物类型、大小、分布进行判定和统计,用于帮助调整中间包冶炼及结晶器冷却 工艺。6、对夹杂物类型包裹种类进行判定和统计,用于合金配比及夹杂物改性研究。7、对钢中夹杂物含量进行判别和统计,可以判定夹杂物的危害程度及危害机理。8、由于可以对夹杂物的物相可以准确判定,因此在钢铁失效分析中有很重要的应用附件三:技术指标INCASteel全自动夹杂物分析系统是一款由蔡司应用型扫描电子显微镜、大面积高速能谱探测器及 相关配套软件为一体的综合性分析系统。该系统采用多接口

6、的大样品室和完备的电子光学系统于一体的 扫描电子显微镜EVOMA10,可对各种金属材料进行表面形貌观察,并结合业界领先的X射线分析技术, 将自动实现对于夹杂物的综合研究分析。其产品的高性能、高质量、高精度以及高稳定性能已得到全世 界广大用户的信赖与认可。系统功能介绍1、可精确检测亚微米级别至1 um以下的夹杂物2、直观显示各种分类方法中夹杂物的形貌表征与元素组成。3、对夹杂物进行分类统计、尺寸分布、位置分布等各类信息。4、对复合型夹杂物进行相识别,结合INCAEnergy对该夹杂物用SmartMap相分析。5、符合各类夹杂物标准的要求,并出具评级报告。权威的标准保证品质控制美国 ASTM E2

7、141;瑞典 SS111116;德国 DIN 50602;国际标准ISO 4967倍耐力标准等。主要参数:1、光学系统1.1、光源:钨灯丝。预对中式灯丝,灯丝具有自动加热、自动对中功能。1.2、聚焦:具有手动及自动聚焦功能。1.3、光阑:三级可调物镜光阑,能快速对光阑孔定位,并可作电子束自动对中1.4、加速电压:200V 30kV, 10V步进连续可调。1.5、图像电平移:50Mm。1.6、放大倍数:5X1000,000X,连续可调。1.7、分辨率:高真空二次电子像V3.0nm (30kV);1.8、探针电流范围:0.5 pA5成,连续可调。1.9、聚焦工作距离:2mm145mm。2、真空系统

8、2.1、真空泵系统:涡轮分子泵+机械泵,不需要冷却水。2.2、真空度:最高真空度:优于0.1mPa;低真空压力范围:10Pa400Pa在10Pa133Pa范围内无需安装压差光阑就可实现高低真空自由切换2.3、在低真空条件下,保持8.5的工作距离,并且可以做能谱分析。3、样品系统3.1、样品室内部尺寸:310mm (直径)x 220mm (高)。3.2可放置的最大样品尺寸:直径200mm,高度100mm3.3、最大允许样品重量:不小于5kg。3.4、样品台移动方式:五轴马达驱动。3.5、样品台移动范围:X轴80mm, Y轴100mm, Z轴35mm,-10 +90倾斜,360旋转。3.6、样品台

9、移动精度:重复性2 pm;最小步长90nm;漂移40nm/6min。3.7、样品台具有接触报警与自动停止功能。3.8、具备样品位置感知功能。4、探测器系统4.1、具备高真空二次电子探测器。4.2、具备背散射电子探测器。4.3、具备X射线能谱仪接口。4.4、探测器成像模式:同时对二次电子和背散射电子成像,并可在一种图像中任意位置显示 另外一种图像。4.5、扫描方式:全屏、选区、定点、线扫描、线轮廓、扫描旋转、倾斜补偿。4.6、整机系统控制要求独立控制单元,为检修提供方便。图像解析度:3072x 2304扫描点阵操作系统:WindowsXP以及简单友好的SmartSEM扫描电镜操作控制软件显示器:

10、19 TFT 或 24 TFT5、X射线能谱仪5.1、探测器制冷方式:电制冷型。5.2、探测器:硅漂移探头。5.3、有效探测面积:不少于20mm2。5.3、100,000cps 时的能量辨率:Mn Ka:W127eVF Ka:W66eVC Ka:W56eV其它:W133eV5.4、元素探测范围:B (5) Am (95)5.5、最大输入计数:3,000,000cps5.6、最在输出计数:1,100,000cp6、夹杂物分析软件6.1、设定采集区域,可设定多个样品,多个区域,实现自动分析。6.2、多种分类方法供用户选择。6.3、可根据某几个元素/含量、几何信息、谱图和几个条件的组合来建立标准,建

11、立后可重复调用。6.4、所有信息一次性得到,每个夹杂物均可重新定位观测。6.5、丰富的报告模板。6.6、符合美国ASTM E2141;瑞典SS111116;德国DIN 50602;国际标准ISO 4967及国标要求的 夹杂物评级报告,新增倍耐力标准。附件四、供货范围及报价Item项目Product Description产品说明Price (USD)价格(美元)1EVO MA 10 Scanning Electron MicroscopeEVO MA 10扫描电子显微镜Basic Unit MA10. Tungsten emission system, air admittance to 40

12、0 Pa, 5-axis motorised stage with software joystick, SE-detector, and multilingual Win 7MA10主机。钨灯丝发射系统,空气导入可达400 ?3,具有软件操纵杆的5轴马达 样品台,一次电子探测器,以及多种文字的Win 7215,000219 colour flat panel display monitor19彩色平板显示器4803Dual Joystick Controller 双操纵杆控制器2,1324LM 4QBSD diode透镜上安装的四象限背散射电子探测器12,7405Chamber scope

13、with IR illumination displayed to full screen (stage door mounted) 带有红外照明的样品室观察4,2386Centre Point and Centre Feature. To bring a point, or area, to the centre of the field of view中心点与中心特征软件。把一个点或区域移到视场的中心1,0407External scan input and video output cable. Includes Remote Control using RS232 (REMCON)外部

14、扫描输入与视频输出电缆(能谱仪接口)1,9508Spare Parts 备件Rotary pump oil 旋转泵油2升Carbon conductible adhesive tape 碳导电放带4 卷Filament 灯丝20 粒Wenol Metal Polish 抛光膏,100ml1 支2,0009Oxford X-MAX-20 EDX 牛津电制冷能谱仪X-MAX-2048,000CIP Airport (含 一年保修,运输费)287,580附件五、计划进度及培训Attachment 5 : Plan & Training交货期为收到L/C后六个月.System delivery: 6m

15、onths after receipt of L/C供方与需方配合进行:设备到达需方地址后,供方在接到需方安装通知十四日内派工程师到达现场进行安装调试。After system arrives, seller will start installation within 14 days upon arrival notification.安装调试完毕后,马上对用户人员进行培训。After completion of installation, on-site training will commence.培训内容: -电镜及附件的操作Microscope Basic Operation-电镜及

16、附件的日常维护Microscope daily maintenance-样品观测、分析、获取图象 Sample Analysis and image taking培训时间3-5天或可针对用户情况延长时间。Standard training takes minimum one week and can be extended if necessary.附件六、环境要求Power 100-240V 50/60 Hz Single Phase电源 100-240V 50/60 Hz 单相Consumption 2kVA - 3kVA (dependent on accessories fitted)

17、功耗2kVA - 3kVA (取决于安装的附件)The incoming single-phase supply should preferably be a spur that feeds the SEM. A 13Amp power socket will be required for the SEM, plus one for the rotary pump (two if the system is an EP with two rotary pumps). Power sockets for accessories should be connected to the same p

18、hase. It should not supply neighboring equipment likely to generate an abnormal amount of line-borne interference. A safety ground of less than 0.25Q to earth is required. A 5-meter long earth cable is supplied with the EVO and should be connected to a separate M8 earth stud.进来的单相电源最好是供给SEM的支线。对于SEM

19、需要 一个13安培的电源插座,另加一个用于旋转泵的插座(如 果系统是带有两个旋转泵的EP,则另加两个插座)。用 于附件的电源插座应连接到同一相上。它应不供给附近可 能产生异常干扰的仪器。需要一个小于0.25Q接地电阻 的保护接地。一根5米长的接地线与EVO 一起提供, 并将连接到独立的M8地线螺栓上。Ambient20-30 C. It is recommended that for operator comfort theTemperatureroom temperature is maintained between 22and 24环境温度Deg C.20-30C。为了操作者的舒适,建议

20、室温保持在22C和24 C之间RelativeLess than 65%Humidity小于 65%相对湿度Compressed Dry nitrogen is highly recommended for chamber and pump Nitrogenventilation during specimen exchanges. The minimum压缩氮气pressure should not be less than 0.2 bar; otherwise,ventilation time for the chamber would be too long. The maximum p

21、ressure must be limited to 0.3 bar. With the chamber opened nitrogen consumption is approximately 3 l/min. at 0.2 bar above ambient pressure. The purity of the nitrogen should be about 99.996%. The pipe supplied isRotary Pump Exhaust旋转泵排气Vibration震动Stray Magnetic Field 杂散磁场4mm internal diameter and

22、6mm external diameter.强烈建议,在样品更换期间用干燥的氮气对样品室与真空 泵进气。最低压力应不小于0.2 bar;不然,对样品室进 气时间将太长。最大压力必须限制在0.3 bar。在高于周 围压力0.2 bar时,在样品室打开时氮气的消耗量大约是 3 l/min。氮气的纯度应约为99.996%。提供的管子为4mm 内径和6mm外径。The rotary pump produces oil mist during pump down, this can contaminate the environment and create a health hazard when u

23、sed in enclosed surroundings. The oil mist filter supplied and /or an external exhaust must be connected to the rotary pump. The pipe should be a plastic tube with an inner diameter of 10 mm.在抽真空期间,旋转泵产生油雾,在封闭环境中使用时, 它能污染环境并危害健康。旋转泵上必须连接提供的油雾 过滤器和/或外部排气。管子应为内经为10mm的塑料管。Velocity Less than 6 pm/sec rm

24、s. from 0-30Hz. level:Less than 12 pm/sec rms. above 30 Hz.速度水平:Measurement directions: X Y and Z小于 6 pm/sec rms。从0-30Hz。 小于 12 pm/sec rms。30 Hz以上。 测量方向:X、Y、ZThe maximum permissible stray field in the room is 3 x 10-7 T (peak to peak) =3 mG (peak to peak).室内最大允许杂散磁场为3 x 10-7 T(峰-峰值)=3 mG(峰-峰值)。The e

25、nvironmental and utility requirements are the responsibility of the customer and shall be provided at the time of installation. Failure to comply with these conditions may adversely affect the performance figures quoted in this specification.环境与实用要求是用户的责任,并应在安装时提供。如果不满足这些条件,可能会 对技术规格中给出的性能产生不利的影响。ZE

26、ISS Technical Support will be happy to suggest suppliers of anti-vibration platforms and AC field cancellation systems should these be required.ZEISS技术支持建议使用减震台和AC磁场消除系统。尺寸及重量:The following data is provided as a guide only:- 下面提供的数据只作为指导:-The ZEISS EVO is supplied in two containers.ZEISS EVO用两个包装箱来提

27、供。Container 1: Re-Usable Wooden Box包装箱1:可重复使用的木箱Overall Dimensions140cm x 122cm x 135cm整体尺寸Overall Weight110kg整体重量Container 2: Cardboard box on Euro Pallet包装箱2:欧洲推荐的硬纸板箱Overall Dimensions191cm x122cm x 110cm整体尺寸Overall Weight102kg整体重量Plinth Un-crated基体(无包装)Overall Dimensions整体尺寸98cm deep x 78.4cm wide x 158cm high98cm 深 x 78.4cm 宽 x

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