GE涂层坩埚外观检查标准

1、v1.0可编写可改正外观标准#102污物(表面)(DRT)定义:在坩埚的内表面或表面面上的外来物质。如表面簿膜、尘埃、水斑或周边污染。（见表面外业物质“裸露的夹杂物”）规定:不行见#104细裂纹或裂纹(CRKX)定义:石英坩埚表面上的任何表面裂纹。细裂纹是细的开裂线，其以“V”形稍稍进入坩埚壁，当在查验灯下查验时，能够看到是一亮线。裂痕稍大，可看到是一线性裂口或由撞击而成的一圆形表面图形（有时呈彩虹色）规定:不行见#105崩边(CHPX)定义:坩埚表面有部分埚壁缺损而形成的完好的碎裂。内圈定义:内表面上距张口10mm（英寸）内的崩边规定:没有未维修过的崩边、修过的崩边；其最大尺寸为水平方面10

2、mm，垂直方面5mm).顶部圆周平面1v1.0可编写可改正定义:坩埚顶部园周平面内一完好的缺损（透明地区）规定:没有未维修过的崩边，修过的崩边；其最大深度为mm(.028)3)外圈定义:坩埚表面面上自顶部张口端起（）内的崩边。规定:无未维修的崩边、修过的崩边最大尺寸为12mmx12mm(.47).维修一定切合最小壁厚规则，即张口端起mm(1/4”)以下。坩埚体内定义:在坩埚内壁上，低于张口端环形区的崩边，环形区指自张口端起10mm（）以下。规定:不行见（修过的或未修过的）#109划道/擦伤(SCR)定义:坩埚壁上，裸眼可见的，任何损坏内壁光彩的线条。（注：“损坏光彩”可用非金属探针所受阻力探知

3、）规定:1)擦伤：没有使内表面光彩损坏或显然变暗的擦伤。2)划道：没有大于宽度的划道。#112气泡(BUB),(DBUB)or(DMBB)定义：在环形区以下，存在于石英中的球形空洞（穴）。规定：1)侧壁(W1)或角处壁(W2)没有超出的。2v1.0可编写可改正底部壁(W3)没有超出的。超出的不多于2个。总的限制(W1,W2,orW3)在任何1圆周内，超出的，不多于3个。b)在任何66面积内（复合气泡除外），超出0.020的不多于20个。(DMBB)c)在任何1的圆周内，因为气泡而形成的凹坑不多于5个。(DBUB)d)没有含有夹杂物或变色的气泡。#112A气泡团(采纳单个气泡规则#112规则)定

4、义:一个以上的气泡密切会合成团或连在一同成为近似一个大的气泡，不在气泡团内，起码带有一个超出的泡，可拜见气化物#124C随和泡层#112C。规定:a)将整个团视作一个大的气泡办理(缺点#112).气泡团一定没有应力(见缺点#134).#112B张口气泡(OBB)表面面定义:坩埚面内损坏正常表面状态的一个孔洞。规定:a)无论深度，没有直径超出（2mm）的没有深度超出壁厚1/3的。无光彩的内壁孔洞定义:在内壁上像孔洞同样的凹陷，孔的周边尖利状（如刀刃）3v1.0可编写可改正规定:不行见有光彩的内壁孔洞(定义拜见#124C气化物)定义:在内壁上像孔洞同样的凹陷，孔的周边为圆形，底部有光彩。规定:a)

5、无论深度，没有直径超出（2mm）的没有使坩埚壁减薄超出的凹陷。#115涟漪(波状的/突出/凹起)(RIP)定义:往常在坩埚内表面上的一种光滑而像波涛同样起伏的外观。“涟漪”准则的限制范围也合用于内，表面面上的凹陷或突出。限制范围:1)在整个坩埚上不同意有使埚壁厚高出公差的涟漪，凹陷或突出。2)在任何1长度范围内不同意有使壁厚变化大于的涟漪（在多自的W1，W2和W3壁上）3)在任何1长的范围内（每一壁区W1，W2或W3内的两处）不同意有两处以上的使壁厚变化大于的涟漪存在。注1：这一规则不合用于附着物或环形区崩边的研磨维修，它们包含在各自的缺点标准内。#116表面精度定义：外径表面状态限制：不同意

6、有松懈的物质（有细粒的）#119环形区顶部平边（PCTX）“切口粗拙”4v1.0可编写可改正定义：环形平面太窄或太宽限制范围：1)滚压过的边沿（RE圆形环边）2-4mm平边（除非还有规定）2)切割边沿（CE）最小平面为(除非还有规定)#122光彩差定义：指内表面的状态，用肉眼在标准的查验状态下（40瓦荧光灯），玻璃状的表面呈黯淡状。这些例子可能包含因为直接在内表面上喷砂造成的无光彩表面，或由过分酸洗或溶融时的污染造成的。对与光彩差还分的是实起的颗粒随和泡，拜见#124缺点，附着物及办理。限制范围：无肉眼可见的状况。#123外径白斑（WSP）宝义：粘附于坩埚外周的部分熔融的砂粉块。限制范围：1)

7、在坩埚上大于的斑点不大多5处。.2)没有大于直径的斑点。3)没有高出表面(1mm)以上的白斑点。#124附着物(顶部距边处除外)定义:熔在坩埚内壁，但未完好熔入石英壁的石英料。特别种类的附着物如以下规定：5v1.0可编写可改正维修限制:维修一定是光滑的，最大直径不超出2mm（例外状况：10直径及以下的坩埚，在第一代设施上制造的，采纳最大维修8mm的规定）。#124A砂峰（米砂）(ADMX，若不可以维修)定义：小而尖的部分熔融的石英砂，一般为直径)及以下，另一端已熔入坩埚内壁。限制范围：没有尖的的或崛起的。#124B崛起的颗粒(ADMX)定义:已熔入坩埚内壁而又高出内壁表面的直径大于)的石英颗粒

8、。限制范围:1)没有无光彩的（尖的）或粗拙的崛起物（这包含任何附于表面的物质或花纹，用非金属探针能感知其阻力。这些颗粒比#124日定义的单个砂峰要大）。2)光彩的颗粒一定整个外周都是光滑而有光彩的，且直径不大于（）而高度大于（）时。每只坩埚不可以有多于5个“光彩的颗粒”，即便它们独自都能经过。#124C气化物(VAP)定义:起聚在坩埚内表面上的石英，往常有光彩，而成为壁的一部分。气化物的特点是一个显然的由平均散布小细气泡构成的地区，单个气泡都在（）以下。气化物可能有乳白色外观，这是由透明的细泡以及在壁内圆滑的细泡形成的表面凹坑（有光彩的凹陷）形成的。限制范围:1)没有无光彩的或表面粗拙的6v1.0可编写可改正22)没有超出40mm面积的单个气化物。(注:40mm2是,410mm,58mm;或直径)长度大于气化物最多不可以超出5个。#141夹杂物A.裸露在内表面的夹杂物(OINC)定义:任安在内表面中并裸露于内表面上的非石英物质的外来物，可视为在光彩的内表面中的一个断口。外来物:没有眼睛可见的。不裸露的夹杂物(INC)定义:完好处于坩埚壁内中的非石英的任何外来物。限制范围:1)在任何坩埚中，最大密度为25个至的夹杂物。.2)任何坩埚中，最多有10个直径为（）至的夹杂物。在整个坩埚表面，最多有3个至（）的夹杂物，且这些夹杂物间最小间距为1时。没有直径在以上的夹杂物。.关于