真空镀膜机技术指标

1、真空镀膜机技术指标用途：本产品主要用于光学零件真空制备激光膜镀膜主要结构：真空室体、真空获得系统、工件转动系统、水冷却系统、气动系统、蒸发镀膜系统、电器控制系统等组成1. 真空室：1.1. 内腔尺寸： 8001000mm。蒸发室与抽气室整体连接。底板为22mm，壁厚为 5mm。1.2. 形式：立式前开门，室体门有装饰面板。1.3. 材料：优质不锈钢U304材料；外壁通冷却水。1.4. 防污板：真空室内衬优质不锈钢材料防污板，装卸简单方便（二套）。1.5. 观察窗：门上部斜趋式窗口一个， 门下部中央设观察窗口一个。窗口为直接水冷式，装备有耐高温玻璃、防辐射玻璃和防强光防护镜。1.6. 门上配备高

2、压保护装置及开门限位装置。真空系统：2.1. 极限真空： 2.8 10 4Pa。2.2. 恢复真空时间：大气 4103Pa15min。-12.3. 漏气率：在极限真空达到后关闭所有阀门, 一小时真空度应 310 Pa。型数字真空计。真空度检测位置在抽气室侧面及在蒸发室电子枪上方 200mm处。室温环境应为真空室清洁、蒸发室无样品、镀膜材料。蒸发室烘烤后、经干燥氮气充气。低真空测量： ZJ-25 型电阻规，测量范围1 103 Pa10-1 Pa。高真空测量： ZJ-27 型电离规，测量范围10Pa 10-5 Pa。测量规管加金属保护套。2.5.真空系统配置：630 扩散泵 +2X 70 机械泵（

3、TK 630 扩散泵抽速 12000L/S，2X70 机械泵抽速 70L/S ）。为了有效防止扩散泵返油，在泵口上方配紧密型水冷阱。在抽气口设置百叶窗挡板和防滑片栅网，拆卸清洗方便2.6.真空系统测量点：电阻规二点、电离规一点。2.7. 德国宝德放气阀，设置在真空室顶部及真空管道上。2.8. 为提高镀膜质量，增加防喘流抽气小管道。2.9.真空室内密封圈应能承受高温烘烤，各部分密封安全可靠。夹具：3.1. 中心吊挂，中心驱动方式， 结构转动平穏。 径向跳动 2.5MM;轴向跳动2.5MM。3.2.水冷套安装座保护齿轮、 轴承等传动件， 避免加热器等热源对运动精度的不良影响。3.3.夹具转速： 0

4、 31rpm, 无级可调。采用直流调速器，稳定可靠。3.4.标准球面帽形工件盘一套，不锈钢材料，尺寸 720mm,R=700mm。3.5.夹具上开孔尺寸和夹持方式由甲方确定，乙方加工。烘烤装置：4.1.烘烤方式：从上向下烘烤，功率为6Kw。4.2.发热元件：采用进口管状加热器。4.3. 控制方式和指示： PID 系统自动控制和指示温度仪表（日本岛彦产M-3 型数字温控仪，手动 / 自动控温）。4.4. 最高温度： 350，可控可调，控制精度差 1（测量位置为被镀基片附近），有烘烤计时装置。4.5. 温度不均匀性 5。4.6 烘烤罩为 360 度球帽状。蒸发源：5.1. 电阻蒸发源 : 蒸发室布

5、置一对水冷式电阻蒸发源，功率4KW。5.2.配新型 WTQE-27010型电子枪二支。 配单电源双扫描。 电子枪灯丝电源：束流稳定度优于 1%，束流表采用数显，便于观察。电子枪扫描电源：高频自动扫描。横向扫描频率：0 350Hz；纵向扫描频率： 0 35Hz功率 6KW;灯丝阳极电压置： 4KV;6KV二挡。右枪坩埚为八穴（穴容22Lm）, 有坩埚衬套；左枪为环形坩埚，均为直接冷却式。配双持手动式操作盒。5.3. 气动档板二个，档板内面装不銹钢栅网。汽缸控制挡板开闭， 防止已经蒸镀的膜料重新落入坩埚内。 挡板的开启由自动镀膜系统单独识别。5.4. 配二套固定式修正板。用户自配修正叶片。晶振测厚

6、仪 :6.1.增加配置美国 英福康公司 SQC-310单头探头晶振测厚仪 。6.2.可实现电子枪束流膜厚、挡板、坩埚转位、修正板的自动控制及完成镀膜工艺的自动过程。6.3.控制功能：对整个膜系镀制过程实现自动控制，根据预先设置膜料的功率曲线（启动高压和灯丝电源等） ，自动识别蒸发源，自动控制坩埚转位、蒸发速率、膜层厚度、挡板启闭、工作气体O2 自动充气等，即从第一层自动转到下一层， 直至整个镀制结束， 并恢复初始状态。6.4.探头安装方式：从真空室顶部安装，晶体位置处有防污罩 (仅露出监控点 )，且拆卸、安装方便。辅助镀离子源配北京尤大伟 120mm考夫曼离子源（加配阴极灯丝一只） 。充气系统8.1.配北京七星华创200cc 质量流量计二台（单路，其中一台为双阀控制），用于电子枪工作时， 冲工作气体。（实际为三路进气口 , 但双氧路不能同时使用。即 2 路 O2,1 路 Ar)8.2.室体侧配手动临时充气针型阀。水冷系统 :水压 0.2 0.4MPa；水量 35L/min ，工业软水（用户自备气源及进水和出水管道）。气动系统 :气压 0.3 0.6MPa（用户自备清洁气源及气管）。电源 :11.1. 三相 220V/380V， 50Hz，功率 50KW。11.2. 电器控制柜采用三菱公司 PLC 编程控制，按操作程序锁定防止误操作