LCD 清洗技术简介课件

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清洗技术简介汉高股份有限公司电子产品的发展方向TFT-LCDITO玻璃制造流程和玻璃清洗剂CeO

研磨研磨后清洗涂膜前清洗母板ITO涂膜切割后清洗切割P3silironAPP3silironHSP3silironLP3silironEP3silironTKP3silironTKAP3silironSP3silironSA最新产品：P3silironAP去除研磨剂P3silironSA去除颗粒，纸屑，玻璃屑，油污彩色滤光片的制造过程玻璃基板黑色矩阵彩色层保护层ITO导电膜光阻涂布BM基板清洗ITO制程去除边缘显影后段烘烤前段预烤紫外线曝光重复三次(R,G,B)P3poleveHPP3disperseH印框胶贴偏振片检测下一道工序

去除残留液晶注射液晶清洗面板组合Arrayboard

基板玻璃清洗去除研磨和切割残留物清洗金属铬BM制程

刻蚀Arrayboard光刻制程

ColorFilter曝光去除边缘曝光

检测检测ColorFilter

基板玻璃去除边缘，显影

去除光阻显影光阻BM制程去除光阻

TFT-LCD制造流程LCD基板玻璃表面的污染物污染物分类污染物来源清洗方法有机污染物包装纸中的有机物、指印、油脂等玻璃清洗剂清洗碱液清洗UV光照射(O3)清洗无机污染物灰尘、玻璃屑或研磨剂等微粒子(particle)超音波清洗喷淋加毛刷清洗配合溢流与过滤LCD基板清洗P3silironHS(2槽)1-5%,45-60℃,5-10min.

浸渍＋超声波P3silironLS(2槽)

1-3%,45-60℃,5-10min. 喷淋＋刷洗去离子水(4-5槽)RT-60℃,5-10min.浸渍＋超声波去离子水(4-5槽)RT-60℃,5-10min.喷淋＋刷洗清洗漂洗PI前P3siliron系列玻璃清洗剂的特点表面活性剂和助洗剂的协同作用，显示出卓越的清洗性能采用了漂洗助剂，残留物极易漂洗干净。水洗水123脱脂水洗

举例:

m=10ml/m2表面

Co=25g/l Cx=0.01g/l

稀释比例=1:2500消耗量:1个水洗槽 25.00l/m2表面2个水洗槽 0.50l/m2表面3个水洗槽 0.14l/m2表面水洗水计算方程式(简化式)L=nCoCx

L=水洗水的消耗(l/m2表面)

m=带出量(l/m2表面)n=水洗区的水洗槽数量Co=最后脱脂槽的浓度(g/l)Cx=最后水洗槽的浓度(g/l)mLCD基板玻璃清洗条件控制项目清洗剂浓度测定:每天进行一次电导率法酸碱滴定－总碱定期添加

约5g/m2LCD基板玻璃清洗条件测试方法水膜浸润度扫描式电子显微镜(SEM)X光能量分散光谱仪(EDS)颗粒残留以X光能量分散光谱仪(EnergyDispersiveSpectrometer)分析微粒子污染物，确认该微粒子为玻璃屑泄漏液晶清洗一.目的：对封口、裂片、磨边后之液晶片作清洗工作，主要目的是去除狭隘中的残留液晶。二.原理：利用液晶清洗剂、超音波等装置，配合溢流(overflow)与过滤(filtration)将狭隘中的残留液晶以及表面的微粒清除干净。由于STN-LCD工艺是先将液晶盒裁切(裂片)之后才进行清洗，可以预知液晶盒的玻璃面板边缘与表面，除了沾附液晶分子，亦将附着许多玻璃屑(微粒子)，所以清洗槽的溢流与过滤功能就显得非常重要。

LCD清洗工艺P3kaltfin20+P3EtarapES清洗贮油槽漂洗漂洗过滤器（纯水）1活性炭离子交换塔自来水废水处理系统油水分离器烘箱烘

干85-100℃漂洗2

不损害玻璃。

对封口胶无害。

环氧树脂,丙烯酸树脂

不损害金属。

铝,银