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D26氣泡改善報告Reportedby:JackzDate:2010/11/0612
DESCRIBETHEPROBLEM11/02日D26產線投線時發現有氣泡不良，投入4800PCS，發現265PCS不良，不良率5.52%;不良圖片如下：氣泡TeamBuildingQCLRR&DefectRateAccount3TeamMember:QA：JackzZhai、MaxHong、TimWuPE：JohnnyKu、AllenHsuPD：JeffYTLin、JunHeMPM：EricDong、SteelNi5原因分析：1.針對不良產品氣泡處，使用3M膠帶進行Peeling測試，發現為Ni層脫落，
露出Cu層；IdentifyRootCauseorPotentialCause經3M測試后，發現為Ni層脫落，露出Cu層，且Cu層有發黑現象62.針對不良品氣泡處進行切片，發現氣泡處Cu&Ni分層：圖片如下：IdentifyRootCauseorPotentialCause切片可以發現氣泡處也為Cu&Ni之間有間隙7IdentifyRootCauseorPotentialCause
3.針對氣泡產品進行EDX測試發現：由EDX可知，氣泡產品含有C、O元素8IdentifyRootCauseorPotentialCause3.經查生產記錄，此11/01日化鍍夜班生產時，因Ni槽塞車，此批產品鍍Cu后被取出放置線邊，由11/02日白班繼續完成鍍Ni及後續制程；4.由以上可知，此氣泡產生應是鍍Cu產品因放置於空氣中時間過長，Cu層氧化，在鍍Ni前未有效清除Cu層表面氧化層，而直接鍍Ni造成Cu&Ni分層，從而產生氣泡；10改善對策：2.工程針對此制程，發行標準SOP，以規範標準操作：a.對於鍍Cu完成，放置小於4H的半成品：Cu層屬於輕微氧化，需增加酸洗时间到
3~5Min，完全去除氧化后再进行后制程生产
b.對於鍍Cu完成，放置大（等）於4H的半成品：Cu层严重氧化产品，需增加微蚀
10~30S，去除氧化层后再酸洗水洗进行后制
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