JJF(浙) 1194-2022 闪影像测量仪校准规范

(浙)浙江省地方计量技术规范JJF（浙）1194-2022闪测影像测量仪校准规范CalibrationSpecificationforQuickVideoMeasuringMachines2022-11-14发布 2023-02-14实施发布JJF（浙）1194-2022JJF（浙）1194-2022浙）浙）1194-2022CalibrationSpecificationforQuickVideoMeasuringMachines归口单位：浙江省市场监督管理局主要起草单位：浙江省计量科学研究院参加起草单位：杭州市质量技术监督检测院本规范委托浙江省计量科学研究院负责解释本规范主要起草人：金挺（浙江省计量科学研究院）王瑛辉（浙江省计量科学研究院）叶怀储（浙江省计量科学研究院）参加起草人：詹宇（州市量技监督测院）沈 斌（州徕测量术有公司）谭明（圳市图仪股份限公）目 录引 言 II范围 1引用文件 1术语 1概述 1计量特性 2校准条件 2环境条件 2测量标准及其他设备 2校准项目和校准方法 2二维探测误差 3尺寸测量误差 4测量重复性 5校准结果 5复校时间间隔 5附录A校准原始记录格式 6附录B校准证书内容（内页）格式 10附录C测量不确定度评定示例 I引 言JJF1001-2011JJF1059.1-2012JB/T求和试验方法。本规范为首次发布。II闪测影像测量仪校准规范范围本规范适用于闪测影像测量仪的校准。引用文件本规范引用下列文件：JJF1071-2010 国家计量校准规范编写规则术语二维探测误差2Dprobingerror用闪测影像测量仪测定平面圆形实物标准器的半径变化范围。注：闪测影像测量仪的工作台可移动时的二维探测误差为PM；闪测影像测量仪的工作台不可移动的二维探测误差为PS。概述1闪测影像测量仪结构示意图1—工作台；2—操作面板；3—Z轴调节机构；4—投射光源；5—反射光源；6—光学镜头；7—图像传感器闪测影像测量仪又称一键式影像测量仪，简称闪测仪，是由上下光源、高像素CCD/CMOS相机、大视角大景深远心镜头、不可移动工作台或可移动工作台组成，包括广1（或同一工件在测量范围内的多个相同特征），并能一次性地自动完成所有工件（或特征）测量。1所示。计量特性1所示。

表1计量特性序号计量特性测量设备1二维探测误差（PM，PS）圆形靶标2尺寸测量误差（EXY）线纹尺，一维点阵掩膜版，二维点阵掩膜版3测量重复性注：以上测量设备可在满足闪测影像测量仪校准要求的前提下选择使用。校准条件环境条件环境温度：（20±3）℃，且温度变化不大于1℃/h12h6h。75%。仪器测量室内应无影响测量的灰尘、噪音、振动、腐蚀性气体和磁场干扰。6.2 测量标准及其他设备推荐使用表2所列设备，允许使用其他满足不确定度要求的测量标准进行校准。表2测量标准及其他设备序号设备名称技术要求1圆形靶标圆度不超过1/4MPEPS2线纹尺不确定度不大于1/4MPEEXY3一维点阵掩膜版不确定度不大于1/4MPEEXY4二维点阵掩膜版不确定度不大于1/4MPEEXY校准项目和校准方法2二维探测误差PM将圆形靶标水平放置于工作台面上，在视场内调整影像清晰。在工作台移动的情况下，252。图2 PM测量示意图25RmaxRminPM。PS（1030%3。图3 PS测量示意图25RmaxRminPS。3注：选择广视野测量模式下进行校准。M与。尺寸测量误差测量位置4个位置进行测量。其中两个位置X+YX-YXY轴方向，4。注：可根据用户需要选择任意位置作为测量位置。图4测量位置示意图测量间隔310%，XY90%X+YX-Y方向66%。测量方法当使用线纹尺做测量标准时，按7.2.1的要求选择测量位置。在各测量位置上依次对规定的线纹间隔进行测量。三次测得值的平均值与标准器实际值的差值为尺寸测量误差。4注：如闪测影像测量仪具有广视野与高精度两种测量模式，则需校准两种测量模式的尺寸测量误差。7.2.3测量重复性10次，按公式（1）计算重复性。n(n(L L)2ii1 n1式中：s——重复性,mm；Li——第i次的读数值，mm；L——n次读数平均值，mm；n——测量次数，n=10。注：如闪测影像测量仪具有广视野与高精度两种测量模式，则需校准两种测量模式的测量重复性。7.3的方法测量拼接模式下测量重复性。校准结果JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》5.12条款中的信息。校准B。复校时间间隔5附录A闪测影像测量仪校准原始记录格式二维探测误差序号二维探测误差（μm）Rmax（mm）Rmin（mm）1PM2PS测量平面内的尺寸测量误差广视野模式：EXY测量值（mm）测量值平均值（mm）标称值（mm）偏差（μm）示值误差（μm）123XYX+YX-Y广视野模式拼接：EXY测量值（mm）测量值平均值（mm）标称值（mm）偏差（μm）示值误差（μm）123X6YX+YX-Y高精度模式：EXY测量值（mm）测量值平均值（mm）标称值（mm）偏差（μm）示值误差（μm）123XYX+YX-Y高精度模式拼接：EXY测量值（mm）测量值平均值（mm）标称值（mm）偏差（μm）示值误差（μm）123X7YX+YX-Y测量重复性广视野模式：序号12345测量值（mm）序号678910测量值（mm）n s= （L2n（m）ii1广视野模式拼接：序号12345测量值（mm）序号678910测量值（mm）n s= （L2n（m）ii18高精度模式：序号12345测量值（mm）序号678910测量值（mm）n s= （L2n（m）ii1高精度模式拼接：序号12345测量值（mm）序号678910测量值（mm）n s= （L2n（m）ii19JJF1194-2022JJF1194-2022附录B闪测影像测量仪校准证书（内页）格式二维探测误差序号二维探测误差（μm）1PM2PS尺寸测量误差EXY广视野模式广视野模式拼接高精度模式高精度模式拼接测量值平均值（mm）示值误差（μm）测量值平均值（mm）示值误差（μm）测量值平均值（mm）示值误差（μm）测量值平均值（mm）示值误差（μm）XYX+YX-Y测量重复性序号测量重复性（mm）1广视野模式2广视野模式拼接3高精度模式4高精度模式拼接10附录C尺寸示值误差测量结果的不确定度评定示例概述依据依据《闪测影像测量仪校准规范》,对闪测影像测量仪尺寸示值误差的测量不确定度进行分析和评定。测量方法采用标准玻璃线纹尺对尺寸示值误差进行直接测量。测量模型依据本规范进行尺寸示值误差校准时，其测量模型见公式（C.1。Ll

（C.1）式中： --------闪测影像测量仪测量平面内的尺寸示值误差；L--------闪测影像测量仪测量值；l---------标准玻璃线纹尺实际值；不确定度传播律见公式（C.2）c2(L)u2(c2(L)u2(L)c2(l)u2(l)12式中：

c(L)11 Lc(l)12 l标准不确定度分量来源分析与计算标准不确定度分量主要来源包括以下四部分：a)测量重复性引入的标准不确定度分量u1；b)闪测影像测量仪分辨力引入的标准不确定度分量u2；c)标准玻璃线纹尺引入的标准不确定度分量u3；d)闪测影像测量仪光栅尺与标准玻璃线纹尺线膨胀系数差引入的标准不确定度分量u4；111测量重复性引入的标准不确定度分量100mm10100.0011、100.0018100.0013100.0012100.0019100.0018100.0017100.0018100.0011100.0013。i1i1n(xx)2in1则u1=

=0.33μm33s=0.33=0.19μm332闪测影像测量仪分辨力引入的标准不确定度分量u23仪器的数显装置的分辨力为0.1μm，服从均匀分布，k= ，则3232u=0.1232测量重复性和分辨力，两者中取大值。3标准玻璃线纹尺引入的标准不确定度分量u3依据标准玻璃线纹尺的证书，其测量不确定度为U=(0.20+1.5L)μm，(L-m) k=3，取L=100mm=0.1m,则u0.21.50.1=0.12μm3 34闪测影像测量仪光栅尺与标准玻璃线纹尺线膨胀系数差引入的标准不确定度分量u4膨胀系数差的界限在±2.0×10-6℃-1范围内服从三角分布，Δt=3℃。2.010-621000006u4 μm=0.25μm6合成不确定度1标准不确定度一览表（C.1）12表C.1 标准不确定度一览表输入标准不确定度分量u(xi)不确定度分量来源不确定度分量值（μm）ciciu(xi)（μm）u(L)u1测量重复性0.191