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  • 1995-12-22 颁布
  • 1996-08-01 实施
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ICS31.200L97中华人民共和国国家标准GB/T15862-1995离子注人机通用技术条件Genericspecificationforionimplantationequipment1995-12-22发布1996-08-01实施国家技术监督局发布

中华人民共和国国家标准GB/T15862-1995离子注人机通用技术条件Cenericspecificationforionimplantationequipment主题内容与适用范围本标准规定了离子注人机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、财存：本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。2引用标准GB191包装储运图示标志GBn193出口机械、电工、仪器仪表产品包装通用技术条件GB5080.7设备可靠性试验“恒定失效率假定下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案GB6388运输包装收发货标志SJ142电子工业专用设备总技术要求SJ1276，金属镀层和化学处理层质量检验技术要求SJ2573涂料涂覆通用技术条件术语3.1東能量beamenergy到达靶上离子所具有的动能，单位为电子伏特(eV)、3.2靶束流beamcurrentontarget单位时间内靶上接收到的离子束电荷量，单位为安培(A)。3.3均勾性uniformity表征注人离子剂量不均匀的程度。用相对标准偏差表示3.44重复性repeatability表征片间(或批间)在相同条件下注入离子剂量不重复的程度。用相对标准偏差表示.3.55真空度vacuumn不引束条件下，离子注入机真空室所能达到的最低压强。4产品分类4.1」离子注入机按能量高低分为：低能离子注入机；b中能离子注入机；高能离子注入机;北伏离子注人机。4.22离子注入机

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