标准解读

《GB/T 15862-1995 离子注入机通用技术条件》是中国关于离子注入机设备制定的一项国家标准，旨在规范离子注入机的技术要求、测试方法以及检验规则，确保设备的性能稳定性和产品的质量一致性。此标准详细阐述了离子注入机在设计、制造及使用过程中需要遵循的基本原则和技术指标，适用于半导体工业中用于材料表面改性处理的各类离子注入设备。以下是该标准的主要内容概览：

  1. 范围：明确了标准适用的离子注入机类型，包括常温、高能、低能及特殊应用的离子注入机，涵盖了它们的构造、功能特性和安全要求。

  2. 引用标准：列出了实施本标准时需要参考的其他相关国家标准和行业标准，确保各项技术要求的一致性和协调性。

  3. 术语和定义：对离子注入机相关的专业术语进行了明确界定，如束流强度、能量分辨率、剂量控制精度等，为后续技术条款的理解奠定基础。

  4. 基本要求：概述了离子注入机在机械结构、电气系统、真空系统、控制系统等方面应满足的基本条件，确保设备的稳定运行和操作安全。

  5. 性能要求：

    • 束流特性：规定了离子束的强度、能量、剂量控制精度及稳定性等关键参数的最低标准。
    • 注入均匀性：要求离子注入在指定区域内的分布应达到一定的均匀度，以保证半导体器件的性能一致性。
    • 束斑尺寸与形状：定义了离子束斑的大小及其形状的控制要求，这对于精确控制注入深度和区域至关重要。
    • 能量分辨率与可调范围：明确了设备应具备的能量调节能力及能量分辨率，以适应不同材料和工艺的需求。

  6. 试验方法：详细描述了如何测试离子注入机的各项性能指标，包括测试环境、测试设备、测试步骤及数据处理方法。

  7. 检验规则：规定了产品出厂前的检验项目、检验频次及合格判定准则，确保每台设备都符合标准要求。

  8. 标志、包装、运输和储存：对设备的标识信息、包装方式、运输条件及储存环境提出了具体要求，以保护设备在交付过程中的完好无损。


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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 15862-2012
  • 1995-12-22 颁布
  • 1996-08-01 实施
©正版授权
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ICS31.200L97中华人民共和国国家标准GB/T15862-1995离子注人机通用技术条件Genericspecificationforionimplantationequipment1995-12-22发布1996-08-01实施国家技术监督局发布

中华人民共和国国家标准GB/T15862-1995离子注人机通用技术条件Cenericspecificationforionimplantationequipment主题内容与适用范围本标准规定了离子注人机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、财存：本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。2引用标准GB191包装储运图示标志GBn193出口机械、电工、仪器仪表产品包装通用技术条件GB5080.7设备可靠性试验“恒定失效率假定下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案GB6388运输包装收发货标志SJ142电子工业专用设备总技术要求SJ1276，金属镀层和化学处理层质量检验技术要求SJ2573涂料涂覆通用技术条件术语3.1東能量beamenergy到达靶上离子所具有的动能，单位为电子伏特(eV)、3.2靶束流beamcurrentontarget单位时间内靶上接收到的离子束电荷量，单位为安培(A)。3.3均勾性uniformity表征注人离子剂量不均匀的程度。用相对标准偏差表示3.44重复性repeatability表征片间(或批间)在相同条件下注入离子剂量不重复的程度。用相对标准偏差表示.3.55真空度vacuumn不引束条件下，离子注入机真空室所能达到的最低压强。4产品分类4.1」离子注入机按能量高低分为：低能离子注入机；b中能离子注入机；高能离子注入机;北伏离子注人机。4.22离子注入机

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