标准解读

《GB/T 16596-1996 确定晶片坐标系规范》是中国一项关于半导体晶片坐标系统确立的国家标准。该标准详细规定了如何在半导体晶片上建立统一、准确的坐标体系，这对于集成电路设计、制造、测试及封装等环节至关重要，确保了产业链上下游之间的有效沟通和工艺一致性。

标准内容要点包括：

  1. 晶片坐标系定义：明确了晶片坐标系的原点选择、坐标轴方向及其符合的国际通用标准，通常晶片坐标系的原点设定与晶片制造过程中的对准标记或特定几何特征相关联。

  2. 坐标系确定方法：阐述了通过光学显微镜、扫描电子显微镜等高精度设备，结合特定的测量与定位技术，如何精确测定晶片上的关键点位置，进而建立坐标系。这包括了图像处理、几何变换等步骤，确保坐标系的准确性和重复性。

  3. 坐标表示与标注：规定了晶片上各个功能区域、测试点等关键要素在坐标系下的表示方法和标注规则，便于设计文件与实际晶片间的信息交换。

  4. 误差与精度要求：针对坐标系建立过程中的测量误差，设置了允许的最大偏差范围，确保坐标系的建立能满足集成电路生产加工的精度需求。

  5. 验证与校正：提出了坐标系验证的方法和校正流程，确保坐标系统的稳定性和长期使用的准确性，包括定期的系统校验和根据实际生产数据进行的适时调整。


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  • 1996-11-04 颁布
  • 1997-04-01 实施
©正版授权
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文档简介

ICS29.045H21中华人民共和国国家标准GB/T16596—1996确定晶片坐标系规范Speciticationforestablishingawafercoordinatesystem1996-11-04发布1997-04-01实施国家技术监督局发布

GB/T16596-1996本标准等效采用半导体设备和材料国际组织SEMIM20—92《确定品片坐标系规范》结合我国的实际情况制定的，用于唯一确定晶片上任意一点位置的极坐标或直角坐标的品片坐标系。本标准可以用确切的术语描述GB/T12964中晶片上某一点的位置，配备有关设备，可以识别晶片特征和定位晶片。与本标准配套的标准有GB/T16595—1996《品片通用网格规范》。本标准由中国有色金属工业总公司提出。本标准由中国有色金属工业总公司标准计量研究所归口。本标准由中国有色金属工业总公司标准计量研究所负责起草.本标准主要起草人：吴福立。本标准1996年11月首次发布。

中华人民共和国国家标准确定晶片坐标系规范GB/r16596-1996Specificationforestablishingawafercoordinatesystem花围1.1本规范规定了利用晶片中心作为极坐标（-8-<)或直角坐标（-y-)的原点，可用于确定晶片上任意一点位置的晶片坐标系。1.2对于非构图晶片，可直接使用本晶片坐标系或与矩形阵列或极坐标重叠阵列一起使用本晶片坐标1.3本晶片坐标系也可用于确定另一坐标系的原点或其他基准点的位置，而这另一坐标系则常表示或记录在构图或非构图晶片上的局部区域、芯片或图形阵列的位置特征。这样，该阵列坐标系可定位晶片的实际几何图形。2引用标准下列标准所包含的条文，通过在本规范中引用而构成为本规范的条文。本规范出版时，所示版本均为有效，所有标准都会被修订，使用本规范的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。2.1我国标准GB/T12964-1996硅单晶抛光片GB/T16595-1996晶片通用网格规范2.2SEMI标准SEMIE5-92设备通信规范2,报文内容（SECSII)SEMIM1一94硅单晶抛光片规范SEMIM12-92品片正面系列字母数字标志规范SEMIM13-88硅片字母数字标志规范3确定晶片坐标系程序3.1确定晶片中心3.1.1晶片正面向上。3.1.2对本规范来说，假定晶片的圆周是最小圆包围着，而忽略参考面和所有其他边缘的不规则区域.该圆的圆心为晶片中心。3.2确定右旋的直角坐标系3.2.1坐标系的原点位于品片的几何中心。3.2.2坐标系的y轴在正面的直径上。该直径平分主基准面(参考面或缺口)3.2.3坐标系的轴在正面的直径上

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