标准解读

GB/T 16944-1997是一项中华人民共和国国家标准，全称为《电子工业用气体 氮》。该标准规定了电子工业中所使用的氮气的质量要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和储存要求，旨在确保氮气产品满足电子工业的特定应用需求，保证其纯度与可靠性，从而促进电子元件和器件的性能稳定性和生产过程的高效性。

标准内容概览：

  1. 范围：明确了标准适用的氮气类型及其在电子工业中的应用范畴，比如作为保护气体、置换气体或工艺气体使用。

  2. 规范性引用文件：列出了执行本标准时需要参考的其他相关标准文献，这些文献提供了测试方法、术语定义等基础信息。

  3. 要求：

    • 纯度：规定了氮气中氧、氩、水、二氧化碳、烃类等杂质的最大含量限值，以ppm（百万分之一）或更高精度单位表示，确保氮气的高纯净度。
    • 露点：设定了氮气的最低干燥要求，通常以露点温度表示，确保气体无凝结水，适合电子元件的加工环境。
    • 气味与外观：要求氮气应无臭、无色，且在正常条件下为透明气体，确保其不会对电子材料造成污染。

  4. 试验方法：详细说明了如何通过气相色谱分析、露点测定等方法来检测氮气的纯度、湿度等关键指标，确保测试结果的准确性和可重复性。

  5. 检验规则：包括了产品出厂前的检验项目、抽样方法及合格判定准则，确保每批次氮气都符合标准要求。

  6. 包装、标志、运输和储存：规定了氮气容器的材质、密封要求，以及在运输和储存过程中应采取的措施，以防止气体受到污染或物理性损害，保持其质量稳定。

实施意义：

该标准的实施对于提升电子工业产品的质量和生产效率具有重要意义，它不仅为氮气供应商提供了明确的产品质量控制标准，也为电子制造商在选择和使用氮气时提供了可靠依据，有助于保障整个产业链的高质量发展。


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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 16944-2009
  • 1997-08-13 颁布
  • 1998-05-01 实施
©正版授权
GB/T 16944-1997电子工业用气体氮_第1页
GB/T 16944-1997电子工业用气体氮_第2页
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文档简介

TCE71.100.20G86中华人民共和国国家标准GB/T16944一1997电子工业用气体氮Gasesforelectronicindustry-Nitrogen1997-08-13发布1998-05-01实施国家技术监督局发布

GB/T16944-1997本标准是根据SEMIC3.28-92《瓶装VLSI级氮标准》1995年版)制定的，在技术要求上与之等同，检验方法与之等效在将SEMIC3.28-92转化为本国家标准时，结合我国的实际情况，将标准的适用范围扩大至液态氮和管道输送氮，删去了SEMIC3.28-92中仅作为参考的物理常数和注释等内容，试验方法中增加了抽样和氮气纯度两条，各项杂质含量的测定，分别采用我国相应的通用试验方法国家标准，同时对检测限和标样要求按SEMI标准规定进行了适当的调整。以上变动与SEMI标准无实质性差异,并使标准的技术内容更加完整。本标准由中华人民共和国化学工业部提出。本标准由化学工业部西南化工研究院归口。本标准起草单位：化学工业部西南化工研究院、北京普莱克斯实用气体有限公司。本标准主要起草人：何道善。

中华人民共和国国家标准电子工业用气体GB/T16944-1997Gasesforelectronicindustry-Nitrogen本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于从分离空气或氨还原法制得的氮在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压，也用于化学气相淀积时的载气等。氮气化学性质不活泼，不可燃，是一种室息性气体，分子式：N：。相对分子质量：28.0134(按1991年国际相对原子质量)2引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时,所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T3864-—1996工业氮GB/T5832.1-86气体中微量水分的测定电解法GB/T5832.2—86气体中微量水分的测定露点法GB/T6285—86气体中微量氧的测定电化学法GB/T8981—88气体中微量氢的测定气相色谱法GB/T8984.1-1997，气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定气相色谱法气体中总烃的测定GB/T8984.3-1997：火焰离子化法3要求电子工业用液态、气态氮的技术指标应符合表1的要求。表1技术指标V/v指标氮气纯度,10-99.9996-氧化碳含量,10-0.5二氧化碳含最,10-0.5氢含量，10~.（氧含量,10-0.5总烃(以甲烷计)含量,1

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