GB/T 25184-2010X射线光电子能谱仪检定方法

ICS7104040

G04..

中华人民共和国国家标准

GB/T25184—2010

X射线光电子能谱仪检定方法

VerificationmethodforX-rayphotoelectronspectrometers

2010-09-26发布2011-08-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T25184—2010

目次

前言…………………………

Ⅰ

范围………………………

11

规范性引用文件…………………………

21

符号和缩略语……………

31

方法原理与系统构成……………………

43

计量单位与技术指标……………………

54

检定环境…………………

65

检定项目与方法…………………………

75

报告检定结果……………

822

检定周期…………………

922

GB/T25184—2010

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国微束分析标准化技术委员会表面分析分委员会归口

。

本标准负责起草单位福建光电有限公司厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室

:、。

本标准主要起草人王水菊时海燕丁训民

:、、。

Ⅰ

GB/T25184—2010

X射线光电子能谱仪检定方法

1范围

本标准规定了射线光电子能谱仪的检定方法本标准适用于使用非单色化或射线或

X。AlMgX

单色化射线且带有溅射清洁用离子枪的射线光电子能谱仪的检定

AlX,X。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

,,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用本文件

。,()。

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GB/T20175—2006

(ISO14606:2000,IDT)

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GB/T22571—2008X(ISO15472:2001,

IDT)

表面化学分析射线光电子能谱荷电控制和荷电校正方法的报告

GB/T25185—2010X

(ISO19318:2004,IDT)

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ISO15470:1999X(Surface

ChemicalAnalysis—X-rayphotoelectronspectrometers—Descriptionofselectedinstrumental

performanceparameters)

表面化学分析样品制备和安装程序标准指南

ISO18116(Surfacechemicalanalysis—

Guidelinesforpreparationandmountingofspecimensforanalysis)

表面化学分析和均相材料定量分析用实验测定相对灵敏度因子

ISO18118:2004AESXPS

的使用指南

(Surfacechemicalanalysis—AugerelectronspectroscopyandX-rayphotoelectron

spectroscopy—Guidetotheuseofexperimentallydeterminedrelativesensitivityfactorsforthequantitative

analysisofhomogeneousmaterials)

表面化学分析和横向分辨率的测定

ISO18516:2006AESXPS(Surfacechemicalanalysis—

AugerelectronspectroscopyandX-rayphotoelectronspectroscopy—Determinationoflateralresolution)

表面化学分析和横向分辨率分析面积和分析器分析面积的测