标准解读

GB/T 29056-2012《硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法》是一项国家标准，专门针对用于制造半导体材料的三氯氢硅中微量杂质元素（包括硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑）含量测定的方法进行了详细规定。该标准采用电感耦合等离子体质谱技术作为检测手段，这是一种能够提供高灵敏度与准确度分析结果的技术，适用于对上述多种金属及类金属元素进行同时或单独定量分析。

标准首先明确了适用范围，即其内容适用于通过ICP-MS（电感耦合等离子体质谱仪）来测量三氯氢硅样品中特定痕量元素的浓度。接着，它描述了整个实验流程，从样品准备到最终的数据处理都有具体指导，包括但不限于取样方式、溶解过程、内标选择、仪器条件设定等方面。此外，还提供了关于如何校准仪器以及建立校正曲线的具体步骤，这对于保证测试结果的一致性和可靠性至关重要。

对于每种待测元素而言，标准都给出了推荐的同位素比值、干扰校正策略及最低检测限等关键参数。这些信息帮助实验室工作人员在实际操作过程中根据具体情况做出适当调整，以达到最佳分析效果。同时，也强调了质量控制的重要性，建议定期使用已知浓度的标准溶液进行系统性能验证，并通过参与能力验证计划等方式确保长期稳定性与准确性。

此标准为相关行业提供了统一且科学有效的测试依据，有助于提高产品质量控制水平，促进国内外技术交流与合作。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2012-12-31 颁布
  • 2013-10-01 实施
©正版授权
GB/T 29056-2012硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定电感耦合等离子体质谱法_第1页
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GB/T 29056-2012硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定电感耦合等离子体质谱法-免费下载试读页

文档简介

ICS31030

L90.

中华人民共和国国家标准

GB/T29056—2012

硅外延用三氯氢硅化学分析方法

硼铝磷钒铬锰铁钴镍

、、、、、、、、、

铜钼砷和锑量的测定

、、

电感耦合等离子体质谱法

Trichlorosilaneforsiliconeitax—Determinationofboronaluminium

py,,

hoshorusvanadiumchromemananeseironcobaltnickel

pp,,,g,,,,

coerarsenicmolbdenumandantimoncontent—Inductivel

pp,,yyy

coupledplasmamassspectrometricmethod

2012-12-31发布2013-10-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T29056—2012

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本标准起草单位南京中锗科技股份有限公司南京大学现代分析中心南京大学国家计划新

:、、863

材料源研究开发中心

MO。

本标准主要起草人郑华荣刘新军龚磊荣张莉萍黄和明陈逸君虞磊

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T29056—2012

硅外延用三氯氢硅化学分析方法

硼铝磷钒铬锰铁钴镍

、、、、、、、、、

铜钼砷和锑量的测定

、、

电感耦合等离子体质谱法

警告———使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验本标准并未指出所有可能的安全问

。

题使用者有责任采取适当的安全和健康措施并保证符合国家有关法规规定的条件

。,。

1范围

本标准规定了用电感耦合等离子体质谱仪测定硅外延用三氯氢硅中硼铝磷

(ICP-MS)(SiHCl3)、、、

钒铬锰铁钴镍铜钼砷锑等痕量元素含量的方法

、、、、、、、、、。

本标准适用于硅外延用三氯氢硅中硼铝磷钒铬锰铁钴镍铜钼砷锑等含量

(SiHCl3)、、、、、、、、、、、、

的测定各元素测定范围见表

。1。

表1

元素测定范围质量分数w

()/%

B0.000000001~0.000002

Al0.000000001~0.000002

P0.000000001~0.0000002

V0.0000000005~0.000002

Cr0.000000001~0.000002

Mn0.000000001~0.000002

Fe0.000000001~0.000002

Co0.0000000005~0.0000002

Ni0.000000001~0.000002

Cu0.000000001~0.000002

Mo0.0000000005~0.0000002

As0.000000001~0.000002

Sb0.000000001~0.000002

2方法提要

乙腈能与一些金属氯化物生成稳定络合物于三氯氢硅中加入乙腈在常温下用氮气载带挥发分

。,,

离基体残留的用氢氟酸溶解转化为

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