标准解读

《GB/T 30901-2014 高纯氟化铵溶液》是一项国家标准，该标准规定了高纯度氟化铵溶液的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存的要求。适用于工业生产中使用的高纯氟化铵溶液。

根据此标准，对于高纯氟化铵溶液的质量控制主要体现在以下几个方面：

  • 技术要求：明确了产品应达到的物理化学性质指标，包括但不限于外观、密度、p值（或pH值）、主含量等关键参数，并对可能存在的杂质种类及其最大允许含量做出了限制。
  • 试验方法：提供了测定上述各项指标的具体操作步骤与条件设置，确保检测结果准确可靠。这些方法涵盖了样品处理、仪器设备选择、分析过程控制等多个环节。
  • 检验规则：定义了抽样方案、合格判断准则等内容，指导生产企业如何进行批次间的质量一致性验证。
  • 包装、标志、运输及储存：详细描述了成品出厂前后的处理方式，旨在保护产品质量不受外界因素影响，同时便于用户识别与使用。


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  • 2014-07-08 颁布
  • 2014-12-01 实施
©正版授权
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文档简介

ICS7106050

G12..

中华人民共和国国家标准

GB/T30901—2014

高纯氟化铵溶液

Highpurityammoniumfluoridesolutionforindustrialuse

2014-07-08发布2014-12-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T30901—2014

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由中国石油和化学工业联合会提出

。

本标准由全国化学标准化技术委员会无机化工分会归口

(SAC/TC63/SC1)。

本标准起草单位浙江凯恒电子材料有限公司福建省邵武市永飞化工有限公司鹰鹏集团宣城亨

:、、/

泰化工科技有限公司巨化集团技术中心山东兴氟新材料有限公司中海油天津化工研究设计院国家

、、、、

无机盐产品质量监督检验中心

。

本标准主要起草人田志扬赵晓亚万群平林益兴张红英周鹏鹏郭凤鑫王芳

:、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T30901—2014

高纯氟化铵溶液

1范围

本标准规定了高纯氟化铵溶液的分级要求试验方法检验规则标志标签包装运输贮存和

、、、、、、、、

安全

。

本标准适用于高纯氟化铵溶液该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗蚀

。、

刻等行业

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

包装储运图示标志

GB/T191—2008

化工产品采样总则

GB/T6678

液体化工产品采样通则

GB/T6680

分析实验室用水规格和试验方法

GB/T6682—2008

数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T8170

无机化工产品水溶液中值测定通用方法

GB/T23769—2009pH

液体无机化工产品色度测定通用方法

GB/T23770—2009

无机化工产品化学分析用标准溶液制剂及制品的制备第部分标准滴定溶

HG/T3696.1、1:

液的制备

无机化工产品化学分析用标准溶液制剂及制品的制备第部分杂质标准溶

HG/T3696.2、2:

液的制备

无机化工产品化学分析用标准溶液制剂及制品的制备第部分制剂及制品

HG/T3696.3、3:

的制备

3分子式和相对分子质量

分子式

:NH4F。

相对分子质量按年国际相对原子质量

:37.04(2011)。

4分级

高纯氟化铵溶液按用途分为两个等级

:

级主要用于线宽为以上集成电路的清洗与蚀刻

———UP-S:0.2μm;

级主要用于线宽为集成电路的清洗与蚀刻

———UP-SS:

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