标准解读

《GB/T 31352-2014 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法》是一项国家标准，旨在规定蓝宝石衬底片翘曲度的测量方法。该标准适用于直径不超过300mm的圆形或方形蓝宝石衬底片，其主要目的是为生产、研究及应用领域提供统一的翘曲度测试依据。

根据标准内容，测试前需准备符合要求的测试设备，包括但不限于平整度极高的平面参考板和高精度位移传感器等。此外，还应确保被测样品表面清洁无损，并且在测试过程中保持环境条件稳定，以减少外界因素对测试结果的影响。

对于不同尺寸规格的蓝宝石衬底片，标准给出了具体的放置方式：将待测样品平放于水平基准面上，使用非接触式探头沿预定路径扫描样品表面，记录下各个点相对于理想平面的最大偏离值作为该样品的翘曲度。其中，路径设计需覆盖整个有效区域，同时保证数据采集密度足够支持准确评估整体形貌特征。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2014-12-31 颁布
  • 2015-09-01 实施
©正版授权
GB/T 31352-2014蓝宝石衬底片翘曲度测试方法_第1页
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文档简介

ICS7704099

H21..

中华人民共和国国家标准

GB/T31352—2014

蓝宝石衬底片翘曲度测试方法

Testmethodsforwarpofsapphiresubstrates

2014-12-31发布2015-09-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T31352—2014

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任

。。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会和全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本标准起草单位江苏协鑫软控设备科技发展有限公司中国科学院上海光学精密机械研究所北

:、、

京合能阳光新能源技术有限公司

。

本标准主要起草人薛抗美魏明德黄修康杭寅夏根平肖宗杰

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T31352—2014

蓝宝石衬底片翘曲度测试方法

1范围

本标准规定了蓝宝石切割片研磨片抛光片以下简称蓝宝石衬底片翘曲度的测试方法

、、()。

本标准适用于直径厚度为不小于的蓝宝石衬底片翘曲度的测试

50.8mm~304.8mm,200μm。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

计数抽样检验程序第部分按接收质量限检索的逐批检验抽样计划

GB/T2828.11:(AQL)

硅片翘曲度非接触式测试方法

GB/T6620

半导体材料术语

GB/T14264

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T14264。

31

.

翘曲度warp

自由无夹持晶片中位面与中位面基准平面之间的最大和最小距离的差值

。

32

.

中位面基准平面mediansurfacereferenceplane

由指定的小于晶片标称直径的直径圆周上的个等距离点决定的平面

3。

4方法提要

41接触式测试

.

将蓝宝石衬底片置放在基准环的个支点上支点形成一个基准平面利用低压力位移指示器沿

3,3,

规定路径测量蓝宝石衬底片偏离基准平面的距离记录成对位移指示器的读数并求其差值针对一系列

,,

成对数值的差值取其最大值与最小值的差值除以该得值即表示衬底片的翘曲度

2,。

42非接触式测试

.

将蓝宝石衬底片置放在基准环的个支点上支点形成一个基准平面利用非接触式位移传感器

3,3,

沿规定路径测量蓝宝石衬底片偏离基准平面的距离记录成对位移指示器的读数并求其差值针对一系

,,

列成对数值的差值取其最大值与最小值的差值除以该得值即表示衬底片的翘曲度

,2,。

43白光干涉式测试

.

激光照射蓝宝石衬底片表面光经过反射相互叠加干涉干涉图经光学成像系统记录开始高低形

,,,

貌测量物镜在Z轴方向上不断微小的移动在每个移动位置上

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