• 现行
  • 正在执行有效
  • 2015-05-15 颁布
  • 2016-01-01 实施
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文档简介

ICS31030

L90-

中华人民共和国国家标准

GB/T31469—2015

半导体材料切削液

Semiconductormaterialscuttingfluid

2015-05-15发布2016-01-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T31469—2015

目次

前言

…………………………Ⅰ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

技术要求

3…………………1

试验方法

4…………………2

检验规则

5…………………2

标志包装储存及运输

6、、…………………3

GB/T31469—2015

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本标准起草单位扬州华裕光伏材料有限公司西安飞讯光电有限公司扬州市职业大学东方电气

:、、、

集团峨嵋半导体材料有限公司中国电子技术标准化研究院

、。

本标准起草人缪德俊徐蓉艳缪立山彭新玲丁浩郭倩蒲学军王香

:、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T31469—2015

半导体材料切削液

1范围

本标准规定了半导体材料切削液的各项技术要求试验方法检验规则标志包装储存及运输等

、、、、、

要求

。

本标准适用于半导体材料线切割加工采用的切削液

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

化学试剂标准滴定溶液的制备

GB/T601

化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备

GB/T603

液体化学产品颜色测定法单位铂钴色号

GB/T3143(Hazen———-)

化工产品密度相对密度的测定

GB/T4472—2011、

表面活性剂水溶液值的测定电位法

GB/T6368pH

化工产品采样总则

GB/T6678

液体化工产品采样通则

GB/T6680

分析实验室用水规格和试验方法

GB/T6682—2008

数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T8170

粘度测量方法

GB/T10247

表面活性剂含水量的测定

GB/T11275

电子级水

GB/T11446.1

液态烃类电导率测定法

GB/T12582

化学试剂包装及标志

GB/T15346—2012

3技术要求

半导体材料切削液技术要求应符合表规定

1。

表1半导体及太阳能级晶体材料线切割用切削液要求

要求

项目

型型型

ⅠⅡⅢ

外观无色或微黄透明液体

粘度

≤4040~52≥5

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