标准解读

《YS/T 1123-2016 铂蒸发料》是一项由中华人民共和国工业和信息化部发布的行业标准，主要针对用于物理气相沉积（PVD）等工艺中作为蒸发源材料的铂蒸发料。该标准详细规定了此类产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存等方面的要求。

在技术要求部分，标准明确了铂蒸发料应达到的具体化学成分指标，包括但不限于纯度要求，即铂含量不得低于某一特定值，并且对可能存在的杂质元素设定了最大允许量。此外，还定义了产品外观质量标准，如形状、尺寸及其公差范围等，确保材料能够满足后续加工或使用需求。

对于试验方法，《YS/T 1123-2016》提供了详细的检测流程和技术手段，用以验证铂蒸发料是否符合既定的技术规范。这其中包括了化学分析法测定铂及其他元素含量的方法、物理性能测试项目如密度测量等。

关于检验规则方面，本标准确立了一套完整的验收体系，涵盖出厂检验与型式检验两种类型。其中，出厂检验是对每批产品进行的质量控制检查；而型式检验则是在特定条件下执行的更为全面深入的产品性能评估，通常当生产工艺发生重大变更时需要实施。


如需获取更多详尽信息，请直接参考下方经官方授权发布的权威标准文档。

....

查看全部

  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2016-07-11 颁布
  • 2017-01-01 实施
©正版授权
YS/T 1123-2016铂蒸发料_第1页
YS/T 1123-2016铂蒸发料_第2页
YS/T 1123-2016铂蒸发料_第3页
免费预览已结束，剩余9页可下载查看

下载本文档

YS/T 1123-2016铂蒸发料-免费下载试读页

文档简介

ICS77.150.99

H68

中华人民共和国有色金属行业标准

YST1123—2016

铂蒸发料

Evaporatedplatinummaterial

2016-07-11发布2017-01-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YST1123—2016

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC243)。

本标准起草单位有研亿金新材料有限公司有色金属技术经济研究院

:、。

本标准主要起草人张巧霞张涛王兴权向磊万小勇贺昕张玉利王越王永辉贾存锋

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

YST1123—2016

铂蒸发料

1范围

本标准规定了铂蒸发料的要求试验方法检验规则标志包装运输贮存质量证明书及订货单

、、、、、、、

或合同内容

()。

本标准适用于半导体行业用的铂蒸发料

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

海绵铂

GB/T1419—2004

计数抽样检验程序第部分按接收质量限检索的逐批检验抽样计划

GB/T2828.11:(AQL)

贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法

GB/T15077—2008

3要求

3.1产品分类

3.1.1产品按照化学成分分为两个牌号

IC-Pt99.95、IC-Pt99.99。

3.1.2产品主要分为片状柱状如图所示产品形状定义及供货状态应符合表的要求需方有

、,1。、1,

其他要求时由供需双方协商解决

。

说明

:

A长度L长度

———;———;

B宽度D直径

———;———。

C厚度

———;

图1铂蒸发料示意图

表1铂蒸发料分类

形状定义供货状态

片状厚度为长度为宽度为的片材

0.5mm~5mm,5mm~20mm,5mm~20mm加工态

柱状直径为

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 各类标准

温馨提示

  • 1. 本站所提供的标准文本仅供个人学习、研究之用，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或网络传播等，侵权必究。
  • 2. 本站所提供的标准均为PDF格式电子版文本（可阅读打印），因数字商品的特殊性，一经售出，不提供退换货服务。
  • 3. 标准文档要求电子版与印刷版保持一致，所以下载的文档中可能包含空白页，非文档质量问题。

最新文档

评论

0/150

提交评论