真空对环境的要求包括两个方面

真空对环境的要求包括两个方面：一是对真空设备所处车间的温度、湿度，空气中的微粒等周围环境的要求；二是对处于真空状态和真空中的零件或工件的表面的要求。周围环境的好坏直接影响真空设备的使用，而真空设备的真空室和装入里面的工件是否清洁直接影响设备的性能和镀件质量。如果空气中含有大量的水蒸汽和灰尘，在真空室没有经过清洗烘干的情况下，用油封机械泵抽气很难达到预期的真空度。所以镀膜机所在的车间应保持清洁卫生，地面为水磨石或木质涂漆地面，无尘埃。为防止机械泵工作时排出的气体对车间环境的污染，泵的排气口要装设排气管道，将气体排出室外。现将工作环境条件归列如下：温度15°C—30°C；相对湿度不大于70%；冷却水进水温度不高于25C，冷却循环用水的质量：采用城市自来水或质量相当的水；清洗工件用水必须用大于1.5MQ的工业软水。环境：室内整洁，空气中不应含有可能引起电器短路及金属件表面腐蚀的尘埃或气体二、设备的维护与保养配电柜要有可靠的接地。电机、真空泵、真空表的维护与保养参照各自说明书。调压蒸发：变压器到各部的导电部分，由于长期使用、清洗，也会造成接触不良，难以工作，要适时对这些部位保养，保证其可靠性。气源、电控换向阀：必须保证0.4—0.6Mpa的压缩空气，气源三联件必须经常注意放水、加油，一旦电控换向失灵，可用手动换向，然后查找原因修复。气动阀：要经常保证气缸有油润滑，活动轴上骨架油封要经常检查和润滑,防止过快磨损造成微漏。工作室、工件架：尽量少暴露大气，如三班制生产，一般7天清洗一次为好，清洗用烧硷20%加水80%的溶液刷抹，（警告：烧硷具有强腐性，操作人员要有严格的防护措施）直到将镀上去的铝层烧尽为止，再用清水将硷液洗净擦干，工件架在外自然干燥，工作室虚关大门，内放一3KW电炉烘烤2小时，将内部水蒸汽蒸发完，推进工件架，关大门抽气，开精抽约1小时除气，再按操作步骤即可生产（注意：清洗镀膜室时，严禁硷水流到扩散泵内）。扩散泵：在工作时要有足够的气压0.4—0.6Mpa，水压0.15—0.2Mpa扩散泵连续工作3—4个月后，如清洗工作室，抽速仍然慢，应更换扩散泵油，更换方法如下：停电炉，卸掉电炉盘，关维持泵、关水；开粗抽关大门，待工作室上真空圆表满格后，开罗茨泵，使热偶表达30格；开精抽阀，关罗茨泵、关粗抽泵，用起子撬开放气阀，向工作室、扩散泵充气，待气满门开；先卸掉扩散泵侧垂直管道法兰螺栓，再卸扩散泵口螺栓；降低支承螺杆高度推出。取出扩散泵内胆，倒掉脏油，用除油剂清洗，如有焦糊物，可用水砂纸轻轻磨去，最后用湿毛巾擦净，放置1小时左右，待水分蒸发后，按原样装回加3#扩散泵油；3.5升装桶。（警告：清洗真空室及扩散泵如有人进入容器时，要有专人看护并注意通风，以防因缺氧造成危险）扩散泵接口以上部分用同样方法清洗；依次装上扩散泵，上电炉盘，关上阀，关下阀；开维护泵抽约90分钟，待扩散泵上热偶表达4Pa，开电炉加热，以后可按操作步骤进行。真空泵、罗茨泵按其说明书保养。但做扩散泵维持用的真空泵，由于所抽气体水蒸汽较多，要求一个月换一次油。做粗抽用的真空泵，由于所抽气体金属粉尘较多，要求二个月换油以保证抽气速度和真空泵的使用寿命。一）低真空漏气冲气阀胶片损坏变形（阵发性）漏气排除方法：换新胶片或胶片反转用。蒸发电缆与工作室连接处密封圈因蒸发短路或接触不良发热烧坏，漏源附近发黑（突发性）。排除方法：用真空泥逐个封死，判断准确后更换密封圈。规管连接处密封不严（长期性）。排除方法：规管连接处涂上真空油检查，如发现漏气，可用真空封泥封死，也可重新安装。上阀杆密封圈损坏（阵发性）排除方法：参照第3点的检验方法，更换新密封圈。大门胶圈损坏（长期性）。排除方法：将损坏的胶圈转90°角再检验，或更换。大门底部胶圈中有脏物垫住或胶圈底部生锈（长期性）。排除方法：拆下压条，清除胶圈四周脏物，实行定期清理。下阀阀杆处密封圈损坏（长期性）。排除方法：参照第3点，更换密封圈。电磁阀不动作或不全打开（长期性）。排除方法：用万用表直流250V档量电磁阀的2根线，电压是否在180—200V左右，如低于100V则整流桥其中一只二极管断路。换上耐压400V、10A的二极管，如电压全无，则整流桥的保险丝烧坏，更换保险丝。观察窗玻璃破裂或未上紧，或胶圈有脏物形成漏气（长期性）。排除方法：更换玻璃、上紧螺钉。维持泵电磁阀连续烧断保险丝。排除方法：整流桥其中一只二极管击穿短路，更换二极管。波纹管破裂（长期性）。排除方法：补焊。粗抽阀关不死漏气（长期性）。检查方法与排除：卸下阀盖，检查阀座压痕，看是否有异物垫住，再检查阀芯密封胶圈是否损坏，必要时更换之。冷阱漏气、漏水。检查方法：冷阱接头内外胶圈是否挤坏，接头螺母是否滑丝。（二）高真空故障按上述问题查找，排除漏气的可能性后，引起高真空上不去或者难上去的因素如下：上下阀不动作检查方法：空气压缩机是否0.4Mpa以上压力，电磁换向阀是否烧坏或脱线？上下阀开关是否失灵？有关的接触器触头或线圈是否烧坏。扩散泵油氧化、老化（渐进性）。排除方法：清洗扩散泵（参照设备的维护与保养）。扩散泵冷却管大部脱焊（缺水造成）。排除方法：扩散泵壁与冷却管脱焊部位的接触面彻底清理干净。涂上一些饱和氯化锌，用500W电铬铁或火铬铁锡焊。冷却水少或断水。排除方法：经常注意冷却水是否足够，出来的水温控制在35°C以下，经常检查水流继电器及电铃是否正常，免得出现断水时不能报警而致使扩散泵冷却管脱焊。下阀不动作。排除方法：参照第1点进行。罗茨泵不正常排除方法：检查罗茨泵真空度是否在8x10-2帕以上，如果真空度低于4x10-1帕，应参考有关资料检修。（三）在正常状态，为什么往工作室充大气，维持泵冒烟？1、阀盖底有杂物垫住胶圈，造成压不死阀盖。排除方法：待扩散泵冷却后，手动开上阀换向阀，清理上阀盖底部及胶圈。2、下阀盖胶圈变形。排除方法：换新胶圈。3、压缩机气压不足时关上阀及下阀，造成关不死。排除方法：保持0.4Mpa压力，压缩机最好装上压力继电器。（四）为什么换新扩散泵油后，高真空很难抽上去？1、扩散泵清洗不干净？排除方法：把扩散泵油倒出来拿到光线充足的地方观察，发现油中有反光微粒时，则证明油中有铝粒，因清洗不彻底，必须重新清洗、换油。2、扩散泵油暴露大气时间长，可能失效。排除方法：连续加热到2小时以上，高真空还是上不去，要重新清洗扩散泵，烘干后另换新油。3、扩散泵油不纯。排除方法：由于扩散泵油渗进其它油类，造成扩散泵不能正常工作，参照第2点处理，扩散泵油要专人保管。4、扩散泵装配不良。排除方法：重新安装。（五）为什么真空泵出现喷油？1、油量过多。排除方法：保持油位在泵的油镜中间。2、长期抽大气。排除方法：不允许长期抽大气，对泵腔光洁度受影响，有可能会导致旋片断裂。3、油箱盖及挡油板放反或挡油板漏放。排除方法：正确