活性炭滤网技术资料

CARBONFILTER1德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第1页!內容AMC的來源與分類AMC之影響濾材種類與形式濾網種類考慮事項檢測與監測2德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第2页!AMC:AirborneMolecularContamination

3德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第3页!SEMIF21-95分類AcidBaseCondensableDopant4德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第4页!無塵室濃度-ACIDContaminantConcentrationRange(ppt)HF40k250kHNO320k250kH3PO410k400kH2SO410k300k5德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第5页!無塵室濃度-BASEContaminantConcentrationRange(ppt)Ammonia10k200kNMP20k300k6德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第6页!無塵室濃度-CONDENSABLEContaminantConcentrationRange(ppt)Acetone20k250kToluene10k200k7德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第7页!無塵室濃度-DopantContaminantConcentrationRange(ppt)BoricAcidND200kPhosphorousND5kArsineND<50k8德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第8页!AMC之影響-IDeepultraviolet(DUV)photoresistT-toppingPHOTO·UncontrolledboronorphosphorusdopingDF·EtchrateshiftsandcorrosionETCH·SiCformationfollowingpre-oxidationcleanDF·ThresholdvoltageshiftsQA·Nucleationirregularities(CVD)TF·High-efficiencyparticulateair(HEPA)filterdegradationFE·WaferandstepperopticshazingPHOTO·HighcontactresistanceQA9德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第9页!不能解答的問題那一個製程的風險最大晶片在這個製程的那一個步驟有風險需要多長時間影響污染的風險那一個濃度AMC會影響何製程的何步驟10德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第10页!分子性污染-I化學性污染–非粒子–氣相污染把分子視為比細塵小數十倍至數百倍數千倍的粒子物理性質：數量大、重量輕、擴散化學性質：有能力與他種化學物質反應產生不同的東西11德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第11页!改質活性碳一些小分子化學物質如HF、NH4+等活性碳幾乎沒有辦法處理必須使用改質碳改質活性碳是一種反應型過錳酸鉀－約含4%KMNO4-屬於萬用型，但對含硫物質較佳酸性－約含10%磷酸，醋酸鹼性－約含5–10%氫氧化鈉12德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第12页!比較CarbonKMNO4KOH揮發性有機物826臭氧10210二氧化氮649酸HCl,HF,氯008硫化氫1810二氧化硫789有機硫589硝酸66913德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第13页!粒形MM1000MM3000MM7000MM90004%過錳酸鉀活性碳10%磷酸5-10%氫氧化鉀載體活性鋁活性碳活性碳密度0.80.50.80.55壓損50fpm/1ftbed1“1.71.81.714德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第14页!濾網的種類鐵、鋁、紙框不織布CarbonTray(V-Bank)Boxtype15德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第15页!評估-空調系統目前是否有使用CarbonfilterorChemicalFilter，但還不能解決問題空調箱是否有預留安裝Chemicalfilter的位置-空間風車馬力（靜壓）是否足夠-濾網壓損16德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第16页!評估-濾網種類CarbonTray箱體需要很大空間產塵很厲害大都裝於外氣進口可裝大量活性碳或其他化學性吸附劑壓損很大初期成本較高，但更換的價格較低17德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第17页!評估-濾網種類PreType含活性碳不織布壓損與初級濾網差不多NonwovenCarbon含量太低(90–120g/m2)除非沒有空間、且風車靜壓不足、萬不得已不要用。沒有改質碳，只有一般活性碳。除去一般異味。活性碳粒一定會掉出，產塵。18德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第18页!壽命很難估算，通常將客戶已知濃度送至國外估算不一定準確，其他不影響製程的一些東西亦會被吸附，而影響壽命19德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第19页!ISAStdS71.04-1985(I)反應性監測-非獨特定量的量測直接測量整體腐蝕能力包含一個事先準備的銅或銀片於操作環境的置換至少一個月20德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第20页!無塵室的AMC：來源製程化學品、反應副產物溶劑酸鹼清淨室物質的outgasing人員：氨、硫化物災害：溢出的化學物質外部空氣：循環空氣：21德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第21页!ACID一種腐蝕性物質其化學反應性質為電子接受者HF(HydroflouricAcid)氫氟酸、HNO3（NitricAcid）硝酸、H3PO4（PhosphoricAcid）磷酸…22德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第22页!BASE一種腐蝕性物質其化學反應性質為電子提供者Ammonia、NMP、Methylamine23德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第23页!CONDENSABLE一沸點高於室溫的物質（非水）於大氣壓力下可凝結於清潔表面HydrocarbonsVOC、DOP24德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第24页!DOPANT一化學元素會改變半導體原料的電性Boron（硼）、Phosphours（磷）Arsenic（砷）25德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第25页!AMC之影響T-toppingofresistbyorganicbasesFormscrustysurfaceonresist-ammoniaDefectiveepitaxialgrowthUnintentionaldopingUnevenoxidegrowthChangesinsurfaceproperties,wettability,hydrophobizationCorrosionDecreasedmetalpadadhesionSiliconCarbideformation26德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第26页!27德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第27页!比較AMC與Particle(class1)AMCParticle尺寸3nm100nm數量3x1013/m329/m3質量5ng/m31pg/m328德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第28页!作用的方式吸附－污染物與吸附體間的物理作用力。活性碳、SilicaGel、活性鋁（氧化鋁）反應－污染物與吸附體間產生化學反應產生不揮發性物質。活性碳、活性鋁為基質化學吸附劑-改質活性碳29德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第29页!一些影響活性碳的因子活性碳的顆粒大小溫度溼度污染物本身的化學性質影響吸附型的因子不一定會影響反應型30德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第30页!濾材的種類顆粒型植入不織布型不織布包覆型31德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第31页!不織布包覆型853147875基種g/m2600600600使用臭氧揮發性有機物氨有機胺類酸揮發性有機物32德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第32页!評估-污染污染源在何處-外氣、製程產生何種污染：溶劑、酸、鹼或其他製程產生可否局部外排（以排氣櫃）目前濃度為何？數據（自己檢測或請人檢測）需要處理到何種程度33德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第33页!評估-濾網種類選擇安裝於何處產塵的影響滯留時間-風速的影響34德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第34页!評估-濾網種類包覆式壓損低，可處理風量較大。HEPA的框架即可使用不需特別裝置很大的過濾面積、價格很高不產塵可放的位置較多，甚至於HEPA前亦可濾材的選擇有三種，一般活性碳、酸性、鹼性35德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第35页!評估-濾材種類選擇何種污染是否酸鹼必須一起解決萬用型能否解決-CarbonFilter、KMnO4梅花型的排法、混合床36德崧股份有限公司活性炭滤网技术资料共38页，您现在浏览的是第36页!檢測IonChromatography離子層析儀：陰離