地面洁净技术基础培训教材

洁净技术基础培训教材张利群二OO六年十月月目录录空气调节和空气气净化的基础础知识（一）空气调节节的基本概念念1.空气气调节及其分分类2.湿空气的的焓湿图及其其应用=1\*GB2⑴湿空气的焓焓湿图=2\*GB2⑵焓湿图中的的名词定义=3\*GB2⑶焓湿图的应应用=4\*GB2⑷焓湿图应用用的举例3.空调送回回风的气流组组织（二）空气净化化的基础知识识1.洁净室及及其四大要素素2.洁净室的的应用及其分分类3.洁净室与与一般空调的的差别4.工业洁净净室与生物洁洁净室的差别别5.洁净室洁洁净度的等级级标准二．洁净室的建建造特点建造的洁净室必必须保证生产产工艺所要求求的各项参数数建造的洁净室要要具有一定的的灵活性建造洁净室需要要较大的投资资洁净室运行耗电电量大运行费费用高三．洁净室的竣竣工验收调试试，性能测试试和洁净室的的综合评价（一）调试前的的准备工作（二）单机试车车（三）联动调试试（四）洁净室的的性能测试和和综合评价四．洁净室的性性能测试（一）洁净室性性能测试的目目的（二）洁净室性性能测试的内内容（三）洁净室性性能测试的主主要仪器和仪仪表（四）洁净室性性能测试的方方法五．洁净室维护护管理的一问问题过滤器的基本知知识及其维护护管理洁净室的发尘源源和洁净室的的清埽洁净室的空气品品质洁净工作服及其其清洗洁净区厕所的设设置值班风机的设置置吹淋室的设置及及吹淋效果洁净室的正压维维持洁净室的消毒和和灭菌洁净室的颜色处处理（十一）洁净室室的静电和静静电的消除（十二）洁净室室的防火和防防爆（十三）洁净室室的能耗和节节能（十四）洁净室室的竣工验收收调试和在线线测试（十五）净化空空调系统的家家湿问题（十六）净化空空调系统的管管道保温和防防结露问题（十七）净化空空调系统的加加热问题洁净室工程师培培训教材一.空气调节节和空气净化化的基础知识识（一）空气调节节的基本概念念1、空气调节及及其分类空气调节就是使使房间或封闭闭空间的温度度，相对湿度度，洁净度，和和气流速度等等参数均达到到给定要求的的技术。也就就是说，在人人们的生活和和工作以及生生产和科研的的某一个特定定的空间内其其环境空气的的温度，湿度度，洁净度，和和气流速度等等构成了该空空间的空气环环境。采取必必要的技术手手段来创造和和保持该空间间内要求的空空气环境就是是空气调节的的任务。在空空气调节系统统中，空气处处理设备即空空调器是实现现空气热，湿湿交换和空气气过滤净化的的核心部分。一一个房间或一一个空间，在在一般情况下下除了有来自自该房间内部部的围护结构构，人员，照照明灯具及设设备产生的热热，湿，粒子子，微生物或或其他有害物物的干扰外，同同时还有来自自房间外部的的大气，太阳阳辐射等的干干扰。为了消消除上述来自自室内外的干干扰，就必须须采取必要的的技术手段，用用在空气处理理设备中经热热，湿和过滤滤处理过的空空气来转移，置置换，稀释和和冲淡来自方方方面面对房房间空气的干干扰，来保证证房间内一定定要求的空气气环境。空气气调节的原例例图见图一和和图二。图一空气调调节原理图图二净化空空调原理图空气调节按使用用对象的不同同又可划分为为舒适性空气气调节和工艺艺性空气调节节。舒适性空气气调节就是为为了满足人们们的舒适要求求而设置的空空气调节。工艺性空气气调节就是为为了满足生产产工艺对环境境空气参数的的要求而设置置的空气调节节。环境空气气的温湿度等等参数均由生生产工艺来决决定。不同的的生产工艺对对环境空气参参数的要求也也不相同。2、湿空气焓湿湿图及其应用用湿空气的焓湿湿空气就是我们们生活和工作作的环境空气气，就是生产产和科学研究究的环境空气气。其主要成成份是干空气气和水蒸汽。所所谓干空气就就是不含水蒸蒸汽的空气，其其中有78%的氮气，21%的氧气和不不足1%的氩气，氖氖气等惰性气气体和少量的的二氧化碳。在在湿空气中虽虽然水蒸汽的的含量非常少少，但是它的的作用却非常常大。从某种种意义上说调调节湿空气中中水蒸汽的含含量就是空气气调节的重要要任务之一。湿空气的焓湿图图是用来表示示湿空气的温温度、相对湿湿度、含湿量量和焓值等空空气状态参数数及其相互关关系的线算图图。是在一定定的大气压力力的条件下，以以焓值为纵坐坐标含湿量为为横坐标，其其夹角为1350的线算图。图图中有等温度度线、等相对对湿度线、等等含湿量线和和等焓值线。利利用焓湿图可可以表示空气气调节处理过过程中所发生生的混合、加加热、冷却、加加湿、去湿等等所有空气处处理过程，并并且利用焓湿湿图可以计算算出空气处理理过程中所需需要的冷量、加加热量、加湿湿量等各种用用量。焓湿图图见图三。图三湿空气的的焓湿图②焓湿图中的的名词定义：：a.干球温度度：就是用干干球温度计测测出的空气温温度。b.湿球温度度：就是用湿湿球温度计测测出的空气温温度。也就是是说将温度计计的水银球用用浸水的纱布包裹起来，所所测得的稳定定的空气温度度。从理论来来说，湿球温温度就是室内内放置一盆水水，水吸收空空气中的热量量后部分水蒸蒸发成水蒸汽汽释放到空气气中，增加空空气的潜热，而而空气失去了了热量，温度度降低失去了了空气的显热热。当这一热热湿交换达到到平衡以后，空空气所得的潜潜热（水蒸汽汽）和所失的的显热（温度度降低）达到到平衡后，其其空气的总热热量（焓值）不不变时，此时时的水面空气气的温度就是是空气的湿球球温度<即增加的潜潜热等于失去去的显热时>。湿球温度度也就是相对对湿度100%时的饱和温温度。c.相对湿度度：空气中实实际的水蒸汽汽的分压力与与同温度下饱饱和状态空气气的水蒸汽的的分压力之比比。饱和水蒸蒸汽的分压力力为100%。d.饱和水蒸蒸汽的分压力力：空气中的的水蒸汽不断断增加达到饱饱和时，空气气中的水蒸汽汽就会凝结成成水由空气中中分离出来，此此时的温度为为饱和温度，其其相对湿度达达到100%。e.露点温度度：是在一定定大气压力的的条件下，某某含湿量下的的未饱和空气气因温度不断断地降低，相相对湿度不断断增加，达到到饱和状态空空气中的水蒸蒸汽凝结成水水珠，从空气气中分离出来来时的温度叫叫露点温度。也也就是空气中中的水蒸汽分分压力随空气气温度降低不不断升高，达达到饱和状态态（100%）时的温度度叫露点温度度。f.含湿量：即即环境空气中中1公斤干空气气所含有水蒸蒸汽的质量（g）。g.热湿比线线：空调房间间内的全热负负荷与全湿负负荷之比。在电子工业产热热量大、产湿湿量小的洁净净厂房一般的的热湿比8000~~100000大卡/kg趋近正无穷穷大。对于医院的洁净净手术部的洁洁净手术室的的热湿比大约约在1800~~2400大卡/kg。因为人多多，人的产湿湿量大，但热热负荷较小。焓湿图的应用在焓湿图上可以以划出空气调调节系统中各各种空气处理理的过程线，并并且可以在线线算图上查出出各种空气处处理过程的空空气参数和各各种所需用量量。a.等湿加热热：空气含湿湿量不变条件件下的加热。环环境空气的干干球温度升高高，相对湿度度降低。如：：空气处理中中用热水和蒸蒸汽为热源的的热交换器加加热、电加热热器的加热。为正的无穷大过程图线。见图四。b.等湿降温温：空气含湿湿量不变条件件下的降温。环环境空气的干干球温度降低低，相对湿度度增加但并未未到露点，没没有水凝结出出来。如：空空气处理中的的干表冷。即即送入表冷器器中的冷冻水水的初温高于于空气露点。此此时为负无穷穷大的过程线线。见图五。图四等湿加加热过程图五等湿降温过过程c.等焓加湿湿：空气的焓焓值不变条件件下的加湿。即即空气和水直直接并充分地地进行热交换换的过程。水水吸收空气中中的热量后部部分水被蒸发发成水蒸汽进进入空气，空空气失去热量量温度下降。最最终达到空气气失去的热量量等于空气中中增加的水蒸蒸汽的含热量量。其空气的的总热量（焓焓值）不变。过过程线是135º线，=0，过程线见见图六。空气气处理过程中中淋水室（淋淋循环水）湿湿膜加湿、高高压喷雾加湿湿、超声波加加湿等加湿的的过程线。d.生温去湿湿：空气的温温度不断升高高含湿量不断断降低的过程程。固体化学学去湿的过程程就是生温去去湿的过程。即即：固体吸湿湿剂吸收空气气中的水分发发生化学反应应放热使空气气温度升高，绝绝对含湿量降降低，相对湿湿度也降低。过过程线近似等等焓线。常见见的分子筛、氯氯化锂、硅胶胶等固体吸湿湿就是生温去去湿过程。过过程线见图七七。图六等焓加加湿过程图七升温去湿过过程e.等温加湿湿：空气干球球温度不变条条件下的加湿湿。向空气中中喷入水蒸汽汽的过程就是是等温加湿过过程。空气的的温度维持不不变，直接将将水蒸汽喷入入空气变成空空气中的水蒸蒸汽。空气处处理中常用的的喷蒸汽、喷喷干蒸汽电极极式、电热式式的加湿器。过过程线见图八八。f.降温去湿湿（降温干燥燥）：空气的的温度降低同同时含湿量也也减低的空气气处理过程。向向空气中喷淋淋低于空气露露点的冷冻水水，或将低于于空气露点的的冷冻水（冷冷媒）通入表表面冷却器，与与空气接触后后，使空气温温度降低而且且还使空气中中的水蒸汽遇遇冷凝结成水水滴从空气中中分离出来，使使空气的温度度降低,绝对含湿量量减少。这是是空气处理中中最常用的降降温去湿的方方法，也是冷冷冻去湿的方方法。过程线线见图九。向向空气中喷淋淋液体吸湿剂剂的处理过程程也是降温去去湿减焓过程程，但工程中中很少应用。图八等温加加湿过程图九降温去湿过过程g.升温加湿湿：向空气中中喷热水的处处理过程，是是升温加湿的的过程。在工工程中很少应应用。过程线线见图十。h.空气的混合合过程：两种种不同状态的的空气混合时时，其空气的的混合状态点点在两种空气气状态点的连连线上。线段段长度之比则则为两空气质质量之比。其其过程线见图图十一。图十升温加加湿过程图十一混合过程焓湿图上几种典典型的空气处处理过程见图图十二。湿空气状态的各各种参数，如如：干球温度度，湿球温度度，露点温度度，相对湿度度，含湿量和和焓值等之间间都是相互关关连的，只要要知道其中的的两，三个参参数在焓湿图图上就可以确确定湿空气的的状态点。见见图十三。图十二典型型的空气处理理过程图十三空气状态点点参数的确定定④焓湿图的应用用举例一个洁净室的室室内参数为N，送风参数数为S，热湿比为为，送风温差差为。全新风风系统。夏季季室外计算参参数为Ws，冬季室外外计算参数为为Wd。现需将室室外空气处理理到送风参数数点S后，用风管管送到洁净室室内就能满足足洁净室的温温、湿度要求求。可以采取取下面多种方方法，对空气气进行热，湿湿处理都能达达到同一个目目的。见图十十四。图十四焓焓湿图上的空空气处理过程程如：夏季空调空空气处理过程程可以有如下下途径来实现现：a.WS→→L→S用表冷器或或淋水室将室室外空气降温温去湿减焓处处理后再等湿湿再热。b.WS→→a→S用固体化学学去湿将室外外空气生温去去湿再干冷降降温。c.WS→→S用喷淋液体体吸湿剂做降降温、去湿、减减焓处理。又如：冬季空调调空气处理过过程可以有如如下途径来实实现：a.Wd→→b→L→S先用加热器器对室外空气气预热再等温温加湿（喷蒸蒸汽）然后用用加热器再热热。b.Wd→→c→L→S先用加热器器对室外空气气预热再等焓焓加湿（湿膜膜等）然后用用加热器再热热。c.Wd→→d→S先用加热器器对室外空气气加热再等温温加湿（喷蒸蒸汽）。d.Wd→→L→S先用喷热水水对室外空气气升温加湿然然后再热。S用加热器加热+部分空气进行等焓加湿（用湿膜等方法）+再与未加湿部分空气混合Wd→e→L11S用加热器加热+部分空气进行等焓加湿（用湿膜等方法）+再与未加湿部分空气混合ee3、空气调节的的气流组织空气调节气流组组织设计的任任务就是要合合理地组织室室内空气的气气流流动，使使工作区的温温度，湿度，气气流速度和洁洁净度能很好好地满足生产产和科学研究究以及人们舒舒适感的要求求。气流组织织不合理不仅仅直接影响空空调房间的空空调参数和空空调效果，而而且还要空调调系统的能耗耗。空调系统送风口口射出空气射射流是影响室室内气流组织织的主要因素素，而空调回回风口，从流流体力学角度度是空气的汇汇流，起回风风速度衰减很很快，与其距距离的平方成成反比。因此此回风口的位位置对室内气气流组织的影影响比较小。空气调节系统的的气流组织形形式主要有：：上送下回，上上送下侧回，上上送上回，侧侧上送侧下回回等形式。见见图十五。图十五空空气调节的气气流组织（二）空气净净化的基础知知识1．洁净室及其其四大技术要要素根据生产和科研研的要求对室室内空气环境境的洁净度、温温度、相对湿湿度以及压力力、噪声、振振动、静电等等参数都进行行控制的房间间叫洁净室或或洁净厂房。洁净室的四大技技术要素就是是：粗效，中中效和高效三三级过滤，足足够的净化送送风量，室内内正压的建立立和维持，以以及終端高效效或超高效过过滤器的设置置。2．洁净室的应应用和分类当今洁净室已广广泛地应用在在电子、航天天、机械、化化工、制药、食食品、医疗、生生物工程……各行各业。而而且，随着国国民经济和科科研事业的飞飞速发展，洁洁净室的应用用将越来越广广泛，越来越越重要，洁净室可按气流流流型和使用用用途以及控控制的主要对对象来分类。=1\*GB2⑴、洁净室按气气流流型来划划分单向流（层流）洁洁净室，其中中又分垂直单单向流洁净室室和水平单向向流洁净室。图十六单向向流气流流型型非单向流（乱流流）洁净室图十七非单单向流气流流流型混合流洁净室图十八混合合流气流流型型矢流（对角流）洁洁净室图十九矢流流气流流型各种气流的特点点、创造的洁洁净度、应用用范围和投资资运行费。▲单向流气流流的净化原理理是活塞和挤挤压原理，把把灰尘从一端端向另一端挤挤压出去，用用洁净气流置置换污染气流流。包括有垂垂直单向流和和水平单向流流。垂直单单向流是气流流以一定的速速度（0.25mm/s~0..5m/s）从顶棚流流向地坪的气气流流型。这这种气流能创创造100级、10级、1级或更高洁洁净级别。但但其初投资很很高、运行费费很高，工程程中尽量将其其面积压缩到到最小，用到到必须用的部部位。水平单向流是气气流以一定的的速度（0.3m//s~0.55m/s）从一面墙墙流向对面的的墙的气流流流型。该气流流可创造100级的净化级级别。其初投投资和运行费费低于垂直单单向流流型。▲非单向流气气流的净化原原理是稀释原原理。一般型型式为高效过过滤器送风口口顶部送风；；回风的型式式有下部回风风、侧下部回回风和顶部回回风等。依不不同送风换气气次数，实现现不同的净化化级别，其初初投资和运行行费用也不同同。▲混合流气流流是将垂直单单向流和非单单向流两种气气流组合在一一起构成的气气流流型。这这种气流的特特点是将垂直直单向流面积积压缩到最小小，用大面积积非单向流替替代大面积单单向流以利节节省初投资和和运行费。▲举例给出不不同气流流型型的送风量、耗耗冷量、初投投资和运行耗耗电的具体指指标见表一，此此指标是以电电子工业洁净净厂房为代表表，具体数据据有参考价值值，但不能随随便套用。表一不同洁洁净级别洁净净厂房的送风风量、冷量投投资耗电的指指标气流流型洁净级别（级）送风量（m/s）（次次/hh）耗冷指标（W/m2）投资指标

（元//m2）耗电指标（W/m2）单向流垂直10100>0.25m//s130011330001.25~1..335水平100>0.3m/ss800~1000005000~6000000.9~1.00非单向流100050~60次//hh600~70002800~3000000.25~0..3331000025~30次//hh500~60002000~2220000.22~0..22610000015~20次//hh350~40001400~1660000.13~0..116注：表中的送风风量、单向流流以断面风速速表示，非单单向流以换气气次数表示。表中冷量指标一一般指电子工工业洁净厂房房。表中的初投资包包括洁净厂房房的围护、冷冷冻供应系统统、空调净化化系统，不含含土建结构和和自动控制的的投资。表中的耗电量系系指制冷系统统和空调送风风系统耗电，不不含电加热和和电加湿的耗耗电量。=2\*GB2⑵、按使用的用用途或控制的的主要对象划划分①工业用洁净净室：以控制制灰尘为主要要对象。用于于电子、航天天、机械、化化工、化学制制药……。②生物洁净室室：以控制细细菌（微生物物）为主要对对象。用于生生物制药、医医疗、食品、生生物工程、动动物饲养、生生物安全等……。3．洁净室与一一般空调的差差别见表二表二洁洁净室与一般般空调的差别别比较项目一般空调净化空调原理送风和室内空气气充充分混合以以达达到室内温温湿湿度均匀乱流为稀释原理理，层层流为活塞塞原原理，送出出的的洁净室空空气气先达工作作区区，罩笼洁洁净净工作区目的为了控制温度、湿湿度、风速和和空气成份的的目的除了一般空调的的目目的之外，更更更重要的是是控控制粒子的的浓浓度手段粗、中效过滤加加热热湿交换除空调手段外还还要要加高效、超超超高效过滤滤器器，对微生生物物还要有灭灭菌菌措施送风量（次/h）一般降温空调88~~10次/h一般恒温空调1100~15次/h单向流400~~6600次/h非单向流15~~660次/h初投资（元/m2）一般降温5000元元/m2一般恒温8000元元~1000元/m2单向流50000~~1500000元/m2非单向流150000~300000元/m2运行耗电（Kw/m2）一般降温0.0044~0.0066Kw//mm2一般恒温0.0088~0.1100Kw//mm2单向流0.9~~11.35KKw/m2非单向流0.1133~0.3333Kw//mm2冷量指标（W/m2）一般降温1500~~200WW/m2一般恒温2000~~250WW/m2单向流800~~11500WW/m2非单向流3500~~700WW/m24．工业洁净室室与生物洁净净室的差别见见表三表三工业业洁净室与生生物洁净室的的差别表比较项目工业洁净室生物洁净室研究对象（主要）灰尘、粒子只有有一一次污染。微生物、病菌等等活活的粒子不不断断生长繁殖殖，会会诱发二次次污污染（代谢谢物物、粪便）。控制方法净化措施主要是采取过滤滤方方法。粗、中中中、高三级级过过滤，粗、中中中、高、超超高高四级过滤滤和和化学过滤滤器器等。主要是采取：铲铲除除微生物生生长长的条件，控控控制微生物物的的孳生、繁繁殖殖和切断微微生生物的传播播途途径。过滤滤和和灭菌等。控制目标控制有害粒径粒粒子子浓度。控制微生物的产产生生、繁殖和和传传播，同时时控控制其代谢谢物物。对生产工艺的危害关键部位只要一一颗颗灰尘就能能造造成产品的的极极大危害。有害的微生物达达到到一定的浓浓度度以后才能能够够成危害。对洁净室建筑材料的要求所有材料（墙、顶顶、地等）不不产尘、不积积尘、耐磨擦擦所有材料应耐水水、耐耐腐且不能能提提供微生物物孳孳生繁殖条条件件。对人和物进入的控制人进入要换鞋、更更衣、吹淋。物物进入要清洗洗、擦拭。人人和物要分流流，洁污要分分流。人进入要换鞋、更更衣、淋浴、灭灭菌；物进入入要擦拭、清清洗、灭菌；；空气送入要要过滤、灭菌菌，人物分流流，洁污分流流。检测灰尘粒子可用粒粒子子计数器检检测测瞬时粒子子浓浓度并显示示和和打印。微生物检测不能能测测瞬时值，须须须经48小时培养才才能读出菌菌落落数量。5．洁净度的等等级标标准ISO-1146444ISO-1466444是国际标准准，现在美美国国、欧洲、日日日本、俄罗罗斯斯和我国都都采采用此标准准，美美国原来应应用用的是美国国联联邦标准2009A、B、C、D、E，现在美国国也不用了了。原原来我们熟熟悉悉的100级、1000级、10000级和1000000级都是源自自美国联邦邦标标准FS2009B，现在它们们分别被国国际际标准ISO-114644标准中的5级、6级、7级和8级所替代。ISO-1466444的洁净度等等级标准列列表表四如下。表四洁洁净室及及洁净空气气中中悬浮粒子子的的洁净度等等级级ISO-1146444空气洁净度等级级（N）≥表中粒径的最最大浓浓度限值（个个个/m3）0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1μm5μm1102////210024104//31000237102358/4100002370102035283/510000023700102003520832296100000002370001020003520083202937///3520008320029308///35200000832000293009///352000000083200000293000注：①每点应应至少采样333次。②本标准不适适用于表表征悬浮粒粒子子的物理、化化化学、放射射及及生命性。③根据工艺要要求可确确定1~2粒径。④根据要求粒粒径D的的粒子最大大允允许浓度由由下下式确定（粒粒粒径0.1μm~5μm）（个/m3）式中N为洁净度等等级在1~9级中间可以0.1为最小单位位递增量插插入入。国标洁净等级标标准准ISO-1464444与各国洁净净度等级标标准准的比较见见表表五。表五国国际标准准ISO-114644与各国标准准的比较表表国际标准ISO-1466444中国标准GB5007733美国标准FS209EE俄国标准TOCT5007766日本标准TIS992200德国标准///P0//11/P11122/P22233M1.5P33344M2.5P44455M3.5P55566M4.5P66677M5.5P77788M6.5P88899/P9/9二．洁净室的建建造造特点（一）建造投资资费费用高高级别别洁洁净室的建建造造费用很高高，一一般来说，100级垂直单向向流的洁净净室室，其室内内装装修（墙、顶顶顶、地、门门、窗窗等）和空空调调净化系统统（包包括制冷空空调调设备和管管道道配件、净净化化设备和配配件件等）的初初投投资大约为10000元人民币/m2；如果加上上纯水制备备设设备和系统统管管道，纯气气发发生和系统统管管道，废水水治治理设备和和管管道，消防防系系统，供配配电电和自控系系统统，真空清清扫扫系统等等等，其其单位面积积的的建造投资资费费用要高达250000~3000000元人民币/m2。就拿已投产的上上海海华虹NEC超大规模集集成电路芯芯片片生产线洁洁净净室举例来来说说，华虹NEC为月投片30000片8"硅片集成电电路前工序序生生产线，有有洁洁净室面积积约约120000m2，其中100000m2是在中心部部位，另2000m2在边跨上。在在在中心部位位的的100000m2洁净室中有4000m2的1级、10级和100级的垂直单单向流洁净净室室，另外6000m2分别为1000级和10000级的非单向向流洁净室室，总总送风量约6,4000,0000m3/h。于1998年底建成投投产。该项目总投资约约1100亿人民币，其其其中动力设设备备和土建投投资资为20亿人民币，占占占总投资的的五五分之一。单单单核心部分分的的100000m2的洁净室的的建造费用用就就高达6000万美元（约5亿人民币）（日日本三机株式式会社施工），折折合每平方米米建造费用约约50000元人民币/m2。（二）运行管理理费费用大因为高级别洁净净室室净化风量量大大，新风量量也也大，温湿湿度度要求严格格，所所以空气热热湿湿处理和空空气气输配的能能量量消耗大，耗耗耗电多，运运行行费用贵。还拿上述华虹NNEEC为例，其核核心部分100000m2洁净室总的的送风量为6,4000,0000m3/h，输送净化化空气的风风机机耗电量为3840Kw/h，全年电费费为1659万元（每度度电按0.6元/设计），空空气热湿处处理理的耗电量量约约100000Kw//hh，全年电费费为6000万人民币。全全全年空调净净化化系统本身身的的运行费用用就就高达7659万元人民币币。折合每每年年单位面积积的的运行费用用为为7659元/m2年。（三）灵活适应应性性强因为，科学技术术的的发展很快快，高高科技的产产品品不断出现现，尤尤其是电子子工工业的发展展更更是日新月月异异，像集成成电电路的发展2~3年就更新一一代，TFT-LLCD的发展速度度更快1~2年就上一个个台阶。这这就就要求为其其服服务的高级级别别的洁净室室必必须能适应应其其发展速度度，有有极好的灵灵活活性和适应应性性。因为建建造造一个洁净净厂厂房是百年年大大计，不是是一一、二年就就会会拆掉重建建。因因此，在设设计计和建造洁洁净净厂房时，就就就要考虑到到工工艺的发展展、变变更，就要要考考虑到洁净净厂厂房的灵活活性性和适应性性。从从一个洁净净厂厂房的灵活活适适应角度，可可可将其分为为三三个层次，第第第一是不可可变变的部分。无无无论怎样改改都都不能改变变的的部分。如如基基础、梁、柱柱柱等结构部部分分；第二是是可可变但不容容易易变的部分分。如如洁净室的的围围护、装修修等等；第三是是可可变而且容容易易改变的部部分分。如动力力、空空气、水、气气气体溶剂的的供供给部分和和废废气、废水水、废废料等排放放部部分。（四）安全、可可靠靠性好从前面（一）、（二二）两条特点点可以得出建建造和使用这这样的洁净室室要付出何等等的代价。但但是为了生产产出高可靠、高高质量的高科科技产品也必必须具备这样样的生产环境境。因为，建建造洁净室的的目的是为使使用，是为了了得到高成品品率合格产品品。为了达此此目的，设计计和建造洁净净室必须把安安全可靠放在在第一位。保保证所建造的的洁净室在洁洁净度、温湿湿度、风速、压压力等所有参参数必须满足足生产工艺的的要求，保证证安全、可靠靠、不出事故故。这一点绝绝不能马虎，更更不能打折扣扣，要万无一一失，只有这这样才能有效效益，才能达达到建造洁净净室的目的。三．洁净室的竣竣工工验收调试试，性性能测试和和洁洁净室的综综合合评价竣工验收的调试试工工作要分以以下下四个步骤骤进进行。①调试前的准准备工作。②单机试车。③联动调试。④洁净室的性性能测试和和综综合评价。（一）调试前的的准准备工作1、调试的组织织准备备：成立以建设单位位（业业主）为组组长长的有设计计单单位、施工工单单位、监理理单单位人员参参加加的调试小小组组。调试小小组组领导调试试的的全面工作作，调调试小组协协调调各方面的的关关系，调试试小小组为调试试工工作提供各各种种软硬条件件。2、编制调试大大纲在调试小组领导导和和组织下，编编编制调试大大纲纲。调试大大纲纲是调试工工作作的指导性性文文件。调试试大大纲的内容容包包括：组织织分分工、人员员安安排、物资资调调动；调试试项项目、调试试方方法、调试试仪仪表；调试试程程序、调试试进进度、调试试计计划安排等等。调调试大纲的的编编制使调试试人人员思想明明确确、认识统统一一、步调一一致致、行动整整齐齐，使调试试工工作顺利进进行行。3、施工现场质质量的的会检。在调试小组的领领导导组织下，有有有建设单位位、设设计单位、施施施工单位、监监监理单位的的有有关领导和和技技术人员参参加加，对施工工现现场、施工工质质量进行全全面面会检。从从冷冷冻站、换换热热站、锅炉炉房房、变配电电站站、空调机机房房到供冷、供供供热、供电电系系统、空调调净净化系统和和自自动控制系系统统。从设备备（冷冷冻机、锅锅炉炉、水泵、冷冷冷却塔、空空调调器等）、配配配件（阀门门、风风口、消声声器器等）、管管道道和管线到到保保温、设备备基基础、管道道支支吊架等的的工工程施工质质量量进行全面面会会检。看是是否否按图施工工、查查与设计图图不不符之处，找找找施工质量量不不合格项目目并并查其原因因。并并对施工、加加加工、安装装等等质量问题题逐逐一填写“缺陷明细表”，提出整改改意见，限限期期（正式调调试试之前）整整改改完毕。4、空调设备、空空调调系统的清清扫扫：①调试之前对洁洁净室室进行全面面、彻彻底的清扫扫是是十分必要要的的。对洁净净室室的地面、墙墙墙面、吊顶顶、门门窗进行认认真真、全面、彻彻彻底的大扫扫除除（最好请请专专业的清洁洁公公司）；对对空空调设备、空空空调管道（送送送风管、回回风风管、新风风管管），空调调配配件（清声声器器、阀门、风风风口等）进进行行检查、检检漏漏和擦试。达达达到洁净要要求求为止。②安装粗效、中中效过过滤器进行行第第一次空吹吹。在在彻底清扫扫的的基础上，安安安装空调器器内内的粗效和和中中效过滤器器。对对整个净化化空空调系统进进行行空吹，空空吹吹时间为24~36小时，使整整个系统得得到到初步的净净化化。③安装高效过滤滤器。系系统空吹后后可可以安装高高效效过滤器。高高高效过滤器器在在安装之前前，要要求对其逐逐一一进行检漏漏，对对有泄漏者者进进行堵漏。检检检漏在临时时检检漏台上进进行行，尘源利利用用大气尘。被被被检合格的的高高效过滤器器方方能进行安安装装，安装完完毕毕后对高效效过过滤器的安安装装密封再进进行行检漏（利利用用尘埃粒子子计计数器扫描描），达达到安装合合格格。④高效过滤器安安装检检漏合格后后再再对净化空空调调系统进行行第第二次空吹吹。空空吹时间24小时，然后后方可进行行入入调试程序序。5、测试仪器、仪仪表表、工具的的准准备①调试前要对调调试中中所用的仪仪器器仪表进行行调调试和标定定（超超过使用时时间间还需重新新进进行标定）。所所用的仪表包包括测量风速速、风量、温温度、相对湿湿度、压差、噪噪声、振动、转转数、时间、大大气压力和洁洁净度的仪器器仪表等。②调试所用的器器材、工工具的准备备。如如：电工工工具具、管工工工具具、扳金工工工工具、钳工工工工具以及爬爬高高上下的梯梯子子等。并且且请请施工单位位配配合电工、管管管工、扳金金工工和钳工。③调试和测试工工作所所用的图纸纸和和记录表格格的的准备。（二）单机试车车单机试车是对工工程程中的所有有的的设备、配配件件等单体进进行行试车。单单机机试车的目目的的是对这些些设设备、配件件的的安装质量量和和产品出厂厂质质量的检查查和和考核。单单机机试车的主主要要内容有：：水、电先行。即即首首先对供水水供供电的设备备和和系统进行行检检查和考核核。如如水泵、变变压压器、配电电箱箱、开关等等。要要保证供水水、供供电的正常常、可可靠。进而，对供冷设设备备（冷冻机机、冷冷却塔、冷冷冻冻水泵、冷冷却却水等）、供供供热设备（锅锅锅炉、换热热器器、热水泵泵等等）、空调调设设备（表面面冷冷却器、加加热热器、加湿湿器器、过滤器器、风风机等）、自自自动控制设设备备、仪表、阀阀阀门以及各各系系统的配件件进进行单体考考核核。看是否否能能满足设计计要要求和正常常运运行。尤其其对对转动设备备如如风机、水水泵泵要试转看看是是否运转平平稳稳，有无杂杂音音和碰撞和和反反转现象；；用用电设备接接线线是否正确确；；冷冻机和和锅锅炉是否能能达达到设计要要求求；空调器器中中表冷器的的降降温去湿能能力力、加湿器器的的加湿能力力等等等进行单单体体检查、考考核核。如果出出现现故障和发发现现问题，应应立立即排除。对于大型设备如如冷冷冻机、锅锅炉炉、空调器器等等（尤其是是进进口设备）在在在单机试车车时时最好有生生产产厂家的调调试试人员现场场指指导或由生生产产厂家负责责试试车，待运运转转正常后再再移移交给使用用单单位。单机机试试车为联动动调调试做好各各个个单体设备备的的准备工作作。（三）联动调试试联动调试一般情情况况下分为两两个个阶段进行行，即即风量分配配阶阶段和联动动调调试阶段。1、风量分配：：风量分配即将各各个个洁净室的的送送风量、回回风风量、新风风量量、排风量量全全部按设计计要要求调整到到设设计风量。因因因为一个洁洁净净厂房可能能有有多个空调调送送风系统和和排排风系统，或或或一个空调调送送风系统要要负负担多个洁洁净净室的送风风。因因此，风量量分分配调试工工作作是一项工工作作量大、时时间间长、耐心心细细致的工作作。风风量分配调调试试工作也是是整整个调试工工作作的重点工工作作。常用的的风风量分配调调试试方法采用用标标准风口法法。标准风口法：一一个个洁净室可可能能有几个、几几几十个空调调送送风口、回回风风口。因为为它它们之间都都是是相通的，当当当调整某一一个个风口送风风的的风量时其其他他送风口的的风风量也会跟跟其其变化。因因此此，采用标标准准风口法。所谓标准风口法法，就就是在风量量分分配之前，将将将所有阀门门都都开到最大大的的情况下，在在在所有的送送风风口这中找找到到最不利的的送送风口（送送风风量最小的的送送风口），将将将此风口作作为为标准风口口。在在标准风口口上上设一监测测仪仪表，随时时测测试标准风风口口的风量变变化化。然后调调整整其它所有有风风口风量。因因因为调整任任何何一个风口口风风量时，都都会会影响已调调整整过的风口口的的风量的变变化化；因此，在在在调整任何何一一个风口风风量量时，都要要以以标准风口口当当时风量为为参参照风量，使使使所有被调调风风口的风量量均均随标准风风口口的风量变变化化而同步变变化化。当一个净化空调调系系统负责多多个个洁净室空空调调时，调试试要要以洁净室室为为单位由末末端端向总干管管方方向进行，对对对各洁净室室首首先调整其其送送风量的相相对对关系量，然然然后，再用用系系统的总阀阀门门来将每个个送送风口，每每个个洁净室的的送送风量都调调整整为真实的的设设计送风量量。2、联动调试联动调试在风量量调调整和单机机试试车后进行行。联联动调试就就将将净化空调调系系统和为净净化化空调系统统服服务的所有有系系统即：供供冷冷系统（冷冷冻冻机、冷却却塔塔、水泵以以及及供冷系统统上上所有的配配件件）、供热热系系统（锅炉炉、水水泵以及供供热热系统上所所有有配件）、供供供电系统（配配配电箱、变变频频器……）和自动控控制系统全全部部投入运行行，考考核各系统统的的综合性能能和和联动性能能。必必要时，在在洁洁净室内人人为为的设置一一定定量的负荷荷，考考核温、湿湿度度探头、中中间间仪表和执执行行机构的联联动动是否敏感感、协协调；考核核温温、湿度探探头头是否准确确，精精度是否合合格格。（四）洁净室的的性性能测试和和综综合评价在风量调整和联联动动调试的基基础础上，洁净净室室空调净化化系系统以及为为其其服务的所所有有系统，均均处处于正常运运行行状态。接接着着进行洁净净室室的性能测测试试和综合评评价价。1、洁净室的性性能测测试：洁净室性能测试试内内容包括：：洁净度测试、风风量量测试、正正压压测试、风风速速测试（单单向向流洁净室）温度、相相对湿度测测试试、噪声测测试试等。①洁净度测试：：采样样点布置在在工工作面上（0.8~11.0m），采样点点数量N=A1/22（A是洁净室面面积‘m2’）。尘埃粒粒子计数器器的的采样量要要大大于1升/分；每个采采样点连续续有有效采样三三次次。取其平平均均值做该点点的的测量值。全全全部测点的的测测量值的平平均均值作为洁洁净净室的洁净净度度。②风量或风速测测试：：单向流洁洁室室测量断面面风风速、非单单向向流洁净室室测测其风量。断面风速的测量量：：距吊顶上上送送风高效过过滤滤器（HEPA）300mm处布置测点点，测点间间距距为600mm，用热球风风速仪测其其各各点风速。风量测试：在送送风风管或送风风口口上测送风风风风量。方法法是是用比托管管和和微压差计计，测测风管内各各点点的动压，测测测点间距为100mm。再计算送送风量。③正压测试：在在关门门的状态下下，测测洁净室的的正正压。采用用补补偿式微压压计计测量。2、洁净室的综综合评评价。在对洁净室性能能测测试的基础础上上，根据对对洁洁净室洁净净度度、温、湿湿度度、正压、风风风量、噪声声等等测试结果果，对对洁净室的的建建设和性能能进进行竣工验验收收的综合评评价价。四．洁净室的性性能能测试(一)洁净净室性能测试试的的目的洁净室性能测测试的的目的主要要有有两项：其其一一是为了洁洁净净室的竣工工验验收，其二二是是为了检查查洁洁净室的运运行行是否正常常。净室竣工验收的的性性能测试根据（洁净室施施工工及验收规规范范）和（洁洁净净厂房设计计规规范）的要要求求，洁净室室竣竣工验收分分两两步进行，第第第一步是竣竣工工调试和性性能能测试，第第二二步是洁净净室室性能的综综合合评价。洁洁净净室性能的的综综合评价是是洁洁净室工程程竣竣工验收的的重重要环节，而而而洁净室性性能能测试又是是洁洁净室性能能综综合评价的的基基础。洁净净室室性能测试试所所需要测试试的的项目以下下：：①通风机的风量量和转转数；②风量及其平衡衡；③室内静压及其其调整整；=4\*GB3④自控系统的联联动；；=5\*GB3⑤高效过滤器的的检漏漏；=6\*GB3⑥室内的洁净度度；等等六项。其其中中主要三项项是是，洁净度度，风风量和室内内静静压。2、洁净室运行行状态态下的定期期性性能测试根据（洁净厂房房设设计规范）的的的要求，因因生生产的复杂杂性性和维护管管理理工作的主主，客客观原因造造成成洁净室性性能能的下降，必必必须对洁净净室室进行定期期的的性能测试试，检检测的频数数见见下表。表十四四洁净室性能能测试的内内容容和频数洁净度等级项目1~34、5、678、9温度循环监测每班二次湿度循环监测每班二次压差值循环监测每周一次每月一次洁净度循环监测每周一次每3个月一次每6个月一次风量循环监测不得超过12个个月月（二）洁净室性性能能测试的内内容容表十五洁净净室室检测内容容序号测试项目JGJ71-9900规定GB500733--2001规定低于100级100级1000级及以以下下1室内送风量，系系统统总风量，室室室内排风量量，检测检测2静压差检测检测3风速和风量检测不测检测4断面风速不均匀匀度度检测必要时测不测未规定5洁净度级别检测检测6浮游菌和沉降菌菌必要时测选测7室内温度和室内内相相对湿度检测选测8温湿度波动范围围和和区域温差差必要时测未规定9室内噪声级检测选测10室内倍頻程声压压级级必要时测选测11室内照度及其均均匀匀度检测选测12室内微振必要时测必要时测13表面导静电性必要时测必要时测14室内气流流型不测必要时测选测15流线平行度检测必要时测不测必要时测16自净时间不测必要时测必要时测选测17过滤器安装检漏漏未规定选测18污染泄漏未规定选测（三）洁净室性性能能测试的主主要要仪器和仪仪表表（三）洁净室性性能能测试的主主要要仪器和仪仪表表1、风压测试仪仪器：：主要用于于测测定洁净室室之之间和洁净净与与非洁净区区之之间微压差差，也也可利用压压差差法测量风风速速，计算风风量量。①液体压力计：：液体体压力计具具有有使用方便便、价价格低廉、精精精确度较高高、制制造安装方方便便等优点，但但但有测量范范围围受限制、玻玻玻璃管易碎碎等等缺点。常用的工作液体体有有：酒精、水水水、水银等等，在在洁净室测测量量中主要是是酒酒精和水。液体压力计主要要有有：U型管压力计计、斜管压压力力计、补偿偿式式压力计。②弹簧压力计：：弹簧簧压力计是是根根据弹簧元元件件在所测压压力力作用下发发生生变形，其其变变形量与所所测测压力成函函数数关系这一一原原理制成的的，其其优点是构构造造简单、便便于于携带、安安装装方便、价价格格低廉。常用的弹簧压力力计计主要有：：弹弹簧管压力力计计、膜片管管压压力计和膜膜核核压力计。=3\*GB3③电学压力计：：电学学压力计是是利利用压电原原理理或高压下下电电阻变化等等电电学方法来来测测定压力的的压压力计，适适用用于测量变变化化极快、数数值值很高或近近乎乎绝对真空空时时的压力。2、风速和风量量测试试仪器：风速测量仪的作作用用原理有：：机机械式、散散热热率式和动动力力测压式等等。a．机械式风速速仪：：如翼形风风速速仪，它是是利利用流动气气体体的原动压压推推动机械装装置置来显示其其流流速的仪表表。b．散热率式风风速仪仪：是根据据流流体中受热热物物体的散热热率率与流体流流速速成正比关关系系制成，测测定定传感器的的散散热率，即即能能测到流体体的的流速。常用的散热率式式风风速仪有：：热热线风速仪仪和和热球风速速仪仪等。②风量测量仪：：在洁洁净室中总总风风量的测试试常常用风管法法，各各房间送回回风风量多用风风口口法进行测测量量，其原理理为为平均风速速乘乘以断面面面积积。=3\*GB3③洁净度测试仪仪：a．尘埃粒子的的检测测仪表：目目前前洁净室洁洁净净度的检测测主主要用光散散射射尘埃粒子子计计数器，它它又又分为白只只光光尘埃粒子子计计数器和激激光光尘埃粒子子计计数器。它的原理是利用用空空气中的微微粒粒对光线的的散散射现象，将将将采样空气气中中的微粒的的光光脉冲信号号转转换为相应应的的电脉冲信信号号来测定微微粒粒的颗粒数数，利利用微粒的的光光散射强度度与与微粒粒径径的的平方成正正比比的关系来来测测量微粒粒粒径径的大小。b．生物粒子的的检测测仪表：目目前前生物粒子子的的检测方法法主主要有采用用培培养基法和和滤滤膜法，所所用用的仪器分分浮浮游菌采样样器器和沉降菌菌采采样器。浮游菌采样器主主要要有：固体体撞撞击式采样样器器、离心式式空空气微生物物采采样器、气气旋旋式微生物物采采样器、液液体体冲击式微微生生物采样器器、过过滤式微生生物物采样器和和大大容量静电电沉沉降采样器器等等。沉降菌采样器主主要要有：高压压消消毒锅、恒恒温温培养箱和和培培养皿等。=4\*GB3④温度测试仪：：通称称温度计，按按按其作用原原理理可分为膨膨胀胀式温度计计、压压力式温度度计计、热电偶偶温温度计和电电阻阻温度计。a．膨胀式温度度计：：分固体膨膨胀胀式温度计计和和液体膨胀胀式式温度计。b．压力式温度度计：：可分为充充气气压力计式式温温度计和充充蒸蒸汽压力计计式式温度计。c．热电偶温度度计：：是根据热热电电效应原理理制制成的，当当两两种不同金金属属节点温度度不不同时就会会有有电动势，如如如已知一点点温温度，测出出电电动势就可可推推算另一点点的的温度。d．电阻温度计计：基基于某种金金属属及其合金金或或半导体的的电电阻会随温温度度变化而变变化化，精确地地测测定电阻就就会会测出温度度。电阻温度计的优优点点有：精确确度度灵敏度高高、反反应快；测测温温范围宽；；不不需冷节点点补补偿；可用用于于远距离温温度度测量。=5\*GB3⑤湿度测试仪：：湿度度测试仪按按其其原理可分分为为干湿球温温度度计、毛发发温温度计、电电温温度计等。=6\*GB3⑥噪声测试仪：：噪声声测试仪它它的的原理是用用电电容式传声声器器将声能变变为为电能，再再经经放大器、检检检波器等一一系系列处理，最最最后给出声声压压值。=7\*GB3⑦照度测试仪：：常用用的便携式式照照度计它的的原原理是用一一种种光敏元件件做做探头，当当有有光照时就就会会产生光电电流流，光线越越强强光电流越越大大，测量电电流流时就可测测出出照度。（四）洁净室性性能能测试的方方法法1．风量和风速速的测测量①．测试前的准准备工工作：测试前首先检查查风风机运行是是否否正常，系系统统中各部件件安安装是否正正确确，有无障障碍碍，所有阀阀门门的开启位位置置是否正确确并并且固定可可靠靠。单向流洁净室风风量量的测定：：垂直单向流洁净净室室和水平单单向向流洁净室室的的风量是采采用用断面平均均风风速和断面面面面积的乘积积来来计算的，断断断面的选取取和和断面上的的测测点布置见见下下表。表十六施工工验验收规范JGJ71和设计规范GB500073的比较内容施工验收规范JJGGJ71设计规范GB5500073垂直单向流垂直单向流垂直单向流水平单向流测定断面的选取取距地面0.8mm距送风面0.55mm距高效过滤器00..3m测点的布置间距不大于2mm均均匀布置间距不大于0..66m均匀布置最少测点数10点，算数平平均5点，算数平均均测定仪器热球风速仪未作具体规定评定标准应大于设计风速速,,且不超过20％1~4级0.3~0.55不均匀的均方根根差差不大于0.255级（100级级）0.2~0.55=3\*GB3③非单向流洁洁净室风风量的测定定：：非单向流洁净室室风风量的测定定可可采用风管管法法和风口法法风管法测风量：：风管法测风量中中风风管测定断断面面应选择气气流流比较均匀匀稳稳定地方，且且且与局部阻阻力力的距离，测测测定断面在在局局部阻力前前时时不小于3倍风管管径径长度，测测定定断面在局局部部阻力后时时不不小于5倍风管长边边长度。对于矩形风管将将测测定断面分分成成若干个相相等等的小截面面，尽尽可能接近近方方形，边长长应应不大于200mm。测定点在在小截面的的中中心。整个个测测定断面的的测测点数不少少于于3个。对于圆形风管将将测测定断面分分成成若干个面面积积相等的同同心心圆环，每每个个圆环上设4个测点，4个测点应在在相互垂直直的的两条直径径上上。图三十六矩形形风风管的测点点布布置图三十七圆形风管的的测点布置置b.风口法测测风风量：在施工验收规范范JJGJ71中规定了两两种方法：：其其一是对于于有有过滤器的的风风口，可根根据据风口形式式选选用与风口口断断面相同的的辅辅助风管，其其其长度为两两倍倍风口的边边长长，连接于于被被测风口外外部部，在辅助助风风管的出口口面面上，最少少布布置6个测点，用用热球风速速仪仪测个点风风速速，再用断断面面平均风速速乘乘以风口净净面面积来计算算风风量。其二二是是对于有同同类类扩散板的的风风口，可根根据据扩散板的的风风量阻力曲曲线线和实测扩扩散散板阻力来来查查出风口的的风风量。=4\*GB3④风量测定结果果的判判定：实测风量应大于于设设计风量，但但但不应超出20％。b.实测新风风量量与设计新新风风量之差不不应应超出10％。c.实测个风风口口风量与设设计计风量之差差不不应超出15％。2．洁净度的测测定：：在施工验收规范范JJGJ71中规定如下下：最低采样点数见见下下表，每个个测测点最少采采样样机3次。表十七最低低采采样点数表表面积（m2）洁净度度100级和高于于1100级1000级10000级100000级级小于102~322210432220862240161342100403210320080632064001601264013100040031610032200080063320063测定洁净度的最最小小采样量按按下下表：表十八最最小采样量量表表(L)洁净度级别（级级）粒径（mmm）0.10.20.30.55.011785198566102.838.519.856.61002.832.835.6610002.8385100002.838.51000002.832.83对于单向流洁净净室室采样口应应朝朝着气流方方向向。对于非非单单向流洁净净室室采样口宜宜朝朝上。采样样速速度尽可能能接接近室内气气流流速度。即即（等等速采样）。测点的布置原则则：：每层不少少于于5个测点，多多于5点时可分层层布置。测测点点布置在距距地地0.8m高的对角线上。②洁净度测定定结果的的判定：a.如实测测状状态（空态态，静静态，动态态）与与事先约定定的的状态相同同，以以其洁净度度级级别上限作作为为评定标准准。如实测状态为空空态态或静态，则则则动态时的的粒粒子数肯定定会会高，有时时可可用空态粒粒子子数的5~10倍来估算动动态时的尘尘埃埃粒子数。3．微生物粒子子的测测定：①．采样点的布布置和和要求：浮游菌测定时，其其采样点位置置可以与悬浮浮粒子测定点点的布置相同同。测点距离离地面0.8~11.5m,送风口测点点位置距送风风面30cm左右。根据据需要可在关关键部位增加加测点。测点点布置要均匀匀。见下表：：表十九浮游游菌菌测定最少少采采样点数表表面积（m2）洁净度100级10000级100000级级验证监测验证监测验证监测小于102~31212－10~2042212－20~4083212－40~100164412－100~200040103－200~400080206－4001604013－沉降菌测定时，其其采样点位置置可以与悬浮浮粒子测定点点的布置相同同。测点距离离地面0.8~11.5m。根据需要要可在关键部部位增加测点点。测点布置置要均匀。对对于沉降菌法法不仅仅满足足于最少采样样总数,还需满足最最少采样培养养皿总数。见见下表：表二十沉降降菌菌测定最少少采采样点数表表面积（m2）洁净度100级10000级100000级级小于102~32210~2042220~4082240~1001642100~200040103200~400080206400~10000016040131000~200000400100322000以上80020063表二十一沉沉降菌测定定最最少培养皿皿数数表洁净度等级（级级）90培养皿数（以以沉降降0.5h计）高于1004410014100051000021000002浮游菌测定法最最小小采样量应应按按不同洁净净度度等级来确确定定。见下表表表二十二浮游菌测定定法最小采采样样量表洁净度等级（级级）采样量/L·次次日常监测环境验证10060010001000040050010000050100②微生物粒子子测定方方法：浮游菌的测定法法首先，要对测定定仪仪器，培养养皿皿，采样器器等等进行消毒毒灭灭菌，采样样口口和采样管管在在使用前必必须须用高温灭灭菌菌。第二，采样者应应穿穿与洁净室室等等级相应的的洁洁净服，放放入入或调换培培养养皿前，双双手手要用消毒毒剂剂消毒。第三，仪器消毒毒后后放入培养养皿皿前，先开开动动真空泵抽抽气气，使仪器器中中的残存消消毒毒剂蒸发，时时时间不小于5min。第四，关闭真空空泵泵，放入培培养养皿，盖好好盖盖子后调节节采采样器。第五，置采样口口于于采样点，依依依次开启采采样样器，真空空泵泵，转动定定时时器并根据据采采样量选定定采采样时间。第六，采样结束束后后，将培养养皿皿置于30~500ºC恒温培养箱箱中，时间间不不小于48小时。第七，用肉眼计计数数，然后用5~10倍的放大镜镜检查，是是否否有遗漏。.b.沉降降菌菌的测定法法首先，要对测定定仪仪器，培养养皿皿等进行严严格格的消毒灭灭菌菌，在37ºC恒温培养箱箱中，进行行不不小于48小时的培养养和观察，确确确认无菌后后方方可使用。第二，一般采用用990mm的沉降平皿皿，注入20mL培养基，放放在测点处处，开开盖暴露30minn,将培养皿盖盖盖上倒置置，然然后在30~355ºC恒温培养箱箱中，进行行不不小于48小时的培养养并用肉眼眼计计菌落数，并并并记录生成成的的菌落数，然然然后用5~10倍的放大镜镜检查，是是否否有遗漏。4．静压差的测测定：：静压差的测定要要求求：首先，静压差的的测测定是洁净净区区内所有的的门门全关闭状状态态下进行的的。第二，应从洁净净度度高到洁净净度度低的房间间顺顺序进行，一一一直到直通通室室外的房间间。第三，测管口设设置置在室内不不受受气流干扰扰的的地方。第四，所测数据据应应精确到1.0Pa。②静压差的测测定步骤骤：首先，是将洁净净区区内所有的的门门全处于关关闭闭状态下。第二，用微压差差计计测量洁净净室室之间，洁洁净净室和走廊廊之之间，走廊廊与与外界之间间的的压差。第三，记录在案案=3\*GB3③静压差测定定用的仪仪器：静压差测定一般般采采用的仪器器为为YJB-1150型补偿式微微压计，倾倾斜斜式压力计计，精精密指针式式压压力计或灵灵敏敏度小于1.0Pa的其它压力力计。=4\*GB3④合格标准：：首先，不同级别别的的洁净室（区区区）与非洁洁净净室洁净室室（区区）之间的的静静压差应不不小小于5Pa。第二，洁净室（区区）与室外的的静压差应不不小于10Pa。第三，对于洁净净度度等级严于5级的单相流流洁净室在在开开门时，门门内内0.6m处室内工作作面的含尘尘浓浓度应不大大于于相应级别别的的含尘浓度度限限值。5．温度和相对对湿度度的测定：：①温湿度的测定定要求求首先，温湿度测测定定前，净化化空空调系统应应连连续运行48h以上。第二，应根据温温湿湿度的精度度范范围，选择择有有足够精度度的的测定仪表表，并并经过校验验标标定合格。②温湿度的测定定方法法：第一，温湿度的的测测点应距离离地地面0.8m，距离外墙0.5m。第二，应根据温温湿湿度的精度度范范围的要求求，测测定宜连续续运运行8~48h，每次读数数间隔不大大于于30min。第三，对于没有有恒恒温要求的的房房间，其温温度度只测房间间中中心一个点点即即可。第四，对于有恒恒湿湿要求的房房间间或区域，测测测点应放在在送送，回风口口处处或具有代代表表性的点。=3\*GB3③合格标准：：有90%以上的的测点点其温度的的偏偏差值在室室温温要求的范范围围内，为符符合合设计要求求，反反之为不合合格格。6．照度的测定定：照度的测定要求求室内照度的测定定必必须在室温温稳稳定，光源源光光输出稳定定后后再进行测测定定。②照度的测定方方法：：第一，照度的测测点点应距离地地面面0.85m，按间距1~2m布点，测点点距离墙1m。第二，记录实测测值值并计算总总的的平均照度度。第三，照度测定定一一般是不含含局局部照明以以外外的一般照照明明。=3\*GB3③合格标准：：应符合设计要求求，根根据（洁净净厂厂房设计规规范范）的要求求，洁洁净室内一一般般照明的均均匀匀度不应小小于于0.7。7．噪声的测定定：①噪声的测定定方法：：当房间的面积不不大大于50m2时，仅测定定房间中心心一一个点。当当房房间的面积积较较大时，每每增增加50m2增加一个测测点。测点点距距离地面1.0m。当有条件件时，宜测测房房间静态工工况况的噪声和和本本底噪声。②合格标准：：应符合设计要求求，根根据（洁净净厂厂房设计规规范范）的要求求，洁洁净室空态态情情况下非单单向向流洁净室室的的噪声不应应大大于60dB((A)。单向流和和混合流洁洁净净室的噪声声不不应大于65dBB(A)。8．自净时间的的测定定：①自净时间的测测定方方法：以大气尘为基准准测测定时，洁洁净净房间必须须停停止运行一一段段时间，待待空空气中含尘尘浓浓度接近大大气气含尘浓度度时时，然后开开机机，直到含含尘尘浓度达到到最最低稳定值值为为止，其所所需需要的时间间为为自净时间间。以人工尘（香烟烟，巴巴兰香等）为为为基准测定定时时，在洁净净室室中央距离离地地面1.8m的高度发烟1~2miin即停止，再稳定定11~2miinn，然后开机机，直到含含尘尘浓度达到到最最低稳定值值为为止，其所所需需要的时间间为为自净时间间。9．安装后过滤滤器的的检漏：①检漏要求：被检过滤器应检检测测过风量并并在在设计风量量的的80%~1120%条件下运行行。被检过滤器上游游的的粒子浓度度被被检过滤应应满满足下列要要求求：对受控控粒粒径≥0.5μm的浓度，应应不小于3.5x1104pc/L对受控粒径≥00..5μm的浓度，应应不小于3.5x1104pc/L②检漏方法：用粒子计数器对对安安装的接缝缝和和主断面进进行行扫描检漏漏。检检漏点应距距离离被检表面20~300mm。扫描的速速度5~20mmm/s，扫描检漏的的部位为过过滤滤器整个断断面面，封头胶胶，安安装框架等等处处。扫描检检漏漏用的粒子子计计数器的最最小小采样量应应大大于1L/miin。=3\*GB3③合格标准：：被检过滤器下游游的的粒子浓度度换换算成穿透透率率，高效过过滤滤器不应大大于于出厂合格格穿穿透率的两两倍倍。五，洁净室运行行管管理的一些些问问题：（一）过滤器的的基基本知识及及其其维护管理理1，过滤器的基基本知知识过滤器是洁净室室的的主要净化化设设备，是空空气气净化的主主要要手段。因因此此，对于从从事事洁净室设设计计、建造和和维维护管理人人员员了解和掌掌握握过滤器的的基基本知识是是十十分重要的的。a、过滤器的分分类按过滤器的性能能（效效率、阻力力、容容尘量）来来划划分，通常常将将其划分成成粗粗效、中效效、高高中效、亚亚高高效、高效效（HEPA）和超高效效（ULPA）六类过滤滤器。我国国家标准《空空气过滤器》GB/T142955-93中将不同过过滤器的效率率和阻力规定定如下：表二十三过过滤滤器的效率率和和阻力（GB/T1429955-93）性能指标性能类别额定风量下的大大气气尘限径计计数数效率（E%）额定风量下的初初阻阻力（Pa）粗效≥5.0μmm80>E>>20≤50中效≥1.0μmm70>E>>20≤80高中效≥1.0μmm90>E>>70≤100亚高效≥0.5μmm99.9>EE>95≤150国家标准《高效效空空气过滤器器》GB133554--992中规定将高高效过滤器器按按性能划分分为为A、B、C、D四类。D类又通称为为超高效过过滤滤器（或称称为为0.1μm高效过滤器器或超低透透过过率过滤器器）。表二十四过过滤滤器的效率率和和阻力（GB133554--992）性性能指标性能类别效率（E%）额定风量下的初初阻阻力（Pa）A额定风量下的钠钠焰焰效率≥99.9≤190B额定风量和200%%额定风量下下的钠焰效效率率≥99.999≤220C额定风量和200%%额定风量下下的钠焰效效率率≥99.9999≤250D额定风量和200%%额定风量下下的≥0.1μm粒子效率≥99.9999≤280国外将超高效过过滤滤器（ULPA）的过滤效效率指标规规定定为对于≥0.12μm粒子的过滤滤效率E≥99.99995%。关于我国和欧美美对对过滤器的的分分类比较如如下下：表二十五过过滤器的分分类类表我国标准GB/T1442295一般通风用洁净室用粗效中效高中效亚高效高效超高效美国标准C1C2C3C4L5L6H15H16UH20欧洲新标准G1G2G3G4F5F6F7F8H11H12H13H14欧洲老标准EU1EU2EU3EU4EU5EU6EU7EU8EU9EU10EU14效率E（%）65880906088090859959999.599..9959999.99559999.9999559999.9999995计重法比色法MPPS法（DDOOP法）b、过滤器的过过滤机机理过滤机理主要有有拦拦截（过筛筛）、惯惯性碰撞、布布布朗扩散和和静静电等。①拦截：即过过筛。大大于筛孔的的粒粒子拦截下下来来被过滤掉掉，小小于筛孔漏漏过过去。一般对大粒粒子有作用用，效效率很低，是是是粗效过滤滤器器的过滤机机理理。②惯性碰撞：：粒子尤尤其较大粒粒子子随气流流流动动，作无规规则则运动。由由于于粒子的惯惯性性或某种场场力力作用偏离离气气流方向，不不不随气流运运动动，而与障障碍碍物碰撞、粘粘粘住而被过过滤滤掉。粒子子越越大，惯性性越越大，效率率越越高。一般般是是粗效和中中效效过滤器的的过过滤机理。③布朗扩散：：气流中中的微小粒粒子子做无规则则的的布朗运动动，与与障碍物撞撞击击被钩留粘粘住住，而被过过滤滤掉。粒子子越越小，布朗朗运运动越强，与与与障碍物撞撞击击机会越多多，效效率越高。这这这也被称作作扩扩散机理。这这这是亚高效效、高高效和超高高效效过滤器的的过过滤机理。且且且纤维直径径越越接近粒子子径径效果越好好。c、过滤器的性性能过滤器性能一般般包包括过滤效效率率E；初阻力Hc；容尘量g。①过滤效率E==被过滤器过过滤掉的（捕捕捕集的）粒粒子子量/未过滤前空空气中粒子子总总量×100%%一般而言：≤00..1µm粒子主要作作布朗扩散散运运动，粒径径越越小，效率率越越高。>0.5µmm粒子子主要作惯惯性性碰撞运动动，粒粒径越大，效效效率越高。d子效率最低最大的粒②初阻力Hcc：气流流绕纤维运运动动产生微小小阻阻力，无数数微微小阻力之之和和即滤料对对空空气的阻力力。过过滤器的阻阻力力与气流速速度度有关，速速度度越大，阻阻力力越大。过滤器的的阻阻力分为初初阻阻力（Hc）和终阻力力（Hz）。初阻力（HHc）是过滤器器器开始使使用用时额定风风量量下的阻力力。终阻力（HHz）是过滤器器更换时的的阻阻力。一般Hz=2×Hc。③容尘量g：：过滤器器到达终阻阻力力时在滤料料上上所容纳的的灰灰尘重量。d、滤速滤速是指空气垂垂直直于滤料方方向向穿过滤料料的的速度。不不是是过滤器迎迎面面风速。滤速越大粒子惯惯性性力越大，对对对粗、中效效过过滤器而言言效效率越高，但但但滤速越大大，过过滤器对空空气气的阻力也也越越大。所以以一一般粗效过过滤滤器滤速为1~2mm/s，中效过滤滤器的滤速0.2~11m/s。滤速越大，不利利于于微小粒子子的的布朗运动动，因因此对高效效、超超高效过滤滤器器的滤速一一般般控制在0.02m/s左右。e、过滤器滤料料和结结构形式粗效过滤器的滤滤料料一般为：：玻玻璃纤维、化化化纤、无纺纺布布等其结构构型型式多为板板式式、折叠式式和和袋式。中效过滤器的滤滤料料一般为玻玻璃璃纤维、化化纤纤、无纺布布等等其结构型型式式多为袋式式、楔楔形折叠式式。高效过滤器的滤滤料料主要是超超细细玻璃纤维维滤滤纸。结构构型型式均为折折叠叠式。有有有隔隔板和无隔隔板板之分。f、过滤器的使使用和和更换①过滤器的使使用粗效、中效、高高中中效、亚高高效效、高效、超超超高效6种过滤器各各有各的用用途途，必须正正确确使用，如如果果使用不当当，不不但不会起起作作用而且还还会会产生不良良甚甚至相反的的效效果。因此此，设设计、建造造和和维护管理理洁洁净室的人人员员要特别注注意意。粗效过滤器是作作为为预过滤器器使使用，一般般是是设置在空空调调箱内，其其作作用是过滤滤大大颗粒的粒粒子子，以保护护其其后的空调调设设备（如表表冷冷器和加热热器器等）和中中效效以及更高高级级过滤器。一一一般粗效过过滤滤器不能作作为为终端过滤滤器器。中效过滤器一般般设设在空调箱箱的的正压段，其其其作用是保保护护亚高效、高高高效过滤器器等等终端过滤滤器器。它除去去的的是≥1.0µm的中小粒子子。一般情情况况下，中效效过过滤器是中中间间过滤器，不不不能做预过过滤滤器用，也也不不能做终端端过过滤器。高效和超高效过过滤滤器都做为为净净化系统的的终终端过滤器器。一一般放置在在洁洁净室的吊吊顶顶上。高效效过过滤器（HEPA）是洁净室室的必须的的终终端过滤器器。而而超高效过过滤滤器是0.1µm，10级、1级或更高级级别洁净室室必必须的终端端过过滤器。②过滤器的更更换过滤器经过一段段时时间的运行行，当当过滤器的的阻阻力达到其其终终阻力Hz时，一般情情况下就要要更更换了，否否则则其性能就就会会下降，达达不不到应起的的作作用，甚至至会会影响系统统的的正常运行行。对粗、中效过滤滤器器而言，有有一一次性使用用后后废弃的也也有有可清洗后后继继续使用的的，不不过清洗后后的的粗、中效效过过滤器的阻阻力力远比其初初阻阻力大，效效率率也有所提提高高。然而亚高效、高高效效和超高效效过过滤器都是是一一次性的，使使使用后就废废弃弃的。(二)、洁净室室的发尘源源和洁净室室的的清埽：1、洁净室的发发尘源源对于洁净室的尘尘源源，除了来来自自室外大气气的的尘粒和进进入入洁净室的的人人和物携带带的的灰尘之外外，洁洁净室内的的发发尘源主要要来来自于洁净净室室内操作人人员员，洁净室室的的围护和洁洁净净室内生产产工工艺设备和和生生产过程的的产产尘。①洁净室内作作业人员员的产尘。作作作业人员的的产产尘与所穿穿的的洁净工作作服服的材料、型型型式、着装装情情况和作业业人人员本身的的动动作有关。因因因此，洁净净室室内的作业业人人员必须穿穿规规定的工作作服服而且动作作也也要受到一一定定的限制。通通通常情况下下，一一般电子装装配配工艺穿全全身身型洁净工工作作服轻微动动作作时，人员员的的产尘量为3.5~~5.00××105个/人·分（≥0.5µm）。是洁净净室内的最最主主要的发尘尘源源。②洁净室围护护和室内内表面的产产尘尘。随着