大宗气体及特殊气体

大宗气体及特殊气体系统基础知识大宗气体及特殊气体概述SUNITS机台使用这些UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物(如废水,废气等),经由管路连接大宗气体及特殊气体至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。HOOKs(Tool)或设备(Equipment)的入口点,谓之二次配(SP2Hook-up)。以盘)之一次测(Primary)入口点,称为一次配(SP1Hook-up),由VMB或大宗气体及特殊气体由于制程上的需要,在半导体工厂使用了许多种类的气体,一般我们皆依气KGASSPECIALTYGAS,极少用量便会对人体造成生命威kGas半导体厂所使用的大宗气体,一般有:eCDA/IA(CleanDryAir/InstrumentAir):CDA之来源取之于大气经压缩机压缩后除湿,再经过滤器或活性炭吸附去除粉尘GN2(Nitrogen):H大宗气体及特殊气体NNitrogenPOOxygenPArArgonHHydrogen另外可由水电解方式解离H2＆O2,制程廉价但危险性高易触发爆炸,液化后易PHe(Helium):国及俄罗斯。利用压缩机压缩。 2.大宗气体在半导体厂的用途: 供给ETCH制程氧化剂所需及CPCVD制程中供给氧化制程用,供给O3ArGBulkBulkGasSupplySysteminFabBulkGasBulkGasSupplySystembeforeFabBULKGAS应系统thodsTYPtankTraileror-----OOO----OO----Ar-O----O-OOO---OOO-大宗气体及特殊气体(BULKGAS)虽然不像特殊气体(SPECIALITYGAS),有的具有强烈的10﹪时,将使人陷入意识不清状态,6﹪以下瞬间昏倒,无法呼吸,6分钟以内即死们努力的工作之一。统简介半导体厂所使用的特殊气体种类繁多,约有四五十种,依危险性可区分为以*易燃性气体FlammableGas*毒性气体ToxicGas*腐蚀性气体CorrosiveGas*低压性/保温气体HeatGas*惰性气体InertGas大宗气体及特殊气体燃性气体:燃点低,一泄漏与其她气体相混,便易引起爆炸及燃烧如SIH4,PH3,H2,…、*毒性气体:反应性极强,强烈危害人体功能,如CO,NO,CLF3,…、*腐蚀性气体:易与水份起反应而产生酸性物质,有刺鼻,腐蚀,破坏人体的危险性L性液态气体,需包加热线及保温棉,将管内的温度升高以使其气化,才能充分至死亡,SFCFNO…、*GR(GasRack)气瓶架m*Y-Cylinder,Bundle集束钢瓶*Trailer槽车*VDB主阀箱/VDP主阀盘(ValveDistributionBox/Panel)*VMB阀箱/VMP阀盘(ValveManifoldBox/Panel)大宗气体及特殊气体,我们一般区分为一次配管(SP1)及二次配管(SP2,ValveVMB(Valvemanifoldbox)/VMP(Valvemanifoldpanel)。2、1Material介绍aterial、1、1材料区分:NGSREGULATOR调压阀)大宗气体及特殊气体CHECKVALVE止阀)RUUMGENERATOR.其她2、1、2选料依据:APBA/EP/V+V/…、*有无指定厂牌或规格•依机台所需用量及本身接点选定料件尺寸A•依机台所需压力及流量不同选择材料型式*选用压力范围适合或流量符合之阀件•视盘面组装选择料件接头型式2、1、3TUBE&PIPE管件:OD*规格:6M/stickor4M/stickor100M/roll2、常用材质:SS304 /SS304L&SS316/SS316L&VIM+VAR&HC-22…3、表面处理等级:BA–BrightAnneal表面研磨•4、等级:*SpecialtyGas:易燃性/惰性气体–316LEP毒性–双套管(304AP+316LEP)/单管316LEP腐蚀性气体–VIM+VAR低压性气体--316LEP+HeaterLine+WarmCover2、1、4FITTINGS配件:•1、材质同管件•2、常用种类:a、Nut+Gland+Gasketb、Elbow,Tee,Reducer大宗气体及特殊气体•3、型式及规格:VCRSWGWELDING接头/FLANGE又分短接头SCM(micro)or长接头SCL(long)&SCF(以KitzProductNameSizeSizeforothersideTypeSpecificationMaterialSCM40EEPLE, GasketmustbeSUS、。 2、1、5VALVE阀件:•1、材质同管件•2、常用种类:*手动阀(ManualValve)allValveiaphragmValve大宗气体及特殊气体*气动阀(AirValve)*逆止阀(CheckValve)CHECKVALVE选取主要依据其尺寸及两*其她*高压阀/低压阀--依使用场所不同来选择2、1、6REGULATOR调压阀:力2P无表头/3Por4P单表头或双表头*VCR/SWG/Flange大宗气体及特殊气体-R25系列3/8”-R35系列1/2”-RH1系列*SpecialtyGas:毒性/易燃性/惰性气体–316LEP-L25orR25系列腐蚀性气体–VIM+VAR-L25SVA系列低压性气体–需选择可调负压的type-L96SSA系列2、1、7aboutPressureGauge&Transducer•1、常用种类区别:*PressureGauge(PG)压力表头,指针式,C122DigitalPressureGaugePID子式压力表头PressureTransducerPT器Hg30psi)大宗气体及特殊气体分一般流量及大流量BulkGasPTFE*SpecialtyGas:毒性/易燃性/惰性气体–PTFE系列腐蚀性气体–PTFE,noSS316LPTFEtype抗腐蚀效好N/A好好好好2、1、9VACUUMGENERATOR真空产生器:Ventout1/2”2、22、2一次配管大宗气体及特殊气体GN2in¼”大宗气体及特殊气体2、2一次配管(SPI)2、2、1BULKGASSPI名词:MAIN-主管SUBMAIN---副主管TAKEOFFVALVE一次配与二次配连接的阀BOTTOMVALVE末端阀SP1:为由气体的起始流出点(Gasyard)至无尘室中的TakeoffValve大宗气体及特殊气体实际上,不管鱼骨式还就是回路式,通过科学的计算,选择适当的压力与管径,*该图为各种阀件在供应系统中的应用位置的依据:位置阀的选择Weldingwith2purgeportBottomValve(OnMain/Submain)大宗气体及特殊气体Weldingwith2purgeportalveWealsecanchooseVCR(SWG)valveastakeoffvalewithnopurgeportfollowingsupplying2、2、2SPECIALTYGASSPI名词:GC—GasCabinet气瓶柜GR—GasRack气瓶架VMB—ValveManifoldBoxVMP—ValveManifoldPanelVDB—ValveDistributionBoxVDP—ValveDistributionPanel为由气体的起始流出点(GC/R)至无尘室中的VMB/P●设计流程介绍:a)Key-PointIntroductionb)FlowSheetDrawingcMaterialQ’tyList3、箱体,盘面发包组立:aMaterialChosenb)PanelLayoutDrawingc)BoxStructDrawing●GasCabinet/GasRack设计:调停机进行钢瓶之更换,其优点节省空间、成本低、但需透过日常之管理与协调大宗气体及特殊气体由厂务端来供应时,所有特殊气体供应系统不管就是否相容,全部连接到同一个供应源,会有较高的风险值;万一中央供应系统的PN2中断,警报系统又损坏,恰巧两种不相容的气体同时使用purge,此时极有可能发生爆炸的事件发生,相同性质可使用同一瓶钢瓶来purge增加的成本及空间非常有限,就是一种非常好的应变方式。三钢气柜成本不会差很多安全性会就是最好的,只要空间允许应最优性设计:计有两个特殊气体钢瓶,需自动切换的功能以达到连续供气的目的,气态气体通常以压力感应器来计算钢瓶的剩余量,若就是液态蒸气压气体则以电子磅秤来侦测剩余量,当一瓶用完时会切换到另一瓶。操作上空产生器将特殊气体抽出,再用瓶。使用高压测漏,因为经过高压测漏更能确保问题。自动的供应系统,若使用手动的方式进行,人员操作需要非常的小心谨慎,只要任何一项步骤有疏失极可能影响供应的品质,严重时有可能造成人员伤亡。即使就是气瓶架也应该采用自动的供应系统,虽然没危险性,人员操作不当极有可能造成污染,毕竟要人员重复动作可能几十次,不但需要耗很多的时间,人员也要集中认识气瓶柜盘面上的一些设计,以下逐一介绍盘面上重要主件:N会因停电或运转设备故障而中断,此气源就是用于自动或半自动的气控制阀:主要用于第二到防护作为第二次确认用,一般于供应气体的出口。5.压力传送器:就是防护系统中非常重要的零件,透过它我们可以判断管路就是大宗气体及特殊气体用GN2快速流动产生吸力,将管路中的气体抽出,以到达抽气过滤器:一般在钢瓶出口端会装比较粗的过滤器,在出端会装比较细的过测器:对管路异常流量进行侦测,若就是操过设定值,即判断管路上限流孔:就是一种简易又有效的过流量控制装置,用以限制大量气体流过,一相容的气体不能装在同一个气瓶柜内,即使各自独立的供应系统也严重禁4.钢瓶接头型号应事先由业主告知我们以免有接头无法接上的问题。.小钢瓶会使用可调整的支撑架。依气体特性来选择。4、安全防护设施:会自动破裂洒水,但要注意有些腐蚀性气体会与水产生强烈反映,建议不安装消防洒水头。也需装烟雾侦测器及洒水头,以防止气瓶柜以外的地方有火灾,所有系统应该与中央监控系统连线,并与广播系统连线,一有警报立即疏散相关人员,由厂区紧急应变小组来进行处理,以免发生危险。考虑其摆放位置及其实用,如紧急遮断按钮除气柜上需要外,在气体房外或中央监控系统亦需架设,避免气体外泄人员无法进入关闭源头的钢瓶;此外警报警示灯与警报声响亦需在气体房外面明显的位置架设,以利人员紧急处理时的识别,并规划相关防护器具,如更换钢瓶时所使用的空气面罩。为防止地震会在气瓶柜的底部打上膨胀螺丝固定,使其在地震时不至于位移,地震仪的安装通常有三个感应器,分别装于厂区的三个角落,可避免当有外力的干扰时(如施工)即造成误动作,一般执行地震切断系统功能,通常会设定两个地震仪动作才会执行此功能,且设定地震等级为五级。紧急的废气处理设备适用于燃烧性气体,一般时抽,当特殊气体外泄时,抽风量会全数运转,需与侦测器配合使用,但格昂贵目前尚未普及。大宗气体及特殊气体forexample:smicfab2SPECIFICATIONSPECIFICATIONCYLINDERFIRESMOKEZ-PURGEPRVHC-22HP-FHP-NiAFLASEFSL/CDPSDPGSPLI.TEMP.UV/IRDAMPEREMSODPS2OptionOptionOptionOptionAUTOEMOESVSiHCl22WF4SIZELLLLClNNNNNNNNNNNNNYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYYY2ShutBoyUV/IR火焰侦测器,Sprinker洒水头,EMODPSDPG漏侦测器……GCFLOWSHEETDRAWING大宗气体及特殊气体●VMB/VMP的设计:,前者较少用也比较不好,虽然它有空间上的优点,但不相容或人员误动作极有可能激烈反应严重甚至爆炸,的点数会增加,造成成本的负担,未来扩充性也较差,后者的设计就是可以做,但由于经费的问题一般功能不会做那么好,以手动为主加一个气动阀可机台,亦可加调压阀做二次调压让压力更加的稳定,设定上下警报讯号做供应控制。*Function&Future:sProcessLinesforcustomer为“自动”及“手动”ne4、依制程需求可再次调压*VMB/VMP之Safety:险3.VMBforFlammableorPyrophoricgaseshasUVDetector(option)大宗气体及特殊气体4、LocalShutDownButton(forVMB)2、3二次配管(SPII/Hookup)3)竣工图:施工完毕,现场负责人会将现场施工图面收回。依现场施工修望业主能够提供。至于如何做分区、界定,则与客户厂务工程师协调后,再进行底图之分割及最后之图档管理。:则上草图的统合,就是由现场负责人负责－包括资料汇整、位置及b)电脑绘图完成之草图,经现场负责人确认后,交予客户相关之设备及厂务工程师。协调相关之厂商负责人及客户相关之设备或厂务工程师,至现场实际套图。为求图面准确性高,则希望业主提供做为参考完成工作任务。大宗气体及特殊气体a)现场施工小组依图面施工,施工路径与施工图有异时,施工小组将在负荷,就是否进驻现场,上下班情况等等,皆须配合业主之要求及预定Schedule之时程。一切以正确完成工作为原则。客户所需提供之图面及资料(以下为参考资料,实际需求以工程为主)一、图面:2、GAS:TAKE-OFF,DP,VMB/PLAYOUT3、CHEMICAL:TEE-BOX,V-BOXLAYOUT4、WATERDPLAYOUT5、EXHAUSTLAYOUT6、ELECTRICPOWERDISTRIBUTIONLAYOUTLLISTE2、各机台使用之BULKGASTAKE-OFF点MBPGasGasTypeCVDPVDDIFFIMPETCHPHOTONF3vvvvvvCl2vvHBrvvvSiF4vvvF2/Kr/NevvFArNevvC5F8vvBCl3vvvNOvvvvWF6vvv大宗气体及特殊气体vvvvvvvvCVDPVDDIFFIMPETCHPHOTOvvvvCDATFPHOTODIFFETCHCMPIMPFDIFFETCHCMPIMPLABPNTFPHOTODIFFETCHCMPIMPHPCDA:PHOTO五.S.G适用机台及制程:适适用机台及制程AMTENDURA-SEEDLAYER(CU)(SPUTTER)SCANNERAMTENDURA-SPUTTERNOVELLUSVECTOR-CU;DNSFC3000WETBENCH-STCLEAN、BCLEAN;DNSSCRUBBER-WAFERSCRUBBER、WAFERRECYCLEECP(CU)-CUECP;NOVELLUSALTUS-WPLUGDEP;AMTRTP-RTA(IMP)RCVDTINTELALPHA3031-LPTEOSAR/H2/O2H2/CL2/HBRSIH4/WF6HE/SF6/NF3CF4/SF6/HCL5%H2/HEF2/KR/NEKR/NE大宗气体及特殊气体PH3/HESVECTOR-SIC(CU)、FSG(CU)NO/SIH4TELALPHA3031-GATEOXIDEO2/DCS/NF3KEZ(III)-FLOW/REFLOW、POLYCURING、PAD/SACOXIDE、STARTOXIDE;TELHBRALPHA3031-GATEOXIDE;DNSFC3000-BCLEAN、STDCLEAN;NOVELLUSVECTOR-PEFSG、FSG(CU)、SIC(CU)、PEOX/PESN;AMTRTP-RTA(IMP)现场配管施工大宗气体及特殊气体ulatorelding求:设计人员依业主提供之机台需求单,包路径、上洞点、盘面、门型架、地板开孔及附与业主事前充分讨论,以免完大宗气体及特殊气体9-2、规划管路排列顺序:依各气源点与机台的相关序(能绘制立体图者尤佳)。9-3、安装盘面:在指定的高架地板下,依管路排列9-4、安装门型架:将指定的高架地板,依需求尺寸9-6、注意事项:大宗气体及特殊气体为复杂,或摆设位置大宗气体及特殊气体现场施工规范一高层1、3F盘底到高架地板标高170MM。如现场无法架盘,盘底标高50MM。2、2F天花板往下650MM就是HOOKUP高层;3.2FVMB／P上方弯管为VMB／P底盘上平面向上390MM,弯长80MM,高20MM,角度＋4、1FSUPPORT上方100处弯管,BALLALVE底端与PCW末端相平。1.GAS气体标签有左右方向,不能混用(只有箭头方事。黏贴样式依业主要求不同的管径选择不同尺寸5.管路施工,水平垂直误差应小于5%,如有不符,即需重大宗气体及特殊气体SIZESIZEDISTANCE<1/2＂2M215A-50A3M3>50A4M1、FITTING类施工损耗要≤2﹪。5、场所用SUPPORT现只有两种规格300MM与600MM。1.现场焊接的焊工要经过认证,有焊工证的才可进行焊2、弯管要用5倍或10倍弯管器,如现场有特殊情况、3、盘面要按图架,管路到3F上洞要按图上的上洞点上大宗气体及特殊气体。平顺,无划伤,压扁,严重变形等现场测试部分大宗气体及特殊气体试都合乎客户要求的标准并确保我们的产品的质量达到一定的1.图面确认施工完成时,QA、QC人员要确认图面就是否有依照工程图施工,以及施工气体管路种类与数量就是改。阀件使用就是否正确,管子尺寸就是否正确,管路路径就是否整齐美观,Gas名称标示就是否有贴错气体名称,及就是否依