安徽熙泰智能科技有限公司年产400万片硅基OLED微显示芯片项目(二期60万片)环境影响报告表

建设项目环境影响报告表(污染影响类)项目名称：安徽熙泰智能科技有限公司年产400万中华人民共和国生态环境部制安徽熙泰智能科技有限公司年产400万片硅基OLED微显示芯片(二期60万片)项目环境影响报告表一、建设项目基本情况建设项目名称安徽熙泰智能科技有限公司年产400万片硅基OLED微显示芯片(二期60万片)项目项目代码/建设单位联系人联系方式建设地点安徽芜湖三山经济开发区(原芜湖长江大桥综合经济开发区)佛山路与骆桥路交口东南侧辰泓达智能科技产业园内1#厂房内地理坐标(118度8分8.924秒，31度11分14.961秒)国民经济行业类别C3974显示器件制造建设项目行业类别“三十六、计算机、通信和其他电子器件制造397-显示器件制造；集成电路制造；使用有机溶剂的；有酸洗的以上均不含仅分割、焊接、组装的”建设性质团新建(迁建)扩建□技术改造建设项目报情形☑首次申报项目□不予批准后再次申报项目□超五年重新审核项目□重大变动重新报批项目项目审批(核准/备案)部门芜湖长江大桥综合经济开发区管委会项目审批(核准/备案)文号芜桥开管秘[2018]72号总投资(万元)25000环保投资(万元)环保投资0.74施工工期3个月是否开工建设☑否专项评价设置情况本项目排放废气为非甲烷总烃、氯化氢、氟化物、氯气等，根据专项评价设置原则表中-大气设置原则：本项目500m范围存在环境空气保护目标村庄“枫树宕王、后村”，项目废气不涉及《有毒有害大气污染物名录》中含有有毒有害污染物，但涉及专项评价设置原则表中-氯气污染物，故项目设置大气专项评价。—2—规划情况园区规划名称：《芜湖长江大桥综合经济开发区总体规划(2014-2030)》园区规划审批机关：安徽省人民政府审批文件名称：/园区规划文号：/规划环境影响评价情况规划环评名称：《芜湖长江大桥综合经济开发区总体规划环境影响报告书》规划环评审批机关：芜湖市环境保护局规划环评文件名称：《关于芜湖长江大桥综合经济开发区总体规划环境影响报告书的审查意见》规划环评文号：环行审[2015]055号文规划及规划环境影响评价符合性分析1、规划用地相符性分析二期项目系租赁辰泓达智能科技产业园内1#厂房部分区域建设，厂址位于安徽芜湖三山经济开发区(原芜湖长江大桥综合经济开发区)佛山路与骆桥路交口东南侧，区域交通条件便利，园区供电、供水及排水设施完善。对照国土资源部、国家发改委关于发布实施《限制用地项目目录(2012年本)》和《禁止用地项目目录(2012年本)》的通知，本项目不在限制用地项目目录和禁止用地项目目录内。根据不动产权证皖(2017)芜湖市不动产权第0273363号，项目用地为工业用地性质，符合安徽芜湖三山经济开发区(原芜湖长江大桥综合经济开发区)用地规划。2、与芜湖长江大桥综合经济开发区总体规划相符性分析根据《芜湖长江大桥综合经济开发区总体规划(2014-2030年)》，开发区规划主导产业：①装备制造业、新材料产业、节能环保产业；②物流和生产性服务贸易。基于对未来发展的期望，规划将大桥开发区未来发展目标确定为：产业体系完整、产业服务完善、生活服务高端的综合化和谐发展的产业新城区。将芜湖长江大桥综合经济开发区的主要功能确定：全国重要的临港产业示范基地；皖江示范区出口贸易和物流中心；芜湖中心城区西南部产业新城。—3—项目所在地为安徽芜湖三山经济开发区(原芜湖长江大桥综合经济开发区)工业用地；项目属于电子产品加工行业，主要生产电子产品-显示器材-微显示芯片，属于制造业产业，符合园区主导产业定位。3、与规划环评及其审查意见相符性分析项目与芜湖长江大桥综合经济开发区总体规划环境影响报告书审查意见符合性分析如下：表1-1规划跟踪环评审查意见符合性分析规划环评审查意见内容本项目情况相符性设适度调整区内产业结构开发区毗邻三山开发区，区内地表水域，水环境敏感。开发区应优设化园内产业结构，发展无污染或轻污染的产业，提高项目准入门槛。进园区工业项目应为清洁生产指标应达国内先进水平。园区内不得建设与国家和地方规定相违背的项目，并应按《芜湖市城市总体规划》和发改、国土、规划等部门对园区核定的产业定位，对园区产业、行业结构进行优化。对国家政策明令禁止的及电镀、化工、电子线路板等污染严重项目严禁入园区，产生生产废水量大的项目须从严控制。所有入园区项目必须按照《建设项目环境影响评价分类管理名录》和审批权限进行环境影响评价、报批，严格执行国家环保“三同时”制度，未通过环评审批的项目一律不得开工建。设设批复《芜湖市省级以上开发区优化整合方案》，三山经济开发区整体并入长江大桥开发区，使用“安徽芜湖三山经济开发区”名称，本项目位于园区内佛山路与骆桥路交口东南侧，项目为电子产品-显示器材-微显示芯片，不属于电镀、化工、电子线路板等污染严重的禁止入园的项目，项目正在履行环评手续，尚未开工建。相符合理布局、调整规划控制区发展规模；园区与三山经济开发区、繁昌经济开发区相邻，布局应统筹考虑。各产业间应合理连接，促使区域内发展循环经济。园区内规划的装备制造业、新材料产业、节能环保产业与配套建设项目发展带周边应布局无污染或轻污染企业。以区域总量控制、保护水质为目标，合理控制园区规划区域的建设规模。严格执行功能分区规划，重视对区内和邻近居住区及其它功能区的保护，妥善安置区内拆迁居民，合理布局建设居民点。园区边界及各功能组团之间须建设绿化隔离带。项目设置100m环境防护距离，现状厂界外100m防护距离内，无敏感点存在相符加快区内环保基础设施建设；坚持环保优先原则，强化环保基础设施建设。生产所需供热设施必须使用电、天然气、低硫燃料油等清洁燃料，优化园区的能源结构，园区应优先考虑利周边资源实施集中供热、供气，减少大气污染源。生产工艺过程中有组织排放废气须经处理达标排放，并严格控制工艺尾气无组织排放。项目为电子产品-显示器材-微显示芯片制造，不使用高污染燃料，生产过程中产生的废水、废气均能满足最新的排放标准要求，项目区域进行了雨污分流、清污分相符—4—全面落实《安徽省大气污染防治行动计划实施方案》各项要求，环境空气质量标准采用《环境空气质量标准》(GB3095-2012)。园区新建项目必须符合报告书提出的大气污染物排放总量限值，通过区域大气污染物总量控制、能源结构调整等措施，实现园区大气环境质量控制目标。锅炉烟气、生产工艺废气、恶臭污染物外排分别执行(锅炉大气污染物排放标准》(GB13271-2014)II时段限值，《大气污染物综合排放标准)(GB16297-1996)表2中二级标准，《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)中相应标准。园内应按“雨污分流，清污分流、中水回用”的要求规划建设排水系统。建议规划建设过程中考虑落实“中水”利用项目。园区污水管网应与开发园区建设同步进行或适度提前，确保园区内污水全收集，全处理。园区管理部门应尽快与有关部门协商，科学合理地规划所依托的污水处理厂规模与能力，加快污水处理厂和配套管网的建设进度。所有进区项目的生产废水、生活污水外排待具备进入区域内所依托的污水处理厂管网条件后，外排污水须达到污水处理厂接管水质要求，污水外排执行《污水综合排放标准》 (GB8978-1996)中三级标准。加强各类固体废物的收集和处理处置，园区应建立统一的一般工业固体废物和生活垃圾收集、贮存、运输和综合利用的运营管理体系，鼓励一般工业固体废物在区内综合利用，同时做好二次污染防治工作。根据《危险废物鉴别标准) (GB5085-1996)和国家危险废物名录鉴别、确立属危险度物的，建设单位必须委托有相应资质的单位按照国家有关规定规范处理置。流，清洁下水经厂区内污水管网接管至区域市政污水管网；生活污水经厂区内化粪池预处理，接管至区域市政污水管网；生产废水经自建污水处理站(二期改造)处理后接管至区域市政污水管网；厂区内各类废水均接管至芜湖市长江大桥综合经济开发区污水处理厂深度处理；各项固体废物均能得到有效处置落实事故风险防范和应急措施必须高度重视并切实加强园区环境安全管理工作。坚持预防为主、防控结全，制定并落实园区综合环境风险防范、预警和应急体系，及时更新升级各类突发环境事件应急预案，做好应急软硬件建设和储备，建立环境风险单位信息库，入园区企业要在园区环境风险应急处置框架下，制定环境风险应急预案，在具体项目建设中细化落实。在园内油品等危险品储存库区建设中，应设置安全防护距离，制定事故防范对策措施和应急预案，定期演练，防止污染事故发生，确保不对当地水质、空气环境质量造成影响。本次评价过程中要求本项目在园区内环境风险应急处置框架下，对现有环境风险应急预案进行修订，定期演练，防止污染事故发生，确保不对当地地表水、空气环境质量造成影响相符园区应实行污染物排放总量控制严格控制入园项目污染物排放，确保园内外环境质量达到相应功能要求。园区新增常规污染物排放总量须在核定的芜湖县总量控制指标范围内平衡，特征污染物排放总量控制指标可根据环境要本项目废气、废水污染物总量指标向芜湖市生态环境局申请，在芜湖市内平衡，经环保主管部门批准后实施相符—5—求和入园企业实际情况由负责建设项目审批的环保部门核批。其他符合性分析1.建设项目产业政策符合性分析对照《产业结构调整指导目录(2019年本)》，本项目不属于其中的淘汰类和限制类，属于允许类项目。项目涉及设备及工艺均不在《产业结构调整指导目录(2019年本)》和部分工业行业淘汰落后生产工艺装备和产品指导目录(2010年本)》中淘汰设备、工艺之列。综上，本项目建设符合国家产业政策。2、三线一单符合性分析表1-2项目与“三线一单”相符性序号要求项目情况相符性1生态保护红线生态保护红线是生态空间范围内具有特殊重要生态功能必须实行强制性严格保护的区域。在生态保护红线范围依法不予审批新建工业项目和矿产开发项目的环评文件根据厅〔2017〕62号中共安徽省委办公厅安徽省人民政府办公厅关于印发《安徽省划定并严守生态保护红线实施方案》的通知，生态红线的划定范围应将生态功能重要区域和生态环境敏感区域进行叠加合并，并与以下保护地进行校验，形成生态保护红线空间叠加图，确保划定范围涵盖国家级和省级禁止开发区域，以及其他有必要严格保护的各类保护地。经核实本项目不位于生态保护红线范围内，项目与生态保护红线的相对位置较远，距离最近的生态红线为3.864km，项目与生态保护红线的相对位置关系详见附图。相符2环境质量底线环境质量现状超标地区以及未达到环境质量目标考核要求的地区上新项目将受到限制；对环境质量现状超标的地区，项目拟采取的措施不能满足区域环境质量改善目标管理要求的，依法不予审批其环评文件项目区域地表水长江(芜湖段)执行《地表水环境质量标准》 (GB3838-2002)中III类要求，长江(芜湖段)各监测断面所有监测指标均满足《地表水环境质GBIII类标准要求；项目生产废水经厂区污水处理系统预处理后满足《污水综合排放标准》 (GB8978-1996)中三级标准及《电子工业水污染物排放标准》 (GB39731-2020)间接排放标准后接管至芜湖市长江大桥综合经相符—6—济开发区污水处理厂进一步处理达标后排入长江。《2020年芜湖市生态环境状况公报》中数据芜湖市三山区2020年环境空气中各项因子浓度值均达到《环境空气质量标准》 (GB3095-2012)二级标准，故判定本项目所在地环境空气为“达标区”。特征因子非甲烷总烃现状监测小时值满足《大气污染物综合排放标准详解》中限值要求；监测因子氨、硫化氢、氟化物、氯气均低于检出限，区域环境空气质量较好。区域地下水监测点位的地下水各监测因子均能满足《地下水质量标准》(GB/T14848-2017)中Ⅲ类标准要求，表明项目区地下水质现状良好。综上，本项目在落实本报告表提出的各项污染防治措施后，不会触及区域环境质量底线。3资源利用上线依据有关资源利用上线要求，即各地区能源、水、土地等资源消耗是不得突破的“天花板”本项划用地为规划工业用地。主要用电能，属于低能耗项目。本项目用水、用电、用气均在园区供应能力范围内，不涉及煤炭资源使用，不独立设置取水工程，不突破区域土地资源、水资源等资源利用上线。相符4环境准入负面清单环境准入负面清单是基于生态保护红线、环境质量底线和资源利用上线，以清单方式列出的禁止、限制等差别化环境准入条件和要求。要在规划环评清单式管理试点的基础上，从布局选址、资源利用效率、资源配置方式等方面入手，制定环境准入负面清单，充分发挥负面清单对产业发展和项目准入的指导和约束作用本项目不属于《芜湖市企业投资项目负面清单(2014年本)》及《关于印发安徽省长江经济带发展负面清单实施细则(试行)的中项目，也不属于《芜湖长江大桥综合经济开发区总体规划 (2014-2030年)环境影响报告书》负面清单范围内，因此，本项目建设不在环境准入负面清单相符综上所述，本项目建设符合《关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知》(环环评[2016]150号)中“三线一单”相关要求。3、与其他相关政策符合性分析对照《长三角地区2020-2021年秋冬季大气污染综合治理攻坚行动方案》(环大气[2020]62号)、《中共芜湖市委芜湖市人民政府关于全面打—7—造水清岸绿产业优美丽长江(芜湖)经济带的实施意见》(芜市发[2018]18号文)、《安徽省人民政府关于印发安徽省打赢蓝天保卫战三年行动计划实施方案的通知》(皖政〔2018〕83号)、《安徽省大气办关于印发<安徽省2021年应对气候变化和大气污染防治重点工作任务>的通知》(皖大气办[2021]3号)、《挥发性有机物(VOCs)污染防治技术政策》等相关政策要求，本项目的政策相符性分析汇总见表1-4。表1-4项目实施的政策相符性分析一览表政策名称相关要求符合性分析相符性《长三角地20-2021年秋冬季大气污染综合治理攻坚行动方案》(环大气[2020]62号)严防“散乱污”企业反弹。各城市完善动态管理机制，实现“散乱污”企业动态清零。将完成整改的企业及时乱污”企业建档立册，及时纳入管理台账。进一步夯实网格化管理，落实乡镇街道属地管理责任，定期开展排查整治工作，发现一起、整治一起。坚决防止已关停取缔的“散乱污”企业死灰复燃、异地转移，坚决遏制反弹现象。创新监管方式，充分运用电网公司专用变压器电量数据以及卫星遥感、无人机等技术，扎实开展“散乱污”企业排查及监管工作。本项目厂区位于安徽芜湖三山经济开发区(原芜湖长江大桥综合经济开发区)佛山路与骆桥路交口东南侧，项目用地为工业用地，本项目正在履行环评手续，不属于“散乱污”企业符合落实产业结构调整要求。安徽省加大现有化工园区整治力度，推动实施一批水泥、平板玻璃、焦化、化工等重污染企业搬迁改造工程。本项目为电子产品-显示器材-微显示芯片制造，不属于水泥、平板玻璃、焦化、化工等重污染企业符合持续推进挥发性有机物(VOCs)治理攻坚。落实《2020年挥发性有机物治理攻坚方案》，持续推进VOCs治理攻坚各项任务措施。进一步加大石化、化工、制药、农药、汽车制造、船舶制造与维修、家具制造、包装印刷等行业废气综合治理力度，推动重点行业“一行一策”，加大清洁产改造力度。本项目有机废气炭吸附脱附+RCO催化燃烧排放符合《关于全面打造水清岸绿产业优美丽长江(芜湖)经济带的(1)严禁1公里范围内新建项目。2018年7月起，长江干流及其主要支流岸线1公里范围内，除必须实施的防洪护岸、河道治理、供水、航道整治、港口码头及集疏运通道、道路和本项目厂区位于安徽芜湖三山经济开发区(原芜湖长江大桥综合经济开发区)佛山路与骆桥符合—8—实施意见》跨江桥梁、公共管理、生态环境治理、国家重要基础设施等事关公共安全和公众利益建设项目，以及长江岸线规划确定的城市建成区内非工业项目外，不得新批建设项目，不得布局新的工业园区；(2)严控5公里范围内新建项目。长江干流岸线5公里范围内，全面落实长江岸线功能定位要求，实施严格的化工项目市场准入制度，除提升安全、环保、节能水平，以及质量升级、结构调整的改扩建项目外，严格控制新建煤化工和石油化工等重污染、重化工项目。严禁新建布局重化工园区。合规化工园区内，严禁新批环境基础设施不完善或长期不能稳定运行的企业新建和扩建化工项目。(3)长江干流岸线15公里范围内，新建工业项目原则上全部进园区，其中化工项目进化工园区或主导产业为化工的开发区。路交口东南侧，厂界距离长江约干流及其主要支流1公里范围内。属于5公里范围内，项目不属于石油化工和煤化工等重化工、重污染项目，且项目用地属于工业园区内工业用地，项目不属于国家长江经济带市场准入禁止限制目录中的限制、禁止类项目；本项目严格执行环境保护标《安徽省人民政府关于印发安徽省打赢蓝天保卫战三年行动计划实施方案的通知》实施VOCs专项整治行动。开展石化、化工、工业涂装、包装印刷等VOCs排放重点行业和油品储运销综合整治，执行泄漏检测与修复标准。禁止建设生产和使用高VOCs含量的溶剂型涂料、油墨、胶合剂等项目。本项目不属于VOCs排放重点行业，无喷涂工VOCs含量的溶剂型涂料等符合安徽省大气办关于印发《安应对气候变化和大气污染防治重点工作任务》的通知9.开展锅炉炉窑深度治理。进一步摸排清理现有燃煤小热电和燃煤锅炉，确保区域内35蒸吨/小时以下燃煤锅炉清零。加快推进30万千瓦及以上热电联产机组供热半径30公里范围内燃煤锅炉和低效燃煤小热电关停整合，积极推进陶瓷、玻璃、铸造等行业清洁燃料替代工程;清理整治无法稳定达标排放的工业炉窑锅炉,取缔不达标燃料类煤气发生炉；4月底前，全面摸排生物质锅炉并建立台账，年底前完成建成区生物质锅炉超低排放改造，淘汰不能稳定达标(特排标准)的生物质锅炉和非生物质专用锅炉。本项目厂区内调温系统采用热能1期工程燃气锅新建Scrubber等涉及天然气的使煤锅炉符合《挥发性有机物(VOCs)污染防治技术政二、源头和过程控制含VOCs产品的使用过程中，应采取废气收集措施，提高废气收集效率，减少废气的无组织排放与逸散，并对收集后本项目均为密闭自动化生产设备，采用集中控制的方符合—9—》的废气进行回收或处理后达标排放。式，使生产过程中产生的废气经装置顶端设置的负压管道进行收集。项目有机废气经收集后采用活性炭吸附脱附+RCO进行处理，外排废气最终经过15m高的排气筒达标排放。三、末端治理和综合利用对于含低浓度VOCs的废气，有回收价值时可采用吸附技术、吸收技术对有机溶剂回收后达标排放；不宜回收时，可采用吸附浓缩燃烧技术、生物技术、吸收技术、等离子体技术或紫外光高级氧化技术等净化后达标排放符合安徽熙泰智能科技有限公司年产400万片硅基OLED微显示芯片(二期60万片)项目环境影响报告表二、建设项目工程分析建设安徽熙泰智能科技有限公司成立于2016年6月，是一家致力于虚拟现实 (VR)产业研发、生产和销售于一体的高科技企业。公司坐落在安徽芜湖三山经济开发区(原芜湖长江大桥综合经济开发区)佛山路与骆桥路交口东南侧辰泓达科技产业园内。项目于2018年5月22日经芜湖长江大桥综合经济开发区管理委员会备案，备案文号：芜桥开管秘【2018】72号，项目分期建设，1期20万片硅基OLED微显示芯片已于2019年7月进行了环境影响报告表的编制工作，并于2019年8月15日经芜湖市生态环境局审批，审批文号：芜环评审【2019】347号；1期项目于2019年11月建设完成，并进行了自主验收工作，于2019年11月10日召开了项目竣工环境保护自主验收会，并通过验收。本次项目为建设二期(60万片)硅基OLED微显示芯片，项目的建设，可助力企业抢占以硅基OLED微显示技术为核心的虚拟现实产业战略制高点，提供虚拟现实高端供给。2、建设内容及规模项目名称：安徽熙泰智能科技有限公司年产400万片硅基OLED微显示芯片(二期60万片)项目建设单位：安徽熙泰智能科技有限公司建设性质：新建项目建设地点：安徽芜湖三山经济开发区(原芜湖长江大桥综合经济开发区)佛山路与骆桥路交口东南侧建设内容及规模：二期项目系租赁辰泓达智能科技产业园内1#厂房内部分空置区域，建设二期工程内容，项目拟投资25000万元，其中环保投资185万元，建设面积1086平方米；主要为对厂房内部进行改造，设备购置、安装，建设二期生产线，项目建成后，二期工程可年产硅基OLED微显示芯片60万片。目概况3.1、项目环评及排污许可判定情况根据《建设项目环境影响评价分类管理名录(2021年版)》(生态环境部令第16号)，属于名录中：“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业39——第80项：电子器件制造397-显示器件制造；集成电路制造；使用有机溶剂的；有酸洗的以上均不含仅分割、焊接、组装的”，应编制环境影响报告表。根据对照《固定污染源排污许可分类管理名录》(2019年版)，本项目属于其中的“三十四、计算机、通信和其他电子设备制造业39、第89项-电子器材制造397-除重点管理以外的年使用10吨及以上溶剂型涂料(含稀释剂)的”，属于排污许可中“简化管理”。根据安徽省生态环境厅2021年1月30日印发的“安徽省生态环境厅关于统筹做好固定污染源排污许可日常监管工作的通知”(皖环发【2021】7号)，本项目属于重点管理和简化管理的行业，环评文件附表中明确“建设项目环境影响评价与排污许可联动内容”。3.2、项目建设内容拟建项目在已建厂房内建设。项目主体、辅助及公用工程详见表2-1。表2-1项目工程组成内容一览表工程名称建设名称一期工程内容及规模二期工程及规模备注主体工程生产车间租赁辰泓达科技产业园1#标准化厂房部分场地(建筑面积2300m2)建设1条芯片生产线，主要包括清洗、涂胶、显影、曝光、蚀刻、镀膜、组装等工序，生产车间为洁净车间，划分为百级区域、千级区域；年产硅基OLED微显示芯租赁辰泓达科技产业园1#标准化厂房部分场地，在现有1期工程西侧空置区域(建筑面积1086m2)，新产，主要包括清洗、涂胶、显影、曝光、蚀刻、镀膜、组装等工序，新建生产单元，划分为百级区域、千OLED微显示芯片60万片本次二期项目部有设备，现有设备运行能力可满足2期的依托辅助工程办公区位于车间东侧，主要包括办公室、会议室、前厅、逃生通道、风淋门等不新增依托现有1期工程，2期设置通道连接室位于车间南侧，保证电源供给不新增空调设备机房位于车间南侧，为生产车间提供洁净环境20000CMH新建空调设备，依托设备机房锅炉房位于车间南侧，设置1台0.8t/h燃气锅炉供热不新增2期建设后，作为后备设备纯水站位于车间南侧，设置1台5t/h纯水机，建设面台6t/h的纯水机，建二期后，全厂工共设置2台纯水机(5t/h、6t/h)供生产所需实验室位于车间东侧，用于日常实验不新增依托1期工程房建，新增检验设备储运工程原料仓库位于车间北侧，建筑面原料不新增依托现有1期工程，1期工程仓库利用面积70m2，尚有空余空间 2期固体原料存放特气房位于车间南侧，主要存放惰性气体、特殊气体等，设置28个罐体罐体6个依托现有1期工程，1期特气房尚有空余空间，可满足2期气体原料存放间位于车间南侧，主要存放氨、硅烷，建筑面积95m2不新增依托现有1期工程，1期利用面积20m2，尚有空余空足2期防爆原料存放成品仓库位于车间东侧，主要存放成品芯片，建筑面积60m2不新增依托现有1期工程，1期工程利用可满足2期成品芯片存放危废库m放废显影液、废剥离液等危险废物，1期利用空不新增依托现有1期工程，地面已进行防渗处理，危废库尚有空余空间(45m2)，可满足2期危废量暂存危化m放显影液、剥离液等危险化学品，1期利用空间不新增依托现有1期工程，地面已进行防渗处理，危化学品库尚有空余空间 2期危化学品原料存放公用工程供水系统区域给水管网供水17392.5t/a本项目新增用水量30865.5t/a依托现有供水管网，园区供水能力有及扩建项目的用水所需冷却系统设置冷却塔1座，冷却系统循环水量200m3/h新增冷却塔1座，冷却系统循环水量130m3/h新增，位于厂房南侧排水系统采用清污分流、雨污分流制，生产废水经污水站预处理后与生活污水、清下水一并接管芜湖长江大桥综合经济开发区污水处理厂，尾水排入长江采用清污分流、雨污分流制，生产废水经污水站预处理后与生活污水、清下水一并接管芜湖长江大桥综合经济开发区污水处理厂，尾水排入长江依托现有排污管网供电系统区域电网供电，用电量新增用电量为500万kWh/a依托现有电网供电，1期已租赁园器，可满足项目1期及二期项目用供气系统市政燃气管道供气，天于车间调温锅炉及Scrubber燃烧水洗装置(TA002)使用不新增无依托关系供热系统天然气锅炉供热，热水新增1套热能回收装置无依托关系环保工程废气处理系统有机废气采用1套催化燃烧器装置(RCO)(TA001)处理后通过15m高排气筒排放1#有机废气采用1套新增活性炭吸附脱附+催化燃烧器装置(RCO)(DA003)处理后通过15m高排活性炭吸附脱附装置；二期工程独立新脱附+催化燃烧器装置(RCO) (TA003)，废气处理装置无依托，2期处理装置尾气经独立排气筒引工程废气排放口(1#)蚀刻废气、沉积废气采Scrubber洗装置(TA002)处理后通过25m高排气筒排放2#蚀刻废气、沉积废气采用1套新增Scrubber等离子水洗装置(TA004)+酸碱废气处理装置(碱液装置不变，2期废气处理装置新增1套Scrubber等离子水洗装置喷淋塔)(TA005)处理后通过25m高排气(TA004)；现有1期废气经Scrubber燃烧水洗装置(TA002)处理后汇同经Scrubber等离子水洗装置(TA004)处理后的2期废气经新增碱液喷淋塔(TA005)处理后共用1根排气筒燃气锅炉采用低氮燃烧技术，废气经处理后通不新增天然气燃烧废气无依托关系废水处理系统含氟废水经化学沉淀预处理后与其他废水一并进入综合污水处理系统(厌氧+好氧+混凝沉淀)处理，污水站设计对现有综合污水处理站进行改造，含氟废水经除氟系统(依托1期改建)(化学沉淀法)预处理；有机废水经有机废水处理(生化+物化处理)系统(依托1期)预处理；2股废水经预处理后汇同一般清洗废水经综合废水处理系统处理(新增、物化工艺)(处理规模96t/d)含氟废水预处理系统进行升级改布置，新增调节池、絮凝池、沉淀池，改造反应池；有机废水预处理污水处理系统(更名为有机废水预处理系统，工艺、基建设施不变)；新增综合处理系统处理废显影液、废光刻胶、废剥离液、不合格品、废包装材料、污泥等危险废物委托有资质单位处理，废原料硅片、废金属靶材、废玻璃片等一般固废外售综合利用，生活垃圾环卫部门清运废显影液、废光刻胶、废剥离液、不合格品、废包装材料、废活性炭(废气处理)、废催化剂、污泥等危险废物委托有资质单位处理，废原料硅片、废金属靶材、废玻璃片、废树脂、废活性炭(纯水制备)等一般固废外售综合利用暂存间，建筑面积60m2；地面已进行防渗处理声处理隔声减振隔声减振增加设备治理措施环境风险20m3应急事故池扩建应急事故池至180m3依托现有应急事故池扩建容积品方案表2-2二期项目产品方案产品名称产能(片/a)规格全彩色(C)硅基AMOLED微显示芯片40万0.39in/0.61in/0.64in单色绿光(G)硅基AMOLED微显示芯片10万0.39in/0.61in/0.64in单色白光(W)硅基AMOLED微显示芯片10万0.39in/0.61in/0.64in表2-3二期后全厂项目产品方案产品名称现有工程本项目二期后全厂全彩色(C)硅基AMOLED微显示芯片8万片20万片40万片60万片48万片80万片单色绿光(G)硅基AMOLED微显示芯片6万片10万片16万片单色白光(W)硅基AMOLED微显示芯片6万片10万片16万片本项目生产的硅基OLED微显示芯片共有三种类别，包括全彩色(C)、单色绿光(G)和单色白光(W)，每种都有三种规格大小，分别为0.39英寸、0.61英寸、0.64英寸(芯片对角线长度)。图2-1微显示芯片结构示意图表2-4项目产品技术指标标准名称标准要求备注SF039FAA型硅基OLED微型显示器分辨率：1024(H)×768(V)像素尺寸：7.5um×7.5um公差±0.5un有效显示面积：7.83mm×5.91mm(对角线0.39)外形尺寸(L×W×H)：10.55mm×7.96mm×1.2mm企业标准 (Q/SIDTEK01-2021)SF061PAA型硅基OLED微型显示器分辨率：1028(H)×1024(V)像素尺寸：9.3um×9.3um有效显示面积：11.90mm×9.52mm(对角线0.61)外形尺寸(L×W×H)：22.00mm×17.00mm×4.75mm企业标准 (Q/SIDTEK02-2021)5、主要原辅料消耗主要原辅材料消耗情况详见下表。表2-5本二期项目主要原辅料及能源消耗情况材料名称主要成分年用量包装规格储存方式最大储存量/储存周期储存位置生产原料1硅片Si，8英寸，18000片0.9t8寸晶圆盒0.3t/3个月原料仓库生产辅料1I-line正性光刻胶涉密不进行公示危化品库2负性光危化品库3负性光刻胶(G)危化品库4负性光危化品库5负性光刻胶(OC)危化品库6正胶显影液危化品库7负胶显影液危化品库8正性光刻胶剥离液NMP危化品库9EKC蚀刻后残留物去除液危化品库丙酮危化品库异丙醇危化品库酒精危化品库稀释剂危化品库增粘剂危化品库冷却液危化品库清洗剂危化品库氢气防爆间硅烷防爆间氨气有毒气体间20惰性气体间21氮气站22氩气惰性气体间23三氟化氮腐蚀气体间24氯气腐蚀气体间25三氯化硼生产区域26笑气惰性气体间27四氟化碳惰性气体间28三氟甲烷惰性气体间29氦气惰性气体间30二氧化碳惰性气体间31压缩空气惰性气体间32氧气33氮氢混合气防爆间34ITO靶材原料仓库35铝靶材原料仓库36钛靶材原料仓库37银靶材原料仓库38IZO靶材原料仓库39OLED有机材料原料仓库40OLED金原料仓库41OLED金原料仓库42OLED金原料仓库43石英晶振片原料仓库44打印墨水原料仓库45ALD夜化学品仓库46ALD夜化学品仓库47金线保原料护胶仓库48固晶胶原料仓库49FPC保护胶原料仓库50PCB电路板原料仓库51FPC电路板原料仓库52金线原料仓库53玻璃片原料仓库能源原料1水/30865.5t/区域供水管网供给2电/500万KWh/区域电网供给表2-6二期工程建设前后原辅材料变化情况一览表序号名称一期现有工程原辅材料量二期工程建成后全厂原辅材料量变化情况原料1晶圆硅片辅料1I-line正性光刻胶涉密不进行公示2负性光刻胶(B)3负性光刻胶(G)4负性光刻胶(R)5负性光刻胶(OC)6正胶显影液7负胶显影液8正性光刻胶剥离液NMP9EKC蚀刻后残留物去除液丙酮异丙醇酒精稀释剂增粘剂冷却液清洗剂氢气硅烷氨气201(高纯)2122氩气23三氟化氮24氯气25三氯化硼26笑气27四氟化碳28三氟甲烷29氦气30二氧化碳31压缩空气32氧气33氮氢混合气34ITO靶材35铝靶材36钛靶材37银靶材38IZO靶材39OLED有机材料40OLED金属材料141OLED金属材料242OLED金属材料343石英晶振片44打印墨水45ALD夜源146ALD夜源247金线保护胶48固晶胶49FPC保护胶50PCB电路板51FPC电路板52金线53玻璃片表2-7主要原辅材料理化性质表名称成分/分子式理化性质燃烧爆炸性毒性光刻胶(酚醛树)/根据化学结构和分子量大小的不同，有液体或固体之分耐高温，不易燃烧mgkg-小鼠LD50:270mg/kg2,3,4,4'-四羟基二苯C13H10O5熔点：198-200(lit)；沸折射率1.4825；可燃；燃烧产生有毒氮氧化物烟雾口服-大鼠LD/公斤氧基-2-丙基酯C6H12O3≥99.0%水份：≤0.05％馏点：51°C；沸点、初沸点和沸程(°C)：145.8°C。易燃的。高于42℃时，可能形成爆炸性蒸气/空气混合物经口:无资料吸入:LC0-rat(male)->2000ppm.经皮:LD0-rabbit—20—60mmHg；自燃压：101325Pa；闪点性：198g/L。pH值：6.8。(male/female)->5000mg/kgbw.环己酮C6H10O熔点-47°C(lit.)；沸点C(lit.)；密度0.947g/mLat25°C(lit.)；蒸气密度3.4(vsair)；蒸气压3.4mmHg(20°C)；折射率n20/D1.450(lit)闪点116°F；溶解度90g/l；爆炸F与空气混合可爆；遇明火、高温、氧化剂易燃;燃烧产生刺激烟雾口服-大鼠LD50:1535毫克/公斤;口服-小鼠LD50:1400毫克/公斤丙烯酸树脂C5H10O2本品为淡黄色液体。可与水无限混溶。熔点95°C；沸点116°C；密gmLatC构决定性能，由于常规丙烯酸树脂的应用性能在特定场合存在一定的缺陷，因而对结构进行改性成为近年来拓宽丙烯酸树脂应用的基本途径。其中，环氧改性成为最简单、最直接的方法之一，在环氧改性丙烯酸树脂的合成技术中，目前使用较多的有核-壳杂化结构，互穿聚合，微乳聚合等，改性后的成膜树脂具有优良的动力学性能、耐溶剂性和耐酸碱性可燃;加热分解释放刺激烟雾口服-大鼠LD50:2500毫克/公斤;口服-小鼠LD50:4600毫克/公斤氢氧化钾KOH俗称苛性钾、钾灰等，工业品主要有两种形态，分别为固态以及液态，其中固态为白色或浅灰色片、块棒状，液体氢氧化钾为淡黄色液体。化学性质与氢氧化钠类似，有极强的碱性和腐蚀性，易溶于水并会大量放热，另有潮解性，极易吸收空气中水分而潮解，吸收二氧化碳而成碳酸钾。当溶解于水、醇或用酸处理时产生大量遇酸中和放热;遇水放热中等毒，半数致死量(大鼠，经口)1230mg/kg。—21—热量。0.1mol/L溶液的pH点361°C(lit.)；沸点1320°C；密度1.450g/mLat20°C；蒸气压1mmHg(719°C)；折射率n20/D1.421；闪点52°F储存条件+5°+30°C；溶解度H2O：1Mat20°C；比重咯烷酮C5H9NO外观为无色至淡黄色透明液体，稍有氨气味，与水以任何比例混溶，溶于乙醚，丙酮及酯、卤代烃、芳烃等各种有机溶剂，几乎与所有溶剂完全混合，沸点204℃，闪点91℃，吸湿性强，化学性能稳定，对碳钢、铝不腐蚀，对铜化学稳定性和热稳定性好，极性高，挥发性低，能与水及许多有机溶剂无限混溶等优点。本品属微毒品，空气中允许极限浓度为100PPM。熔点-24°C(lit.)；沸点202°C(lit.)81-82°C/10mmHg(lit.)；密度1.028g/mLat25°C(lit.)；蒸气密度3.4(vsair)；蒸气压0.29mmHg(20°C)；折射率n20/D1.479；闪点187°F；溶解度温、强氧化剂可燃;受热分解有毒氧化氮气体口服-大鼠LD50:3914毫克/公斤;口服-小鼠LD50:5130毫克/公斤异丙醇胺 (1-氨基-2-丙醇)C3H9NO具有旋光性，常温为液体。溶于水和乙醇。熔点-2°C(lit.)；沸点160°C(lit.)；密度0.973g/mLat25°C(lit.)；蒸气密度2.6(vsair)；折射率n20/D1.4478(lit.)；闪点165°F；储存条件2-8°C；近热,火焰,火花和强氧化剂易燃;接触大表面积的硝酸纤维即燃;高热产生有毒氮氧化物烟雾口服-大鼠LD50:1715毫克/公斤;腹腔-小鼠LDL0:250毫克/公斤羟胺H3NO不稳定的白色大片状或针状结晶。极易吸潮，极易溶于水。当浓度为100%、50%时水溶液的相对密度分别为：1.2040、1.019、5、高温爆炸腹腔-大鼠LD克小鼠LD50:60毫克/公斤—22—解，微溶于乙醚、苯、二硫化碳、氯仿。熔点32.05℃，沸点70℃(1.33kPa)。异丙醇C3H8O异丙醇又称火酒，二甲基甲醇，2-丙醇，最简单的仲醇，且是正丙醇的异构体之一。一种无色有强烈气味的可燃液体，有似乙醇和丙酮混合物的气味，溶于水、醇、醚、苯、氯仿等多数有机溶剂,能与水、醇、醚相混溶,与水能形共沸物。密度(比重):0.7863g/cm3，熔，沸点:82.5℃，点:460℃，折射率:1.3772；与空气混合可爆；遇明火、高温、氧化剂易燃;燃烧产生刺激烟雾口服-大鼠LD50:5045毫克/公斤;口服-小鼠LD50:3600毫克/公斤十二烷基苯磺酸钠C18H29NaO3S白色或淡黄色粉状或片状溶于水而成半透明溶液。对碱，稀酸，硬水化学性质稳定，微毒。是常用的阴离子型表面活性剂；熔g/cm3//二甲苯磺酸钠C8H9NaO3S折射率n20/D1.405；广泛用于日用洗涤用品的制造，是一种新型高效的低毒性洗涤用品增溶调理剂//月桂基胺氧化物C14H31NO本品为无色或浅黄色透明液体，在20℃相对密度为0.98。易溶于水和极性有机溶剂，微溶于非极性有机溶剂在水溶液中显示非离子或阳离子特性。当pH值＜7时呈阳离子性，氧化胺本身是优良的洗涤剂，能产生稳定而丰富的泡沫，熔点132~133℃；沸点371.32°C；密度0.996g/mLat20°C；折射率n20/D1.378；闪点113°C(235；储存条件-20°C；比重：0.97//—23—环氧树脂C21H23ClFNO2途凡分子结构中含有环氧基团的高分子化合物统称为环氧树脂。固化后的环氧树脂具有良好的物理化学性能，它对金属和非金属材料的表面具有优异的粘接强度，介电定收缩率小，制品尺寸稳定对碱及大部分溶剂稳定，因而广泛应用于国防、国民经济各部门，作浇注、浸渍、层压料、粘接剂、涂料等用途。//聚苯乙烯树脂C26H21N2O3R熔点270°C；密度0.29g/cm3(freefall)(lit.)；蒸气密度<1；蒸气压17mmHg(20°C)；折射率n20/D1.333；储存//丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)C6H12O3密度:0.966(20°C)，熔点:-87°C，沸点:149°C，无色透明液体，含量≥99.0%；酸度≤0.03%；比重0.966；闪点51℃易燃，高于42°C时可能形成爆炸性蒸汽/空气混合物MAC(mg/m3)：300；LD50：13100mg/kg(大9480mg/kg(大丙二醇甲醚(PGME)/无色透明易燃挥发性液，熔点-95℃、沸点121遇明火自然易燃，闪点：空气中的燃烧极限(体积百1.6上限:13.8LD50：3739mg/kg(大鼠经口)；LD50：11700mg/kg(小六甲基二硅胺(HMDS)/无色透明易流动液体，熔机溶剂，与空气接触会迅速被水解成三甲硅烷醇和六甲基二硅醚氧化剂易燃，爆炸下限%:0.8LD50：850mg/kg(大鼠经口)；LD50：850mg/kg(小鼠经口)四甲基氢氧化铵(TMAH)C4H13NO无色结晶，极易吸潮，有一定氨味，具强碱性，在空气中能迅速吸收二氧化63℃，沸点120℃，加热到130℃时能分解成三甲胺和甲醇LD50：19mg/kg；对皮肤和粘膜有腐蚀性。乙醇胺C2H7NO高温有燃烧的危险，蒸汽有急性毒性：LD50：2050mg/kg(大鼠—24—在室温下为无色透明的粘能与水、乙醇和丙酮等混溶，微溶于乙醚和四氯化碳毒2120mg/m3，4小时(大鼠吸入)CH5N点为-6.3~-6.7℃，解温度250℃，蒸气压(25℃)202.65Pa，在常温下为无色有氨臭的气体、或液体，液化后发烟体，比氨具有更强的碱性，易溶于水、乙醇和乙醚易燃烧，其蒸气能与空气形成爆炸性混合物，爆炸极限5%-21%有毒性二乙二醇单丁醚/℃，相对密度0.9536(20/20℃)，无色易燃液体，具有中等程度醚味，可溶于水和醇，与石油烃具有高的稀释着火点、闪点高，为可燃性液体LD50：560mg/kg(大鼠经口)三甲基铝C3H9Al三甲基铝在常温常压下为无色透明液体，熔点15.28752kg/m3，反应性极强，在300℃时缓慢分解产生可燃最高容许浓度：0.5mg/m3氯气Cl2黄绿色有刺激性气味的气506.62kPa(10.3℃)，相对(空气=1)2.48，易溶于水、碱液不可燃LC50：850mg/m3，1h(大鼠吸入)，中国MAC：1mg/m3三氯化硼BCl3无色发烟液体，沸点12.5度1.35/12/4℃，蒸气相对密度4.03，遇水及醇分解受热或遇水放出有毒氯化氢和硼化物气体1小时(大鼠吸入)；LCL0：20ppm，7小时(小鼠吸入)笑气N2O无色气体，有甜味。熔点蒸气密度(空气=1)：1.52，饱和蒸气压(kPa)：506.62(-58℃)，溶于水、乙醇、乙醚、浓硫酸本品遇乙醚、乙烯等易燃气体能起助燃作用，可加剧火焰的燃烧LC50：1068mg/m3，4小时(大鼠吸入)三氟化氮NF3液体密度(-129℃，受热或与火h)；—25—101.325kPa)：1540kg/m3，101.325kPa)：2.96kg/m3，遇氢气、油脂助燃受热分解有毒氟化物和氮氧化物气体有机物等接触能燃烧，甚至爆炸4h(小鼠吸入)硅烷SiH4密度(g/L,25°C)：1.44，相对蒸汽密度(g/mL,空气与空气混合易燃易爆，遇热分解有毒硅和易燃氢气4h(大鼠吸入)；4h(小鼠吸入)氨气NH3无色有刺激恶臭，毒性气，沸点-33.5℃，标准状况下的密度为0.771g/L，极易溶于水(1:700)，与空气混合能形成爆炸性混合物，遇明火、高热能引起燃烧爆炸常压、常温下空气中氨气爆炸极限：16%-28%(体积)LD50：350mg/kg(大鼠经口)，LC50：1390mg/m3/4h(大鼠吸入)四氟化碳CF4℃，相对密度(水=1)：密度(空气=1)：3.04， 不燃的易压缩性气体常温常压下稳定，遇高热后容器内压增大，有开裂、爆炸危险LCLo：895000ppm(大三氟甲烷CHF32.43，饱和蒸气压(kPa)：2504(20℃)，是一种无色、微味，不导电的气体性质稳定，受热与强氧化剂、易燃或可金属，发生反应属低毒类气体①氯元素平衡涉密不进行公示②氟元素平衡涉密不进行公示③物料平衡涉密不进行公示6、主要生产设备本项目主要生产设备详见下表。—26—表2-12项目主要设备一览表设备名称规格型号及参数数量(台/套)用途备注生产设备1曝光机/涉密曝光设备密闭2涂胶机/涂胶设备密闭3热板机非标/设备密闭4清洗机非标清洗设备密闭5蒸镀机非标有机材料蒸镀设备密闭6原子层沉积机/无机薄膜封装设备密闭7成膜机非标绝缘层等成膜设备密闭8贴片机/盖板贴合设备密闭9激光打标机/打码设备密闭切割机/基板切割设备密闭焊线机/线连接设备密闭老化机/老化处理设备密闭干刻机/刻蚀设备密闭检测设备1自动光学检测仪/涉密产品检测2光学调试仪/3光学检测仪/辅助设备1纯水机6t/h纯水制备表2-13项目二期建成前后主要设备一览表序号设备名称现有一期工程数量(台/套)二期工程数量(台/套)二期建成后全厂数量(台/套)1水洗机*涉密不进行公示2镀膜设备*3曝光机4涂胶机5干刻机*6剥离机*7蒸镀机8原子层沉积机9喷墨打印机*激光打印机成膜机贴合机切割机贴片机焊线机点胶机老化机烘箱清洗机检测设备—27—1检测设备涉密不进行公示辅助设备12热水锅炉涉密不进行公示纯水机/iht/备/iht/程(1)给水本项目二期用水由开发区供水管网供给，利用已铺设的自来水管网，本二期项目新鲜水用量101.925t/d(30577.5t/a)，用水包括纯水制备用水(工艺用水)、设备循环冷却系统用水、废气处理装置用水以及员工生活用水。①工艺用水本项目硅片在生产前、生产过程中接触有机溶液后、或镀膜后均需用纯水进行清洗，清洗均采用多级溢流清洗方式，因物料要求洁净度极高，洗涤废水均不回用。本项目二期工艺总用水量约为19422t/a(64.74t/d)。本项目纯水制备工艺采用RO反渗透，纯水制备效率为80%，则新鲜水用量为24277.5t/a(折合80.925t/d)。表2-14生产工艺纯水用量统计表生产工序用水量Lmn年供水时间用水量a阳极制备水洗用水阳极制备光刻用水阳极制备剥离用水钝化层制备水洗用水钝化层制备光刻用水钝化层制备剥离用水蒸镀前水洗用水彩膜制备水洗用水彩膜制备光刻用水PADOPEN水洗用水PADOPEN光刻用水PADOPEN剥离用水模组贴片前清洗用水模组切片清洗用水涉密不进行公示合计19422②设备循环冷却水本项目二期建成后，空调等设备新增循环冷却水用量约为130t/h，循环水补水量约为13t/d。—28—③废气处理装置用水本项目二期刻蚀、化学气相沉淀等工序产生含氟、氯等酸性气体，采用Scruber等离子燃烧水洗装置和碱吸收塔处理，产生含氟废水，本项目Scruber等离子燃烧水洗装置用水量约为6t/d。碱液吸收塔最大储水量为0.8t，每天补理装置装置用水6.96t/d。④员工生活用水项目新增劳动定员20人，均不在厂区内食宿，根据《安徽省行业用水定额》(DB34/T679-2014)，用水量按100L/人•d计，则员工日常生活用水量(2)排水本项目废水产生量约91.585t/d，年排放量为27475.5t/a。全厂排水包括工艺废水、废气处理排水、生活污水(以上为废水)，纯水制备浓排水(清下水)、循环冷却水定排水(清下水)。项目实行“清污分流，雨污分流”的排水体制。1)清下水①纯水系统新增排水本项目纯水制备过程中产生的反冲洗排水、保安过滤器反冲洗排水、反②循环冷却水定排水本项目空调、风机等设备循环冷却水用量约为130t/h，循环水补水量约tdtdt/a。2)生产废水①工艺废水本项目工艺废水排放量约61.5t/d(18450t/a)，工艺废水主要为生产配水、芯片清洗废水等，主要污染因子为pH、SS、氟化物、有机污染物。表2-15生产工艺排水统计表废水类别废水编号生产工序—29—涉密不进行公示W2阳极制备光刻涉密不进行公示W3阳极制备剥离W4钝化层制备水洗W5钝化层制备光刻有机废水 W6钝化层制备剥离有机废水W7蒸镀前水洗W9彩膜制备光刻W10PADOPEN水洗W11PADOPEN光刻W13模组贴片前清洗含氟废水W8彩膜制备水洗W12PADOPEN剥离一般清洗废水W1阳极制备水洗W14模组切片清洗合计有机废水含氟废水一般清洗废水总计②废气处理装置排水根据企业提供设计资料，本项目Scruber等离子燃烧水洗装置和碱吸收塔项目废气处理装置后端设置碱液吸收塔，吸收塔最大储水量为0.8t。吸收塔内置循环液储池循环使用，随着洗涤塔用水不断的循环回用，且吸收越来越多的工艺废气，水中的污染物浓度将会越来越高，需要定期更换，废气处理装置洗涤塔水每天更换一次，则吸收塔日最大废水排放量为0.8t/d，年排因此，项目废气处理装置排水(W15，含氟废水)共计5.8t/d，1740t/a。3)生活污水—30—图图2-6本项目水平衡图(t/d)—31—图2-7二期后全厂水平衡图(t/d)(2)供电二期项目新增用电来自市政供电管网，年新增用电500万kWh/a。(3)供热二期项目新增1套热能回收装置用于冬季供暖(保持洁净车间恒温恒湿环境)，替代1期燃气锅炉，二期建成后，1期燃气锅炉作为备用设备使用。(4)循环冷却系统本二期项目新增1台冷却塔，设计循环能力为130t/h，可满足二期项目生产的需求。(5)储运工程本项目运输系统主要为汽车公路运输，贮存装置主要包括桶装、钢瓶等，其中化学品存储于危仓库(依托1期现有，占地60m2)，液体料均为桶装；气体存储于特气房，储存方式均为钢瓶，包括惰性气体(氮气、氩气等)、特殊气体(氯气、氟化物等)，惰性气体和特殊气体分开储存，硅烷单独存储于防爆间，均为瓶装；其他原辅料存放于一般仓库内。本项目运输主要是各种原料、辅助材料、包装材料及产品。本项目厂外运输主要靠汽车，厂内运输主要靠叉车。厂外运输主要委托专业运输公司。—32—(6)洁净车间洁净车间无尘室采用FFU+DCC+MAU系统控制，MAU主要控制室内的湿度和保证室内的正压，FFU通过空气循环过滤保证洁净度，DCC用来出去室内的显热从而保证室内的温度。无尘室洁净等级划分：阳极像素点制备为百级区域，其余(有机发光层制备、彩色过滤层制备和模组工程)为千级区域。所有无尘室温度22±2℃，湿度50±5%。8、劳动定员和制度劳动定员：本项目新增定员20人，均不在厂区内食宿。工作制度：两班制，每班工作8小时，年工作300天。9、平面布置及周边关系(1)平面布置二期项目位于安徽芜湖三山经济开发区(原安徽芜湖三山经济开发区(原芜湖长江大桥综合经济开发区))佛山路与骆桥路交口东南侧，系租赁辰泓达智能科技产业园内1#厂房内部分空置区域(建筑面积1086m2)(1期工程西侧)进行建设，项目生产区主入口位于北侧佛山路；危废库、危化学物品库均位于厂区东南侧，建筑面积均为60m2，自建污水处理站位于厂区内东南侧，二期项目危废库、危化学品库均依托现有1期工程；自建污水处理站依托1期工程进行部分改造。厂区道路宽度均符合生产工艺和消防要求。厂区北侧设置1个生产区主出入口，与园区公路网(佛山路)相连。在厂区内部设计中，形成物流通道、人流通道，形成内部闭环道路，使物流、人流交通合理有序。根据厂区地形、生产流程、内外运输需要及国家现行消防、环境保护、劳动安全等规范。本项目总平图布置在功能上分区明确，设计线路清晰，物流顺畅、短捷，为生产创造了良好的操作环境。详见附图4厂区总平面布局。(2)周边环境关系二期项目厂区位于安徽芜湖三山经济开发区(原芜湖长江大桥综合经济开发区))佛山路与骆桥路交口东南侧。项目北侧紧邻佛山路，隔佛山路为—33—芜湖春风新材料有限公司及芜湖通潮精密机械股份有限公司，西侧紧邻骆桥路，隔骆桥路为安徽长青藤新材料有限公司，南侧、东侧为预留空置土地。二期项目位于长江东南侧，距离长江直线距离3.686km。图2-8项目周边情况示意图—34—工艺流程和产排污环节1、工艺流程简述二期项目仅在现有厂房内安装设备，进行生产活动，不涉及土建工程，施工期主要污染为噪声，随着设备安装的结束而消失，故本次不再分析施工期对周围环境的影响。涉密不进行公示与项关的原有环境污染1、现有项目环评及验收概况安徽熙泰智能科技有限公司，位于安徽芜湖三山经济开发区(原芜湖长江大桥综合经济开发区))佛山路与骆桥路交口东南侧辰泓达智能科技产业园内现有生产厂房内，于2019年投资建设年产400万片硅基OLED微显示芯片项目(一期年产20万片硅基OLED微显示芯片项目)，年产全彩色(C)硅基AMOLED微显示器8万片、单色绿光(G)硅基AMOLED微显示器6万片、单色白光(W)硅基AMOLED微显示器6万片，合计硅基OLED微示片20万片。现有项目环保手续履行情况见下表：表2-16现有项目环保手续履行情况一览表项目名称环评情况验收情况备注0万片硅基OLED微显示年产20万片硅基OLED微显示芯片项目)于2019年投资建设，项目项目的环评批复(批准文号：芜环评审【2019】347安徽海智博天环保科技有限公司编制完成环境保护验收监测报告，并通过自主验收产20万片硅基OLED微显示芯片2、现有项目生产工艺简述—35—图2-141期现有工程生产工艺总流程图3、现有项目污染物排放情况现有项目污染物排放情况资料来源于年产400万片硅基OLED微显示芯基OLED微显示芯片项目)环境影响报告表及《年—36—测报告》以及企业提供资料；根据原环评报告表，现有项目污染治理措施及达标情况如下：(1)现有项目污染治理措施表2-17现有项目污染治理措施及三同时验收情况一览表污染源主要污染物使用能源治理措施三同时验收情况设施运营情况1#排气筒VOCs采用1套催化燃烧装置处理后通过15m高排气筒排放设备正常运营，可达标排放2#排气筒颗粒物、SONOX、电能、天然气Scruber燃烧水洗装置处理后通过25m高排气筒排放3#排气筒颗粒物、SO、NOX天然气采用低氮燃烧技术，废气通过15米高排气筒排放生产车间氟化物、NOX、NH3/通过车间无组织排放污水站NH3、H2S加强绿化废水生产废水CODSS物建设含氟废水处理设施及综合污水处理站，含氟废水处理设施采用“混凝+沉淀”工艺，设计处理能力5t/d；综合废水处理设施采用“化学沉淀+厌氧+好氧+混凝沉淀”工艺，设计处理能力50t/d。设备正常运营，可达标排放生活污水CODSS化粪池处理清洁下水 (冷却循环水定排直接排放—37—水+纯水制备浓噪声生产设备各机械设备噪声离衰减等厂区现有设备位于厂房部分设备安装减振基座，可满足厂界达标排放固废一般固废一般固废收集外售定期外售物资回收公司危险固废危险固废委托资质单位处理危废处置单位定期处置，危废暂存间地面已进行防渗处理员工生活生活垃圾环卫部门清运园区环卫部门定期清运(2)污染物达标情况委托安徽海智博天环保科技有限公司对厂区现有废气、废水污染物的监测情况(生产工况95％以上)：①废气2019年11月4日~2019年11月5日期间对该项目各排气筒废气进行监测，监测结果表明项目有机废气排气筒出口中VOCS(以非甲烷总烃计)最大浓度6.86mg/m3；蚀刻、沉积废气排气筒出口中颗粒物最大浓度为8.3mg/m3，二氧化硫最大浓度为5mg/m3，氮氧化物最大浓度为26mg/m3，氟化物最大浓0mg/m3，氨最大浓度为2.31mg/m3，氯化氢最大浓度为0.10mg/m3；天然气锅炉废气排气筒中烟尘最大浓度为48.4mg/m3，二氧化硫最大浓度为16mg/m3，氮氧化物最大浓度为37mg/m3；其中VOCS(以非甲烷总烃计)排放符合河北省《工业企业挥发性有机物排放控制标准》(DB13/2322-2016)—38—表1大气污染物排放限值；氨排放满足《恶臭污染物排放标准》 (GB14554-1993)中标准限值；二氧化硫、氮氧化物和烟尘排放满足《锅炉大气污染物排放标准》(GB13271-2014)表3中特别排放浓度限值；其它污染物满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)中标准限值。监测结果表明无组织废气中氟化物、氯气均未检出，符合《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2中无组织监控浓度限值；VOCS(以非甲烷总烃计)的最大浓度值为0.325mg/m3，二甲苯未检出，符合河北省《工业企业挥发性有机物排放控制标准》(DB13/2322-2016)表2中企业边界大气污染物浓度限值；氨的最大浓度值为1.05mg/m3，硫化氢未检出，满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-1993)中标准限值。表2-18有组织废气监测结果监测点位污染物检测项目第一次第二次第三次平均值最大值有机废气处理设施排气筒进口VOCs (以非甲烷总烃计)2019年日排放浓度(mg/m3)53.345.648.849.253.3排放速率(kg/h)0-26.82×10-27.33×10-27.42×10-20-2标干烟气量(m3/h)2019年日排放浓度(mg/m3)46.351.843.251.8排放速率(kg/h)7.42×10-28.26×10-26.66×10-27.44×10-28.26×10-2标干烟气量(m3/h)有机废气处理设施排气筒出口VOCs (以非甲烷总烃计)2019年日排放浓度(mg/m3)6.865.446.86排放速率(kg/h)1.50×10-21.72×10-21.34×10-21.52×10-21.72×10-2标干烟气量(m3/h)2432251124622019年日排放浓度(mg/m3)4.634.284.68排放速率(kg/h)1.21×10-21.09×10-21.33×10-21.21×10-21.33×10-2标干烟气量(m3/h)260325412583蚀刻废气、沉颗粒物2019年排放浓度(mg/m3)7.68.3—39—积废气处理设施排气筒出口日排放速率(kg/h)1.43×10-20-21.45×10-21.34×10-21.45×10-2标干烟气量(m3/h)2019年日排放浓度(mg/m3)7.07.6排放速率(kg/h)1.28×10-21.39×10-20-21.26×10-21.39×10-2标干烟气量(m3/h)二氧化硫2019年日排放浓度(mg/m3)35445排放速率(kg/h)0-39.03×10-30-30-39.03×10-3标干烟气量(m3/h)2019年日排放浓度(mg/m3)44344排放速率(kg/h)0-37.30×10-35.30×10-36.57×10-37.30×10-3标干烟气量(m3/h)氮氧化物2019年日排放浓度(mg/m3)26212226排放速率(kg/h)4.48×10-23.79×10-23.41×10-23.89×10-24.48×10-2标干烟气量(m3/h)2019年日排放浓度(mg/m3)2323排放速率(kg/h)3.20×10-22.92×10-24.07×10-23.39×10-24.07×10-2标干烟气量(m3/h)氟化物2019年日排放浓度(mg/m3)2.30排放速率(kg/h)2.24×10-32.24×10-32.09×10-30-32.24×10-3标干烟气量(m3/h)2019年日排放浓度(mg/m3)排放速率(kg/h)1.99×10-30-32.24×10-30-32.24×10-3标干烟气量(m3/h)氨2019年排放浓度(mg/m3)2.052.05—40—日排放速率(kg/h)3.71×10-33.73×10-33.48×10-33.64×10-33.73×10-3标干烟气量(m3/h)2019年日排放浓度(mg/m3)2.312.192.062.31排放速率(kg/h)4.03×10-33.99×10-33.72×10-33.91×10-34.03×10-3标干烟气量(m3/h)氯化氢2019年日排放浓度(mg/m3)0.090.080.060.070.09排放速率(kg/h)4.81×10-33.81×10-33.41×10-34.01×10-34.81×10-3标干烟气量(m3/h)2019年日排放浓度(mg/m3)0.080.070.07排放速率(kg/h)3.75×10-30-33.37