光栅衍射效率测量系统及其表面结构参数检测设备_第1页
光栅衍射效率测量系统及其表面结构参数检测设备_第2页
光栅衍射效率测量系统及其表面结构参数检测设备_第3页
光栅衍射效率测量系统及其表面结构参数检测设备_第4页
全文预览已结束

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

光栅衍射效率测量系统及其表面结构参数检测设备府光栅加工前后的检测内容包括光栅衍射效率，表面槽深、占宽比的检测，光栅衍射效率的检测实际测量的是光栅的衍射光光强，对光栅表面槽深、占宽比的检测是利用原子力晶微镜探测扫描光栅表面获得其表面形貌图，然后通过分析软件分析计算获得槽深、占宽比的数据，3.3.1光栅衍射效率测晕本文实验中对光栅+1级衍射效率的检测，实际测量的是+1级衍射光光强，对于衍射效率变化率与衍射光强变化率的关系，以下作简单推导：设系统主北路的光强为上,研磨前1级衍射光光强为如,衍射效率%=上，［总I,研磨后1级衔射；肥冗强为厂旷衍射效率『奇二二，则衔射效率变化率占劣为:/总 - =AI..I总巾式〔3-1〕时如，衍射效率的变化率数值上等于-衍射兆强的变化率t与总光强九的大小无关，通过测量研磨前光栅的衍射光强值坛和研磨后的尸衍即可旧 iHJ获得衍射效率的变化率，无需对总'光强进行测蠢L,光栅衍射效率检测系统中激光器、步进器、微弱光探测器、计算机、控制软件等组成,如图3-5所示,图3-5中的激光器为半导体固体激光器W40S-75FSM-GZ,测！i损寸输出波长为405nm,输出功率选择10mW,功率位定性优F0.6%.£I描测!I■：罕间果样I'd隔为0.5mm、1mm.2mm，时间决样间隔为50m膈图3-6是9#光栅研磨之前的衍射效率分布图，实际测量的是+1级衍射光光强,空间采样间隔:0.5mm，时间采样间隔:50mso3.3.2光栅表面结构参数的检测光栅表面结构参数检测系统由AFM及其控制软件、分析软件组成，如图3-7所示。AFM探测扫描光栅表面，生成光栅的表面形貌图(如图3-9、图3-1()所示)，通过分析软件分析计算槽深、占宽比数据。

图3-7AFM及控制组件实验中所使用的AFM(AtomicForceMicroscope,原子力显微镜)为布鲁克公司(BrukcrAXS)原子力显微镜的旗舰产品DimensionIcon系列增强型,如图3-8所示,Icon可以实现所有主要的扫描探针成像技术，其测试样品尺寸可达：直径210mm,厚度15mmo温度补偿位置传感器使Z-轴和X-Y轴的噪音分别保持在1()小和1()』°级别水平。图3-8AFM实物图与效果留AFM测量中参数设置如卜.：ScanSize：10pm；ScanAngle：0；ScanRate：0.5Hz；IntegralGain：0.5-0.7；AmplitudeSetpoint：270-310mV图3-9、图3-1()是1#光栅研磨之前x=2,y=7处的

人人文库> 全部分类> 图纸下载 > 毕业设计

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论