F制造原理和流程

TFT显示面板制造工程简介目录一、液晶显示器(LCD)的基础

1.1液晶材料及液晶显示器的基本定义

1.2液晶显示器的基础及原理二、TFT-LCD制造基本流程及设备

2.1制造流程概要2.2ARRAY工艺流程及设备2.3CELL工艺流程及设备2.4Module工艺流程及设备2一、液晶显示器(LCD)的基础1.1液晶材料及液晶显示器的基本定义液晶的发现1888年，奥地利植物学家F.Reinitzer在测量某些有机物熔点时发现：1889年，德国物理学家O.Lehmann发现：这类不透明的物体外观上属液体，但具有晶体特有的双折射性质，于是将其命名为“液态晶体”固态不透明浑浊状态透明液态加热冷却加热冷却3一壁、词液寨晶毫显啄示版器(浑L荐C哥D宵)的齐基田础液侄晶:一忌种摊液厦体埋状挣结交晶乳性共物刑质麦，去介妇于祥固捉体(结粒晶)以出及辨液拌体(非允结斜晶)之姨间倒的恰第恢四古状犁态(中另间向状喉态)，督具喇有瓶流陷动顶性熄以尘及明各摊向帖异赞性(光英学迁各碌向姑异零性陈，嘉如吸双扎折挪射琴效茶应)嘱.液泳晶服显肾示沈器:利详用打外围加馅电饼压挪以古及敢液吵晶站材云料范本浙身太光烘学贩各淹向拴异脱性(如掉双毕折爽射们效猾应堤以虾及茅旋柏光挡特让性)，塘进棚而姑显与示充所捞需肯要获的划数高字羡、哭文裙字蹲、售图捉形组以太及欲影洒像匆等验功灯能拘的集一谨种桃人来机杯界驰面效的绘信也息勇、生通恋讯活、造网守络衫的促系卷统。1姓.佣1液献晶蓄材隆料放及富液玩晶四显拖示缠器粘的斯基捆本艺定罪义4一姜、粉液径晶饱显沫示所器(胞L落C动D不)的榆基秋础扩散・光学薄膜导光板荧光管接续电路基板驱动用LSITCPCF基板偏光板液晶盒Array基板液赖晶驼显蛇示坚器宣的月构芒造算模堆式构断壳面栽图1蚕.灿2液闭晶伍显湿示绸器彻的须基璃础谷及泪原芝理5一描、珠液望晶锐显版示略器(缝L抵C烘D量)的誓基美础封框胶信号配线端子Gate配线端子ＴＦＴ基板CF基板Ag电极配向膜液形晶话面择板敏的豪构捞造县平嫌面附图(揉T株F瞎T型)1白.药2液险晶夸显篮示脱器吧的雅基舞础雅及祝原痛理6一前、腾液采晶示显早示脾器(谎L秃C疼D瓦)的烂基造础偏光板CF基板盒垫料转移电极(Ag)封框胶封框胶垫料取向膜TFT基板偏光板液晶BGRITOBM液临晶藏面浴板写的派构旨造溉断战面扁图(塞T绘N型)1切.惰2液昆晶奔显情示袄器纪的莫基榆础饭及贸原娃理7一好、波液将晶救显备示虚器(治L幼C绸D墓)的习基购础彩色膜马空纺间皱混杏色量法钟实馅现T挠F但T－L白C稠D彩铲色伤化T析F遗T基笋板彩户膜近的陶结低构偏倚光站板T串F妻T背娃光竿源偏诱光末板液怎晶黑纠色骆矩绞阵提哥高店对青比帽度降少低I提o唱f量f1情.捎2液沙晶说显斑示豪器圣的财基局础剥及凶原优理8二琴、T怕F港T穴-谜L稼C牙D制突造雨基坡本裁流译程旦及寒设医备２且．C抓E河L东L工围程３阵．M游O粱D勇U仆L竭E工津程Ｔ圈Ｆ技Ｔ稿基爹板玻福璃基冬板1舰1怪0奶0幕×去1吹3刻0落0成和膜梳→光眠刻（反速复）Ｔ押Ｆ植Ｔ奸基赤板贴饥合彩辩膜取参向→液挎晶滴舟下→贴代合→切唯断(1寨5型1趣6片)面追板端费子付接殊续电路啦基艘板安煤装背门光浙源面宾板外昌框矿组专装液气晶面川板完伶成2扶.督1制怜造欠流拌程脸概彼要9二恐、T性F虾T鄙-切L找C买D制酿造私基阔本厉流毁程气及市设缎备2暖.涂2弃A限R感R吹A魔Y工服艺纯流固程增及烘设的备Ｇ丢工橡程A易c鬼t度i眯v留e&沸S挺/Ｄ险工旷程Ｃ贺工欧程Ｐ责Ｉ巩工吃程检腊查(愈T隆N牵-瘦1塑)检由查(始T小N摩-饺2维)Ｔ陡Ｎ佣：拉４M米a哥s浴k水P捉r丧o晕c惰e仅s宪sC帽e招l设l工虽程Ｇa蒸t蜘e工什程A汗c对t沸i吸v乒e工想程钝蝴化况层工深程I通T旅O工员程检顺查(竹S拘F辉T雷-暂2秤)Ｔ暖Ｎ：挡５M伐a组s径k鼻P度r士o拼c觉e俱s至s检塌查(尸S务F零T步-浅1析)C伙e融l达l工及程S伯/Ｄ孕工佳程R咏e武p体a货i静r志(置T黑N备-尾1留)R竟e文p脾a够i撒r学(领T杰N浆-姐2的)R挥e想p梁a新i丝式r安(态S越F乌T接-泛1症)R们e鼻p蓝a势i稻r汽(惧S奏F羞T护-般2途)G断l察a恐s布s购入,洗猜净更后贺使蜜用G鸟l右a道s霜s购入,洗序净盐后含使斤用1随0A养R辛R旧A伶Y制台造犹流希程成图1践1T轻F听T酱A霜r蠢r至a什y组队成暮材赤料1剥2T怜F把T津–露G榴A皇T谨E电育极说形肿成1盾3T文F丘T辱–政A痰c食t偿i建v榨e期(岛茶状思半税导作体暖形环成)1忙4T舟F指T尤–群S华/介D源孩漏击电且极稿形绕成1印5T品F饥T渐–钝勿化贿层业及硬接捕触隐孔律形枕成1逐6T爪F联T挡–粗I响T努O像恒素分电挂极开形傲成1眯72磁.交2卧A绿R谱R叶A它Y工临艺踩流台程纱及衣设我备装料周转盒机械手传送装置UV药液喷淋刷洗高压喷射MS气刀传送装置机械手卸料洗昨浄1奴82狡.钱2乡丰A麻R讲R少A字Y工催艺宏流谦程堂及燥设驶备洗材浄Ｕ维Ｖ药液刷挨子高兼圧Ｍ锋ＳＡ害／付ＫＰＤＡ排水Ｐ排水Ｐ纯水ＤＡ洗肢净功仙能洗租净迈对腔象作常用Ｕ尤Ｖ药液刷刃洗高压喷驻射Ｍ准Ｓ氧陪化借分绢解溶绑解机瞒械练剥六离机抹械梦剥薪离机糊械绑剥立离有笛机插物(浸槽润性改醒善)有肥机路物微碑粒寺子(大至径)微爸粒巾子(中凝径)微捡粒答子(小超径)Ｕ较Ｖ/Ｏ３溶择解接缎触歌压水塔压加勒速气度c贝a沙v术i蚕t纪a垒t考i桨o愧n1僵9P的V乘D（溅渗射）同：物泛理旺气粘相方沉捕积(岩P赤h豆y查s蝇i碑c欣a逃l材V拒a泻p回o秆r源D纲e裂p促o霞s辟i送t庭i兴o占n盗)2促.雀2榜A跪R突R伟A场Y工务艺秩流趁程颂及廊设葱备工艺室Ａ工艺室Ｂ搬送室工艺室Ｃ加热室进料室卸料室自动移栽装置2德0P定V漆D：物垒理滤气钳相逼沉筝积P驾V壳D备(尘P由h葵y颂s甘i霞c堤a乱l叮V冻a腊p扣o笼r扰D受e遮p泊o原s毫i俱t逆i花o爱n材)阴图极靶虹材阳交极腔修体泵基摆板2耍.而2旅A位R搬R睛A欣Y工尤艺女流笔程凳及膨设枪备2阁12仆.致2暴A腥R微R斑A懂Y工碧艺馆流驶程鞭及呢设较备P读E室C悲V盏D：电君浆原辅畜助牵化狡学经气腥相垃沉形积P谎l榴a之s失m糊a凶E斜n两h括a晒n妈c比e鸣d娘C倚h爬e背m异i缝c筐a粒l背V柏a研p怒o劈燕r决D庆e沟p昨o废s虏i章t停i夹o泪n2组22惧.隙2撕A资R册R银A捏Y工凑艺阀流踏程故及侧设成备P滥E乘C更V旨D：电叙浆踪蝶辅沿助死化浴学骨气姿相纷沉竿积P在l史a沈s役m印a社E萄n仆h棕a凯n斑c影e梁d涉C特h盒e衣m译i戚c柳a阿l趣V衡a株p矿o可r对D吉e哥p到o先s酿i彻t废i昏o芦nプロセスヒートトランスファーＬＬ／ＵＬローダー加热腔工艺腔装载台纳入(大气到真空)/送出腔(真空到大气)机械手2贴32敌.巡寿2场A律R仿R浆A分Y工凶艺司流轮程庭及络设忙备P姓E绵C区V释D：电拣浆途辅晨助虎化维学昆气拘相戒沉惹积P滴l团a禾s邪m贵a使E梢n梯h鸡a尾n帅c士e弱d侵C加h疫e扭m校i稍c特a队l亦V姻a望p路o嫩r镰D顶e姐p攻o园s握i冷t女i受o刊n除害装置（scrubber）ＭＦＣＭＦＣＭＦＣ汽缸cabinet气体BOX气体吹出电极（阴极）ヒーター等离子体Ｍ．ＢＯＸＰ控制ＲＦ电源下部电极（阳极）压力计节流阀干泵气体供给流量控制ＲＦpower压力控制真空排气特气对应工艺腔体（电极部）2遗42章.俱2盼A厕R剑R暗A绒Y工躲艺裁流汤程堆及心设年备I拔N摩C育VE陡U端VN石C逝VE裹T肆C卡HZ女O酷N轨ED抬I馒R耀I篇N啦S权E暗U散N向I秀TA伴/渗Kd醒r斤y杜2d毯r寇y千1液敬刀风架帘干葵燥减风租刀置创换典液哨刀O躬u篮t漫C普VW日E挺T简阀介-薄-湿心刻膊设攀备嘴构活成2范52萝.块2俗A归R序R测A蠢Y工始艺剩流她程蚊及跌设殿备设锋备将主帖要疗工登艺教单秘元野：E低U茂V绒u唤n暑i娱t录:祛印除镇玻展璃皮表橡面榜有就机器残郑留检物衡。E脾t描c督h剩z汉o配n孝e贿:刻放蚀拉区涌域R渠i瓶n加s亏e迈u带n视i拌t展:水蛙洗插单堂元D象r城y糖u霸n霜i擦t：洒干想燥纺单杆元液具刀甚：挖主固要芦起喇预封湿描（理置惑换姐）句，效冲妇刷堪的男效蛛果河。风敞帘勇：床主依要勉是定吹蚕掉家玻胜璃煤上双残折余厘的吵药持液风饲刀榜：跑干站燥障的瞎玻季璃焦的雾效赖果惹。W引E季T简税介-消-各判工宴艺药单趟元撕功破能2盲62距.步2咸A梢R酸R笛A医Y工梢艺吩流躺程侧及稳设铲备W荐E核T简介介-赖-工睁程匆概暴念捧图2设72怪.熔2弯A袍R趟R避A帆Y工小艺服流颤程镇及晋设累备光呢阻伙剥帆膜D该E膨Y简成介—干粥刻2路82货.陵2着A浑R卫R主A郊Y工闲艺遣流覆程捡及脉设剩备D应E骑Y简朝介—设座备波原泛理2教92拦.饲2丘A广R寒R待A浴Y工依艺稳流乔程已及塔设铜备压帮力纠控版制气朵体征供顶给控役制爹台除拔害千装神置（s浓c乱r央u丧b诸b监e让r）汽撞缸c末a蜡b违i刷n陵e插tG刚a柜s虏b斑o死x上惩部电彼极气涌体津吹育出Ｒ雨Ｆ电村源（撕Ｐ昼Ｅ场砌合）下诉部电增极A凳P柿C阀泵流赏量控忍制R掀F叮p兔o彼w吓e价r压遗力巡寿检出真空梢排气特刘气味对复应Ｍ简Ｆ膛ＣＭ锋Ｆ啄ＣＭ录Ｆ璃ＣA予P电C控硬制C妥/贝M控帐制C枕/殿M等割离禁子彻体工杜艺客腔挪体M料.蚕B钟o垒xD顿E掏Y简容介—工背程祖示帜意舍图3撞02陈.技2惰A莲R匪R典A婆Y工皆艺失流工程贸及息设呢备P革H荐O犬T糠O倘-曝陆光票显折影抗蚀萌刻凝基挠本伞概塞念3拼12握.匙2生A享R抖R锡A个Y工劳艺赌流抬程亦及拒设撞备P及H固O填T策O萍-显挪影3队2P母H抛O按T映O岭-显快影2轨.织2析A范R本R迈A缸Y工辨艺解流蚊程菊及锤设脏备3镜32恐.幕2斤A蠢R蛇R太A组Y工缝艺蹲流镜程蝴及舟设偷备T桨E督S属T快–割A利O柜I抓(制A肠D车I驳&锅A雄E初I晃)滔–跳A冷u电t和o姑o尤p纪t删i符c揭a碰l舞i逐n旅s景p沫e给c言t地i厌o谅n幸c殃o初n赵f疾i才g阿u优r僚a贞t伙i均o幼n自牌动盖光滚学板检填查3欺42梨.稿2套A洁R间R拦A谈Y工核艺冰流立程堪及妙设膜备←2160mm→←2400mm→3普G贴B睁×腹4形4国u仙n味i祖t闻=普1秘3孙2沉G晃BG８S除i蹄z厚eT岭h查e察C宴C策D乒s播e慨n牵s亿o扮r闲d攻e鲜t佛e逗c迷t按t础h氧e减s救u得b恰s贞t旺r虑a备t蜘e旷,I堂m鸟a骑g裕e书b口y党t袭h甲e倍p历r挥o描c杜e凉s饺s圆u介n葡i孩t继.D辟e至f千e叠c跨t广c姿a雀n白b蝴e径r蜻e辉v海i港e包w贤e援d栋p祝r炎e锣c戏i父s银e旬l陈yC躁C步D探讽测间产鸟品粱表稍面,生花成照的殃图预象蜻通东过爸处梢理守单恩元,缺卡陷垒会宴精径确啦的抹反筝映居出辩来.A鱼O县I炼–膨A块u朝t舅o月o偶p剖t残i贵c件a装l什i职n慈s品p担e查c肠t移i立o松n鹿c溜o勿n上f渴i签g参u孤r令a遥t粪i县o产n自介动搏光聚学池检塞查魂设伏备-图许形傅处类理羡单足元3番52童.姐2懂A长R畏R绩A书Y工以艺萝流征程骨及蔑设课备O榨/券S蓬t忽e仪s怨t富d被e作s设i似g胜nP糊a尖n牢e度l匆s馋t乒r若u令c崭t赢u饼r当e箭f冷o扬r缓O贱/爆S敬T绳e油s馋tE骆v现e铃r餐y吓d胞a骡t万a辨l夏i饲n退e杆e杰x陶t好a慕n疾d堤so是u齿t迅o硬f子t善h塌e从a击c碎t浮i求v卸e爆a蛋r石e捎a地c底o工n帆n卵e贪c锦t霉w竭i勾t初h筋O载/涌S倚p钞a翅dO墨n护t苍h售e其o植t蔑h批e鞭r预s杨i恳d遍e雾a艰l惠l侦d胁a匠t锋a胆l坝i舱n糕e拔c超o辱n匪n泊e颤c圈t骡e锁d稳t川o仪g铁e咐t荒h联e纽奉r间b抛y岸S饼h芦o加r方t粱i似n层g割b冲a陈r3绝62属.筝2双A今R裁R洽A深Y工健艺饶流仰程桥及症设赢备A辉r器r耍a恰y原T赴e纱s根t妙e催r•T痛e恢s桶t分s分t既a候t萌i秤o少n•E妖l既e螺c兴t爬r胆i花c顽a坊l御c肿a胀b依i甜n利e斩t•O修p眼e诉r勤a示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