成都中科卓尔芯屏智能科技有限公司高端掩膜版及工艺设备研发生产环境影响报告

-1-一、建设项目基本情况建设项目名称高端掩膜版及工艺设备研发生产项目代码2112-510122-04-01-533881建设单位联系人联系方式建设地点成都市双流区空港高技术产业园地理坐标国民经济行业类别C3985电子专用材料制造建设项目行业类别三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业39电子元件及电子专用材料制造398中电子专用材料制造(电子化工材料制造除外)建设性质☑新建(迁建)□技术改造建设项目申报情形☑首次申报项目□不予批准后再次申报项目□超五年重新审核项目□重大变动重新报批项目项目审批(核准/备案)部门(选填)成都市双流区发展和改革局项目审批(核准/备案)文号(选填)川投资备【2112-510122-04-01-533881】FGQB-0743号总投资(万元)00环保投资(万元)34环保投资占比(%)0.3施工工期8个月是否开工建设☑否用地(用海)面积(m2)8000专项评价设置情况根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南(污染影响类)(试行)》“表1专项评价设置原则表”，本项目无需设置环境风险专项评价，详见下表。表1-1专项评价设置原则表专项评价类别涉及项目类别本项目情况本项目是否设置大气排放废气含有毒有害污染物、二噁英、苯并[α]芘、氰化物、氯气且厂界外500m范围内有环境空气敏感目标的建设项目本项目排放的废气不涉及《有毒有害大气污染物名录》中的有毒有害污染物，不涉及二噁英、苯并[α]芘、氰化物、氯气否地表水新增工业废水直排建设项目(槽罐车外送污水处理厂的除外)；新增废水直排的污水集中处理厂本项目不涉及工业废水直排否环境风险有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量的建设项目根据《建设项目环境风险评价技术导则》(HJ169-2018)涉及风险物质主要为润滑否-2-险物质均未超过临界量，计算可知本项目Q值=0.000381，因此本项目无需设置环境风险专项评价生态取水口下游500m范围内有重要水生生物的自然卵场、索饵场、越冬场和洄游通道的新增河道取水的污染类建设项目本项目不设置取水口否海洋直接向海排放污染物的海洋工程建设项目本项目不属于海洋工程建设项目否规划情况规划名称：《四川省成都天府新区总体规划》(2010—2030)审批机关：四川省人民政府审批文件名称及文号：川府函[2011]240号规划环境影响评价情况规划环境影响评价文件名称：《天府新区空港高技术产业功能区电子信息产业园规划环境影响报告书》审查机关：成都市生态环境局审查文件名称及文号：《成都市环境保护局关于天府新区空港高技术产业功能电子信息产业园规划环境影响报告书审查意见的函》(成环建评〔2016〕37号)规划及规划环境影响评价符合性分析1与《四川省成都天府新区总体规划》(2010—2030)符合性分析2011年11月16日，四川省人民政府出具了关于《四川省成都天府新区总体规划》(2010—2030)的批复(川府函[2011]240号)。根据该规划中关于工业用地的布局规划：“电子信息产业用地位于空港高技术产业功能区内”。本项目为电子专用材料制造，属于电子信息产业，且项目位于成都市双流区空港高技术产业园中的电子信息产业园，符合《四川省成都天府新区总体规划》(2010—2030)中关于电子信息产业用地的相关规划要求。2与《天府新区空港高技术产业功能区电子信息产业园规划环境影响报告书》及其审查意见(成环建评〔2016〕37号)符合性分析2016年3月17日，天府新区空港高技术产业功能区电子信息产业园规划环境影响报告书已取得成都市环保局的审查(成环建评〔2016〕37号，《成都市环境保护局关于天府新区空港高技术产业功能区电子信息产业园规划环境影响报告书审查意见的函》)。根据《天府新区空港高技术产业功能区电子信息产业园规划环境影响报告书》及其审查意见中对入园行业的要求见下表：表1-2本项目与《天府新区空港高技术产业功能区电子信息产业园规划环境影响报告书》及其审查意见符合性分析规划环评及审查意见相关要求本项目情况1鼓励发展电子信息及其配套产业，如计算机制造、消费电子及新兴电子终端产品、光电显示、集成电路等电子产品制造，以及基础软件、嵌入式软件、行业应用和数字媒体产品、云计算、信息安全等软件和信息技术服务业等重点行业。现有不符合园区发展定位的2家仓储项目，除进行环保节能改造外，不得扩大规模。本项目属于电子专用材料制造，为园区主导产业，符合园区产业定位。2(1)不符合国家产业政策和行业准入条件的行业。(2)除中国电子信息产业集团有限公司第8.5代薄膜晶体管液晶显示器件(TFT-LCD)项目外，禁止引入其他水污染物排放量大的项目。本项目符合国家产业政策和行业准入条件；项目产生的废水经处理后可实现达标排放，不属于水污染物排放量大的项目。3与园区主导产业不相冲突，与园区产业布局规划不相禁忌的项目。本项目属于电子专用材料制造，为园区主导产业。4限定发展电子信息及其配套产业，如计算机制造、消费电子及新兴电子终端产品、光电显示、集成电路等电子产品制造，以及基础软件、嵌入式软件、行业应用和数字媒体产品、云计算、信息安全等软件和信息技术服务业等重点行业。本项目属于电子专用材料制造，为园区主导产业。综上所述，本项目的建设与《天府新区空港高技术产业功能区电子信息产业园规划环境影响报告书》及其审查意见相关要求相符。3与《四川省成都市天府新区产业发展规划》(2010-2030)符合性分析《四川省成都市天府新区产业发展规划》(2010-2030)中明确指出：依托……、双流经济开发区、……，有选择地发展战略性新兴产业，建设国家级万亿高技术产业基地，形成以电子信息产业为龙头，……等为主导的战略性新兴产业和高技术产业聚集区。本项目选址于天府新区空港高技术产业功能区电子信息产业园内，为电子专用材料制造，属于电子信息产业，符合四川省成都市天府新区产业发展规划。4与《成都制造2025规划纲要》符合性分析《成都制造2025规划纲要》中产业发展明确指出：……，突出发展电子信息……，重点发展电子信息、汽车、轨道交通、航空航天、石油化工产业，围-3--4-绕电子信息技术发展趋势，抓住国家实施“互联网+”行动计划、促进信息消费等机遇，突出发展集成电路、智能终端、网络通信、软件产业等重点领域，加快推进电子信息产品制造业、软件产业协同发展，促进云计算、物联网、大数据、移动互联网等向经济社会各领域渗透。到2025年建成国际知名电子信息产业基地、中国软件名城样板城市，成为信息消费先导城市。本项目为电子专用材料制造，属于电子信息产业，符合成都制造2025规划纲要。其他符合性分析1“三线一单”符合性分析1.1项目与四川省“三线一单”符合性分析根据《四川省人民政府关于落实生态保护红线、环境质量底线、资源利用号)，成都市总体准入要求如下表，本项目符合性分析如下表。表1-3四川省“三线一单”对成都市总体准入的要求市(洲)发展定位与目标区域突出生态环境问题总体准入要求成都市发展定位：建设全面体现新发展理念的国家中心城市、美丽宜居公园城市、可持续发展的世界城市。重点发展电子信息、医药健康、绿色智能天、轨道交通、智能制造、先进材料、绿色食品、都市现代农业、电子商务和军民融合等产业。河流水生态系统退化、城市灰霾、水资源紧缺、中心城区水环境压力较大对电子信息、装备制造、先进材料、食品饮料、生物医药等重点发展的产业提出最严格的资源环境绩效水平要求；结合“西控”、环城生态区、龙泉山城市森林公园相关规划，提出生态环境保护和生态恢复相关要求；优化产业结构，逐步清退排放强度大、GDP贡献小的产业(如制鞋等)；加大能源结构调整，禁止燃用高污染燃料、提高清洁能源占比；针对现有火电、水泥、平板玻璃等大气污染排放量大的企业执行最严格排放标准和总量控制；针对化工园区提出更严格的环境风险管控措施，研究制定绿色化工相应指标等要求；工企业单位GDP能耗对标国内先进水平及以上；工业园区污染内耗水耗指标满足省级生态工业园区或更高要求等。本项目正常运营不会对周围环境造成明显不利影响。项目使用的能源为电能为主，满足四川省人民政府《关于落实生态保护红线、环境质量底线、资源号)中对成都市总体准入要求。1.2项目与成都市“三线一单”符合性分析根据四川省生态环境厅办公室2021年12月27日发布的关于印发《产业园-5-区规划环评“三线一单”符合性分析技术要点(试行)》和《项目环评“三线一单”符合性分析技术要点(试行)》的通知(川环办函〔2021〕469号)并结合四川省生态环境厅“三线一单”符合性分析平台查询，本项目位于成都市双流区空港高技术产业园中的电子信息产业园，项目共涉及6个环境管控单元。查询情况见下图，涉及到的管控单元见表1-3。本项目所在地图1-2项目与环境综合管控单元的位置关系图表1-4本项目涉及的环境管控单元一览表-6-环境管控单元编码环境管控单元名称所属市(州)准入清单类型管控类型ZH51011620006四川双流经济开发区(含工业集中发展区第六期、电子信息产业园区、成都物联网产业园区)成都市环境管控单元环境综合管控单元工业重点管控单元YS5101162210044四川双流经济开发区(含工业集中发展区第六期、电子信息产业园区、成都物联网产业园区)成都市水环境管控分区水环境工业污染重点管控区YS5101162310014四川双流经济开发区(含工业集中发展区第六期、电子信息产业园区、成都物联网产业园区)成都市大气环境管控分区大气环境高排放重点管控区YS5101162550001双流区自然资源重点管控区成都市源管控分区自然资源重点管控区YS5101162540019双流区高污染燃料禁燃区(政策文件)成都市源管控分区高污染燃料禁燃区YS5101162420004双流区建设用地污染风险重点成都市土壤污染风险管控分区建设用地污染风险重点管控区本项目与上述环境管控单元符合性分析见下表：表1-5本项目与所涉及环境管控单元符合性分析一览表“三线一单”的具体要求项目情况符合性类别对应管控要求环境综合管控单元工业重点管控单元ZH51011620006四川双流经济开发区(含工业集中发展区第六期、电子信息产业园区、成都物联网产业园区)普适性清单管控要求空间布局约束禁止开发建设活动的要求(1)禁止引入不符合国家行业准入条件的项目以及列入产业结构指导目录禁止类和市场准入负面清单的项目。(2)禁止在长江干流及主要支流岸线1公里范围内新建石油化工、煤化工、涉磷、造纸、印染、制革等项目，现有上述项目可进行节能环保等升级改造，但必须满足区域减排与环境质量改善要求。(3)禁止在长江干支流1公里范围内新建、扩建化工园区和化工项目。(4)禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色等高污染项目。(5)禁止生产高VOCs含量有机溶剂型涂料、油墨和胶黏剂的新、扩建项目。(6)禁止新建、扩建使用燃煤设施的工业项目。(7)禁止在本市规划已确定的通风廊道区域内新建、改建、扩建排放大气污染物的工业项目。(8)绕城高速公路(G4202)以内禁止新建、扩建混凝土(砂浆)、沥青搅拌站。(9)绕城高速公路(G4202)以内区域，禁止新建大型物流基地、物流集散中心或者商品批发市场。限制开发建设活动的要求(1)严控列入产业结构指导目录限制类行业的项目。(2)控制水泥、平板玻璃、日用玻璃、涂料、铸造、砖瓦等行业产能。(3)严控列入国家产能过剩的项目，继续化解过剩产能，严禁钢铁、水泥、电解铝、平板玻璃等行业新增产能，对确有必要新建的必须实施等量或减量置换。不符合空间布局要求活动的退出要求(1)现有属于禁止引入产业门类的企业，原则上限制本项目属于电子专用材料制造，不属于禁止开发建设、限制开发建设活动；项目位于成都市双流区空港高技术产业园中的电子信息产业园，为园区主导产业。符合-7--8-发展，污染物排放只降不增，允许以提升安全、生态环境保护水平为目的的改建，引导企业结合产业升级等适时搬迁。(2)加快布局分散的企业向园区集中，鼓励现有工业项目、化工项目分别搬入工业集聚区、化工产业集聚(3)工业生产中可能产生恶臭气体但未按要求设置合理防护距离的排污单位，引导企业适时搬迁。 (4)建立发现一起，整治一起长效机制，实现“散乱污”经营主体动态清零。污染物排放管控现有源提标升级改造：1、污水收集处理率达100%;排放标准根据流域及其水质现状等提出相应标准；岷江、沱江流域现有及扩建工业园区污水处理厂执行 (DB51/2311-2016)；2、加快推进钢铁、平板玻璃、水泥等重点行业超低排放改造;加快推进涉挥发性有机物重点行业深度治理；3、推广低(无)VOCs含量原辅材料；VOCs含量的原辅料;进一步提高木质家具制造、包装印刷、医药化工等行业低VOCs原辅材料替代率；4、全面推进在用锅炉提标改造，按期执行《成都市锅炉大气污染物排放标准》(DB51/2672-2020)要求；新增源等量或倍量替代参照《关于加强重点行业建设项目区域削减措施监督管理的通知》(环办环评〔2020〕36号)执行。新增源排放标准限值严格执行废气、废水、噪声、固体废物等国家、行业和地方污染物排放标准。污染物排放绩效水平准入要求(1)电子信息行业、汽车制造行业应分别参考执行成本项目生活污水依托成都屏芯智能智造基地内预处理池处理，后经污水管网进入西南航空港组团工业集中发展区第六期工业污水处理厂处理达到《四川省岷江、沱江流域水污染物排放标准》(DB51/2311-2016)中城镇污水处理厂排放限值后排入锦江；项目抛光废水、浓盐水、清洗废水、喷淋废水经过一体化污水处理设施处理后通过污水管网排入西南航空港组团工业集中发展区第六期工业污水处理厂处理达到《四川省岷江、沱江流域水污染物排放标准》(DB51/2311-2016)中城镇污水处理厂排放限值后排入锦江；本项目镀膜废气产生量较小，镀膜工序在密闭空间内进行，产生的镀膜废气通过真空泵抽入喷淋室，处理之后进入活性炭吸附装置，最后尾气通过15m高排气筒排放。符合-9-都市电子信息行业资源环境绩效指标、汽车制造行业资源环境绩效指标。(2)工业固体废弃物利用处置率达100%，危险废物处置率达100%。(3)推进老旧燃气锅炉和成型生物质锅炉低氮燃烧改造或改电工作。(4)推进低(无)VOCs含量源头替代。聚焦工业和服务业、溶剂使用源等VOCs重点来源，出台源头替代实施方案，重点推广水性、高固含量、无溶剂、低VOCs含量型的涂料、胶粘剂和油墨产品的生产。推进低VOCs含量、低反应活性等环境友好型原辅材料和产品的替代。环境风险防控企业环境风险防控要求1、涉及有毒有害、易燃易爆物质新建、改扩建项目，严控准入要求。2、严格涉重金属(铅、汞、镉、铬、砷)企业和园区环境准入管理，新(改、扩)建涉重金属重点行业建设项目实施“等量替代”或“减量替代”。园区环境风险防控要求1、园区风险防控体系要求：构建三级环境风险防控体系，强化危化品泄漏应急处置措施，确保风险可控。2、针对化工园区建立有毒有害气体环境风险预警体系，建立区域、流域联动应急响应体系，实行联防联控。用地环境风险防控要求1、化工、电镀等行业企业拆除生产设施设备、构筑物和污染治理设施，要事先制定残留污染物清理和安全处置方案，要严格按照有关规定实施安全处理处置，防范拆除活动污染土壤。2、已污染地块，应当依法开展土壤环境污染状况调查、治理与修复，符合相关土壤环境质量要求后，方可进入用地程序。3、重有色金属冶炼行业、金属表面处理及热处理加工行业、皮革及其制品制造业、化学原料及化学制品制本项目不涉及有毒有害、易燃易爆物质，不涉重金属，涉及的环境风险物质为润滑油、甲烷、乙烷，厂区内储存量远低于临界量；在采取环评提出的风险防范措施后，其在营运期的环境风险可接受，并且其环境风险事故隐患可降至最低。符合-10-造业、铅酸蓄电池制造行业等应满足重点重金属排放行业污染治理相关要求，重金属重点行业清洁生产总体上达到国内先进水平，重金属重点排污企业达标排放率达100%。资源开发利用效率水资源利用效率要求1、到2022年，万元国内生产总值用水量、万元工业增加值用水量较2015年分别降低30%和28%。2、鼓励引导新建、改建、扩建工业园区按照有关要求统筹建设工业废水集中处理和回用设施，适时推进企业间串联用水、分质用水、一水多用，实现水循环梯级优化利用和废水集中处理回用，创建节水型工业园区。3、鼓励火力发电、纺织、造纸、化工、食品和发酵等高耗水企业对废水进行深度处理回用，降低单位产品耗水量。火电、有色、造纸、印染等高耗水行业项目具备使用再生水条件但未有效利用的，要严格控制新增取水许可。能源利用效率要求1、在禁燃区内，禁止销售、燃用高污染燃料，禁止新建、改建、扩建任何燃用高污染燃料的项目和设备，已建成使用高污染燃料的各类设备应当拆除或者改用管道天然气、页岩气、液化石油气、电或者其他清洁能源。2、工业企业单位GDP能耗对标国内先进水平及以上；工业园区污染能耗物耗水耗指标满足省级生态工业园区或更高要求等。3、电力、钢铁、纺织、造纸、石油石化、化工、食品发酵等高耗水行业达到先进定额标准。本项目用水量较小，本项目生活污水依托成都屏芯智能智造基地内预处理池处理，后经污水管网进入西南航空港组团工业集中发展区第六期工业污水处理厂处理达到《四川省岷江、沱江流域水污染物排放标准》(DB51/2311-2016)中城镇污水处理厂排放限值后排入锦江；项目抛光废水、浓盐水、清洗废水、喷淋废水经过一体化污水处理设施处理后通过污水管网排入西南航空港组团工业集中发展区第六期工业污水处理厂处理达到《四川省岷江、沱江流域水污染物排放标准》(DB51/2311-2016)中城镇污水处理厂排放限值后排入锦江；本项目不涉及高污染燃料使用。符合单元级清单管控要求空间布局约束禁止开发建设活动的要求1、禁止引入多晶硅制造(采用多晶硅材料生产下游产品除外)；2、其余执行工业重点管控单元普适性管控要求限制开发建设活动的要求执行工业重点管控单元普适性管控要求本项目为电子专用材料制造，并且满足工业重点管控单元普适性清单管控要求符合-11-允许开发建设活动的要求不符合空间布局要求活动的退出要求执行工业重点管控单元普适性管控要求其他空间布局约束要求污染物排放管控现有源提标升级改造执行工业重点管控单元普适性管控要求。新增源等量或倍量替代执行工业重点管控单元普适性管控要求。新增源排放标准限值执行工业重点管控单元普适性管控要求。污染物排放绩效水平准入要求执行工业重点管控单元普适性管控要求。其他污染物排放管控要求符合环境风险防控严格管控类农用地管控要求执行工业重点管控单元普适性管控要求。安全利用类农用地管控要求执行工业重点管控单元普适性管控要求。污染地块管控要求执行工业重点管控单元普适性管控要求。园区环境风险防控要求执行工业重点管控单元普适性管控要求。企业环境风险防控要求执行工业重点管控单元普适性管控要求。其他环境风险防控要求符合资源开发效率要求水资源利用效率要求执行工业重点管控单元普适性管控要求。地下水开采要求能源利用效率要求执行工业重点管控单元普适性管控要求。其他资源利用效率要求符合水环境工业污染重点管控区YS5101162210044四川双流经济开发区(含工业集中发展区第六期、电子信息产业园区、成都物普适性清单管控要求空间布局约束工业重点管控单元普适性清单管控要求，同上本项目满足工业重点管控单元普适性清单管控要求符合污染物排放管控工业重点管控单元普适性清单管控要求，同上-12-联网产业园区)环境风险防控工业重点管控单元普适性清单管控要求，同上资源开发利用效率工业重点管控单元普适性清单管控要求，同上单元级清单管控要求空间布局约束禁止开发建设活动的要求限制开发建设活动的要求允许开发建设活动的要求不符合空间布局要求活动的退出要求其他空间布局约束要求本项目满足工业重点管控单元普适性清单管控要求符合污染物排放管控城镇污水污染控制措施要求工业废水污染控制措施要求深入实施工业企业污水处理设施升级改造，全面实现工业废水达标排放；强化工业集聚区污水治理，推进工业污水集中处理设施及配套收集系统建设与提标升级改造，推进工业园区“零直排区”建设。加强23个省级以上工业园区集中污水处理设施运行监管，对66个市级产业功能区污水收集、处理设施存在问题开展整治。农业面源水污染控制措施要求船舶港口水污染控制措施要求饮用水水源和其它特殊水体保护要求本项目生活污水依托成都屏芯智能智造基地内预处理池处理，后经污水管网进入西南航空港组团工业集中发展区第六期工业污水处理厂处理达到《四川省岷江、沱江流域水污染物排放标准》(DB51/2311-2016)中城镇污水处理厂排放限值后排入锦江；项目抛光废水、浓盐水、清洗废水、喷淋废水经过一体化污水处理设施处理后通过污水管网排入西南航空港组团工业集中发展区第六期工业污水处理厂处理达到《四川省岷江、沱江流域水污染物排放标准》(DB51/2311-2016)中城镇污水处理厂排放限值后排入锦江。符合环境风险防控坚持预防为主，构建以企业为主体的环境风险防控体系，优化产业布局，加强协调联动，提升应急救援能力；严格环境风险源头防控，加强环境风险评估，开展沿江石化、化工、医药、纺织、印染、化纤、危化品和石油类仓储、涉重金属和危险废物等重点企业环境风险评估；强化工业、企业集中分布区环境风险管控，加快建设规范的工业园区，实施技术、工艺、设项目不涉及有毒有害、易燃易爆物质，不涉重金属，涉及的环境风险物质为润滑油，厂区内储存量远低于临界量符合-13-备等生态化、循环化改造，并按要求设置生态隔离带，建设相应的防护工程。大气环境高排放重点管控区YS5101162310014四川双流经济开发区(含工业集中发展区第六期、电子信息产业园区、成都物联网产业园区)普适性清单管控要求空间布局约束工业重点管控单元普适性清单管控要求，同上本项目满足工业重点管控单元普适性清单管控要求符合污染物排放管控工业重点管控单元普适性清单管控要求，同上环境风险防控工业重点管控单元普适性清单管控要求，同上资源开发利用效率工业重点管控单元普适性清单管控要求，同上单元级清单管控要求空间布局约束禁止开发建设活动的要求限制开发建设活动的要求允许开发建设活动的要求不符合空间布局要求活动的退出要求其他空间布局约束要求本项目满足工业重点管控单元普适性清单管控要求符合污染物排放管控大气环境质量执行标准《环境空气质量标准》(GB3095-2012)：二级区域大气污染物削减/替代要求新建涉大气污染物排放的工业项目实行2倍削减量替代。燃煤和其他能源大气污染控制要求工业废气污染控制要求加快产业结构调整，实现产业绿色和低碳发展。一是加速落后过剩产能淘汰和退出，严格控制高污染、高耗能项目准入条件，如钢铁、水泥、平板玻璃、砖瓦等；二是推动传统行业生产方式绿色转型和升级改造，打造汽车、家具行业的绿色产业链化，家具、包装印刷、医药制造、砖瓦等产业集群进行升级改造和综合整治，严禁火电、钢铁、水泥、平板玻璃、砖瓦等传统行业的产能新增；三是通过打造特色产业集群和产业园，深化涉VOCs工业园区和集群整治行动，推动产业集群和产业园建设，提高产业链价值。四是重点区域实行更加严格的产业准入、环保标准、环境监管，执行大气污染物特别排放限值。五是通过绿色绩效考本项目生活污水依托成都屏芯智能智造基地内预处理池处理，后经污水管网进入西南航空港组团工业集中发展区第六期工业污水处理厂处理达到《四川省岷江、沱江流域水污染物排放标准》(DB51/2311-2016)中城镇污水处理厂排放限值后排入锦江；项目抛光废水、浓盐水、清洗废水、喷淋废水经过一体化污水处理设施处理后通过污水管网排入西南航空港组团工业集中发展区第六期工业污水处理厂处理达到《四川省岷江、沱江流域水污染物排放标准》(DB51/2311-2016)中城镇污水处理厂排放限值后排入锦江；本项目镀膜废气产生量较小，符合-14-核、重污染天气“一厂一策”等实行重点行业差异化分级分类精准管控，促进行业整体提效升级。机动车船大气污染控制要求扬尘污染控制要求完善扬尘污染防治管理办法和各类扬尘污染控制标准，明确治理目标、治理措施、责任主体和考核膜式，落实扬尘治理和监管责任。积极推行绿色施工，强化建筑、市政交通、拆迁(除)、绿化“四大工地”扬尘控制，严格落实建设工地“六必须、六不准”和《成都市建设工程文明施工标准化建设技术标准》要求。提高道路清扫机械化和精细化作业水平，增加清扫频次，落实道路分级清扫保洁要求，建成区道路实施机械化湿式清扫。农业生产经营活动大气污染控制要求重点行业企业专项治理要求其他大气污染物排放管控要求镀膜工序在密闭空间内进行，产生的镀膜废气通过真空泵抽入喷淋室，处理之后进入活性炭吸附装置，最后尾气通过15m高排气筒排放。自然资源管控分区YS5101162550001双流区自然资源重点管控区普适性清单管控要求空间布局约束工业重点管控单元普适性清单管控要求，同上本项目满足工业重点管控单元普适性清单管控要求符合污染物排放管控工业重点管控单元普适性清单管控要求，同上环境风险防控工业重点管控单元普适性清单管控要求，同上资源开发利用效率工业重点管控单元普适性清单管控要求，同上单元级清单管控要求空间约束布局合理开发高效利用水资源，建设节水型社会；优化土地利用布局与结构；优化产业空间布局，构建清洁能源体系本项目满足工业重点管控单元普适性清单管控要求符合资源开发效率要求土地资源开发效率要求能源资源开发效率要求其他资源开发效率要求自然资源管控分区YS5101162540019双流区高污染燃料禁燃区(政策文件)普适性清单管控要求空间布局约束工业重点管控单元普适性清单管控要求，同上本项目满足工业重点管控单元普适性清单管控要求符合污染物排放管控工业重点管控单元普适性清单管控要求，同上-15-环境风险防控工业重点管控单元普适性清单管控要求，同上资源开发利用效率工业重点管控单元普适性清单管控要求，同上单元级清单管控要求资源开发效率要求土地资源开发效率要求能源资源开发效率要求能源消耗、污染物排放不得超过能源利用上线控制性指标其他资源开发效率要求本项目满足工业重点管控单元普适性清单管控要求符合土壤污染风险管控分区YS5101162420004双流区建设用地污染风险重点管控区1普适性清单管控要求空间布局约束工业重点管控单元普适性清单管控要求，同上本项目满足工业重点管控单元普适性清单管控要求符合污染物排放管控工业重点管控单元普适性清单管控要求，同上环境风险防控工业重点管控单元普适性清单管控要求，同上资源开发利用效率工业重点管控单元普适性清单管控要求，同上单元级清单管控要求空间布局约束禁止开发建设活动的要求限制开发建设活动的要求允许开发建设活动的要求不符合空间布局要求活动的退出要求其他空间布局约束要求-16-其他符合性分析2产业政策符合性本项目属于电子专用材料制造(C3985)，项目运营过程中原料、规模、工艺、设备和产品均不属于《产业结构调整指导目录(2021修订本)》中鼓励类、限制类及淘汰类，根据《促进产业结构调整暂行规定》(国发[2005]40号)，本项目的建设属允许类。同时，本项目已在四川省投资项目在线审批监管平台进行了备案，备案号为：川投资备【2112-510122-04-01-533881】FGQB-0743号。综上，本项目符合国家现行产业政策。3与相关环境保护政策符合性分析表1-6与水污染防治相关规划符合性文件名称与本项目有关的规划要求本项目情况符合性国务院关于印发水污染防治行动计划的通知“国发[2015]17号”小”企业。全面排查装备水平低、环保设施差的小型工业企业。2016年底前，按照水污染防治法律法规要求，全部取缔不符合国家产业政策的小型造纸、制革、印染、染料、炼焦、炼硫、炼砷、炼油、电镀、农药等严重污染水环境的生产项。本项目属于电子专用材料制造(C3985)，企业现有装备及拟建设项目均不属于“十小”企业，不属于取缔项目。项目所在区域不属于缺水地区、水污染严重地区和敏感区清洗废水、喷淋废水经过一体化污水处理设施处理后排入园区污水处理厂，生活污水依托成都屏芯智能智造基地内预处理池，经处理后排入园区污水处理厂。本项目所产生的废水经过治理后能做到达标排放。符合(六)优化空间布局。合理确定发展布局、结构和规模。充分考虑水资源、水环境承载能力，以水定城、重大项目原则上布局在优化开发区和重点开发区，并符合城乡规格控制缺水地区、水污染严重地区和敏感区域高耗水、高污染行业发展，新建、改建、扩建重点行业建设项目实行主要污染物排放减量置换。七大重点流域干流沿岸，要严格控制石油加工、化学原料和化学制品制造、医药制造、化学纤维制造、有色金属冶炼、纺织印染等项目环境风险，合理布局生产装置及危险化学品仓储等设施。《“十四五”重点流域水环境综合治理规划第四章推进试点流域截污控源。系统开展截污整治，严控城镇、工业、农业等废水直排。加快补齐城镇生活污水和垃圾处理设施短板弱项，在有条件的地方推进雨污分流。完善工业园区污水集中处理设施，推动工业污染全面达标排放。加强农业面源污染治理，防治畜禽养殖污-17-染。推进污染较重河流和城乡黑臭水体综合治理，加强入河排污口整四川省打赢碧水保卫战实施方案(三)减少工业废水排放量。减少重点行业工业企业废水排放量。指导钢铁、印染、造纸、石油化工、化工、制革等高耗水企业废水深度处理回收利用。《成都市水污染防治工作方案》(成府函〔2016〕22号)市经信委和市环保局联合制定造纸、氮肥、有色金属、印染、农副食品加工、原料药制造、制革、农药、电镀和磷化工等行业专项治理方案并组织实施；新建、改建、扩建上述行业建设项目，主要污染物氨氮、总磷、化学需氧等排放实行等量或减量置换。市环保局组织督”、“双有'企业和涉氮、涉磷等特征污染物排放企业开展强制性清洁生产审核并实施清洁生产达标行动；市经信委组织企业开展自愿性清洁生产审核并实施清洁化纸浆无元素氯漂白改造或采取其他低污染制浆技术，氮肥行业尿素生产完成I艺冷凝液水解解析技术改造,印染行业实施低排水染整I艺改造，制药(抗生素、维生素)行业实施绿色酶法生产技术改造，制革行业实施铬减量化和封闭循环利用技术改造。综上，本项目选址于成都市双流区空港高技术产业园中的电子信息产业园，项目建设符合现行的国家、省、市环境保护政策中的相关规定和要求。4与审批承诺制相关文件符合性分析根据成都市生态环境局关于印发《成都市建设项目环境影响评价文件审批承诺制正面清单(2021年版)》的通知(成环发[2021]36号)，“正面清单内的建设项目按照《成都市生态环境局关于授权区(市)县生态环境局承担部分建设项目环境影响评价文件审批具体工作的通知》(成环发[2021]34号)权限执行，且建设项目所在产业功能区或工业园区应具有规划环评。审批程序、流程、标准、技术复核参照《成都市建设项目环境影响评价文件审批承诺制改革试点的通知》(成环发[2018]449号)文件精神执行。”本项目为电子专用材料制造，属于成都市生态环境局关于印发《成都市建设项目环境影响评价文件审批承诺制正面清单(2021年版)》的通知(成环发[2021]36号)中附件1“二、产业功能区内应编制环境影响报告表的承诺制项目正面清单”中-18-的第27项“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业39”中的“电子元件及电子专用材料制造398中电子专用材料制造(电子化工材料制造除外)”。且项目位于成都市双流区空港高技术产业园中的电子信息产业园内，园区己完成规划环评。此外，项目不属于关系国家安全、涉及重大公共利益的项目。故本项目可实行环境影响评价文件审批承诺制。表1-7项目审批承诺制符合性分析类别具体要求本项目情况符合性实施范围市域行政区内已完成规划环评或跟踪环评的自贸区、产业园区。项目位于成都市双流区空港高技术产业园中的电子信息产业园内，已完成规划环评：成环建评〔2016〕37号符合实施对象自贸区内按照《建设项目环境影响评价分类管理名录》规定应当编制环境影响报告表的所有项目；本项目为产业园内按照《建设项目环境影响评价分类管理名录》的规定应当编制环境影响报告表的项目；且本项目属于《产业功能区内应编制环境影响报告表的承诺制项目正面清单》中的第27项“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业39”中的“电子元件及电子专用材料制造398中电子专用材料制造 (电子化工材料制造除外)”符合产业园区内按照《建设项目环境影响评价分类管理名录》规定应当编制环境影响报告表的部分项目。实施条件建设单位完成工商注册；项目建设单位已完成工商注册(统一社会信用代码：91510116MA7J6NTP1D)符合项目完成经济部门的审批或备案；已完成备案，备案号：川投资备【2112-510122-04-01-533881】FGQB-0743号项目地块位于自贸区、产业园区内；位于成都市双流区空港高技术产业园中的电子信息产业园内自贸区和产业园区已完成规划环评或跟踪环评；已完成规划环评：《成都市环境保护局关于天府新区空港高技术产业功能区电子信息产业园规划环境影响报告书审查意见的函》(成环建评〔2016〕37号)项目的环境影响评价审批权限属于市级及县级环保行政主管部门；项目的环境影响评价审批权限属于成都市生态环境局不涉及未批先建；本项目为新建项目，现场勘踏时未进行建设，不涉及未批先建不包括关系国家安全、涉及重大公共利益的项目。项目不包括关系国家安全、涉及重大公共利益的项目综上，本项目建设与成都市双流区空港高技术产业园中的电子信息产业园产业定位和规划要求相符，符合执行建设项目环境影响报告表审批承诺制的实施条件。5用地性质符合性分析本项目位于成都市双流区空港高技术产业园中的电子信息产业园内成都屏芯智能智造基地，根据都屏芯智能智造基地建设用地规划许可证可知，本项目占地为工-19-业用地，用地符合园区规划。因此，本项目用地符合相关要求。6项目外环境关系及相容性本项目位于成都市双流区空港高技术产业园中的电子信息产业园内成都屏芯智能智造基地，外环境关系如下：北侧：紧邻基地内空置厂房，约108m处为青栏路，约200m处为水沟；约333m处为成都中电熊猫显示科技有限公司；西侧：紧邻基地内空置厂房，约130m处为四川奥希特电子材料有限公司，约290m处为成都熊猫电子科技有限公司；西南侧：约430m处为成都冠石科技有限公司；南侧：约45m处为成都虹宁显示玻璃有限公司；约260m处为成都市世正科技有限公司东侧：紧邻新双黄路，约108m处为成都国铁电气设备有限公司。综上，项目评价区内主要为规划工业用地为主，无风景名胜区、自然保护区、文物古迹等需要特殊保护的环境保护目标。项目外环境关系详见下表。表1-8项目外环境关系一览表名称方位性质备注与本项目相容性1青栏路北侧道路//2长冲沟北侧200灌溉//3成都中电熊猫显示科技有限公司北侧333企业薄膜晶体管液晶显示(TFT-LCD)面板和膜组、液晶显示器制造相容4基地内空置厂房西侧紧邻空置厂房//5四川奥希特电子材料有限公司西侧企业电子器件生产、研发、销售相容6成都熊猫电子科技有限公司西侧290企业电子元器件生产、研发、销售相容7成都冠石科技有限公司西南侧430企业液晶显示器膜组及配套产品、电子产品的研发、生产相容8成都虹宁显示玻璃有限公司南侧45企业液晶显示玻璃基板的生产和销售相容9成都市世正科技有限公司南侧260企业半导体生产设备、液晶面板生产设备等电子生产与研发相容双黄路东侧紧邻道路//成都国铁电气设备有限公司东侧企业开发、生产、销售铁路电气设备及配件不冲突根据项目周边外环境关系可知，项目周边外环境关系较简单，主要为园区内的企业。项目生产过程中主要污染物为废水、噪声、固废等。根据环境影响分析可知，-20-在严格按照环评报告提出的污染防治措施，做好生产管理，并确保噪声、废气和固废等污染物实现达标排放和妥善处置的情况下，本项目运营后将不会对外环境造成明显影响，同时本项目建设对外环境无特殊要求，本项目与周边外环境兼容，项目选址较为合理。-21-二、建设项目工程分析建设内容1项目名称、建设情况(1)项目名称：高端掩膜版及工艺设备研发生产；(2)项目性质：新建；(3)建设单位：成都中科卓尔芯屏智能科技有限公司；(4)建设地点：成都市双流区空港高技术产业园中的电子信息产业园；(5)占地面积：8000m2；(6)投资金额：12000万元；(7)劳动定员：50人；(8)工作制度：1班制，每班工作8小时(清洗工序每天3小时)，不设置食宿。年工作日为260天。2主要建设内容及规模本项目重点建设光刻石英掩模版基板实验与中试产线，重点完成350mm×300mm空白掩模版基板自动化生产线，并开展掩模版回收、检测、修复、清洗等服务及自研精密装备的研发生产，以及进行大尺寸空白掩膜版基板(800mm×920mm)的量产工艺试验。掩膜版基板为空白光学掩膜版的前端原料，掩膜版基板实验为掩膜版性能测试。掩膜版回收是指：将供货商已经退膜后的掩膜版基板重新进行抛光和清洗，所用设备、原辅料与掩膜版基板生产线一致。项目租用成都市双流区空港高技术产业园中的电子信息产业园内成都屏芯智能智造基地的空置厂房1F和4F，总占地面积为8000m2。厂房内部分区域改造成超净室，并设置粗抛区、精抛区、修瑕抛光区、清洗区、检验区、镀膜区、设备装配区、镀膜设备研发区等，拟安装抛光设备、超声波清洗机、纯水制造机、镀膜机、空压机等生产设施，建成后达到年产3000片掩膜版基板(350mm×300mm)的生产规模。2.1项目主要组成及环境问题项目主要工程内容及规模见下表：表2-1项目组成及主要环境问题一览表名称建设内容及规模可能产生的环境备注施工期运营期主体工程生产车间项目租赁成都屏芯智能智造基地3号楼3单元和4单元的1F和3号楼3单元4F。主要生产车间位于1F，4F为办公区和展示区。生产车间建筑面积5000m2，厂房内部涉及产品生产工序的分区情况如下：水、噪声、固水、噪新建-22-①粗抛区、精抛区：位于车间北侧，主要功能为400m2，主要设备为32B双面抛光机和16B双面抛光机；②修瑕抛光区：位于车间北侧，面积约200m2，主要功能为对掩膜版基板进行修瑕抛光，主要设备为修瑕抛光机；③清洗区：位于车间中部，主要功能为对完成抛光的掩膜版基板进行清洗，面积约230m2，主要设备为超声波清洗机；④检验区：位于车间西侧，面积约160m2，主要功能为对掩膜版基板进行检验，主要设备为干涉仪、表面缺陷检测仪；⑤镀膜区：位于车间南侧，为实验区，主要测试掩膜版基板镀膜性能，面积约130m2，主要设备为光驰镀膜机和ALD镀膜机。流失等公用工程供电由园区电网供应/依托供水由园区供水管网供应依托排水项目抛光废水、浓盐水、清洗废水、喷淋废水经过一体化污水处理设施处理后排入园区污水处理厂，生活污水依托成都屏芯智能智造基地内预处理池，经处理后排入园区污水处理厂/预处理池依托，一体化污水处理设施新建辅助工程纯水设备区位于车间南部，用于制备纯水，供给抛光液配置和掩膜版清洗用水等，主要设备为纯水制造机。声新建镀膜冷却塔位于车间南部，用于镀膜设备冷却，主要设备为镀膜机。声新建设备装配区位于车间西侧，用于生产设备、研究设备的装配。/新建镀膜设备研发区位于车间南侧，根据镀膜的测试性能研究和调试镀膜设备。/新建仓储工程原料库房位于生产车间东侧，约200m2，用于存放生产膜具、掩膜版。/新建抛光液库房位于生产车间东侧，约90m2，用于抛光液配置与存放。废水新建成品库房位于镀膜区旁边，合计约135m2，用于成品堆放暂存。/新建办公及生活设施办公区办公区(包括展示区)位于4F，约3000m2。生活垃圾、生活污水新建环保工程废气治理镀膜废气：产生的镀膜废气通过真空泵抽入加热器(加热器采用电加热，通过高温将甲烷和乙烷氧化成二氧化碳)，加热后的废气进入喷淋室处理颗粒物，处理之后尾气由15m高排气筒排放。废气新建废水治理生产废水：抛光废水、浓盐水、清洗废水、喷淋废水经一体化污水处理设施处理后排入园区污水处理厂；生活污水：生活污水依托成都屏芯智能智造基地内预处理池，经处理后排入园区污水处理厂。废水预处理池依托，一体化污水处理-23-设施新建噪声治理选用低噪声设备，合理布局，对设备基础减震、厂房隔声、距离衰减声新建地下水项目将危废暂存间、镀膜区设置为重点防渗区，采取“防渗混凝土+环氧树脂防腐涂料防渗层的防渗措施(渗透系数≤1.0×10-10cm/s)；车间生产区域除重点防渗区以外的为一般防渗区，防渗技术要求为等效粘土防渗层Mb≥1.5m，渗透系数≤1.0×10-7cm/s；通道、办公区等作一般地面硬化。/新建生活垃圾厂房内设置垃圾桶，生活垃圾集中收集后由环卫部门统一处理。生活垃圾新建一般在原料库房内设置1处一般固废暂存间，占地面积10m2，用于生活垃圾、碎玻璃、废包装材料、废滤材滤膜等收集暂存。一般固废新建危险废物在原料库房内新建1间5m2危废暂存间。危险废物新建环境风险厂区配置灭火器材、劳保用品、应急处置设备、物品等环境风险物资。/新建3产品方案本项目产品方案如下：表2-2掩膜版基板中试产线产品方案一览表产品名称生产规模单位型号规格产品标准备注1掩膜版基板3000a300mm×350mm/掩膜版基板为本项目的成品，通过进一步加工可以制作成空白掩膜版表2-3大尺寸掩膜版量产工艺试验产品方案一览表产品名称生产规模单位型号规格产品标准备注1大尺寸掩膜版基板a800mm×920mm/该试验生产线依托掩膜版基板中试产线表2-4掩膜版回收生产线产品方案一览表产品名称生产规模单位型号规格产品标准备注1掩膜版基板修复品300a520mm×800mm/对供货商已经退膜后的掩膜版基板进行抛光修复，该生产线依托掩膜版基板中试产线表2-5掩膜版基板实验产品方案一览表产品名称生产规模单位型号规格产品标准备注1掩膜版半成品300a300mm×350mm/为掩膜版基板镀膜性能测试的实验品，镀膜成功的外售给其他-24-厂家，不合格品作为一般固废。图2-1掩膜版基板示意图4原辅材料、能耗和主要设备4.1原辅材料及能耗项目主要原辅材料及能源消耗详见下表：表2-6项目主要原辅材料及能源消耗一览表名称主要成分/形态单位年用量最大储存量储存地点及方式用途/备注基板玻璃二氧化硅片(300mm×350mm)3000原料库房/货架/大尺寸基板玻璃二氧化硅片(800mm×920mm)50原料库房/货架/掩膜版基板回收品二氧化硅片(520mm×800mm)300原料库房/货架已退膜的掩膜版基板氧化铈高纯氧化铈/固态粉末状Kg28020抛光液库房/袋装作为抛光液成分二氧化硅水溶液二氧化硅Kg90抛光液库房/瓶装絮凝剂Kg5原料库房一体化污水处理设施三甲基铝液态/高纯Kg31设备源柜/钢瓶镀膜辅料二乙基液态/高纯Kg3.61设备源柜/钢瓶-25-锌氮气气态m36气体存放间/钢瓶镀膜时用作保护气体氩气气态m333气体存放间/钢瓶润滑油矿物油t0.050.02原料库房设备润滑电/253//园区电网/tt/a15000//园区供水表2-7主要原辅材料理化性质序号物料名称理化性质爆炸燃烧性健康危害1氧化铈本项目所使用的氧化铈为高纯氧化铈，根据建设单位提供的成分报告，氧化铈含量在99.9%以上，此外还含有极少量的三氧化二铁、二氧化硅、氧化钙、氯离子。氧化铈是一种无机物，化学式为CeO2，为白色重质粉末或立方体结晶，几乎不溶于水和酸。相对密度7.3。熔点19不燃有毒，半数致死量(大鼠，经口)约1g/kg。2二氧化硅水溶液本项目所使用的二氧化硅水溶液成分为50%二氧化硅和50%纯水。二氧化硅是一种无机物，化学式为SiO2，化学性质比较稳定。晶态二氧化硅的熔点1723℃，沸点2230℃，不溶于水。除氟气和氢氟酸外，二氧化硅跟卤素、卤化氢和无机酸均不反应，但能溶于热的浓碱、熔融的强碱或碳酸钠中。不燃无毒3M聚丙烯酰胺(PAM)是一种线状的有机高分子聚合物，同时也是一种高分子水处理絮凝剂产品，可以吸附水中的悬浮颗粒，在颗粒之间起链接架桥作用，使细颗粒形成比较大的絮团，并且加快了沉淀的速度。这一过程称之为絮凝，因其中良好的絮凝效果PAM作为水处理的絮凝剂并且被广泛用于污水处理。分子式(C3H5NO)n，分子量71.07。不燃/4聚合氯化铝(PAC)是一种无机物，一种新兴净水材料、无机高分子混凝剂，简称聚铝。它是介于AlCl3和Al(OH)3之间的一种水溶性无机高分子聚合物，化学通式为[Al2(OH)nCl6-n]m，其中m代表聚合程度，n表示PAC产品的中性程度。颜色呈黄色或淡黄色、深褐色、深灰色树脂状固体。该产品有较强的架桥吸附性能，在水解过程中，伴随发生凝聚，吸附和沉淀等物理化学过程。聚合氯化铝的结构由形态多变的多元羧基络合物组成，絮凝沉淀速度快，适用pH值范围宽，对管道设备无腐蚀性，净水效果明显，能有效支除水中色质SS、COD、BOD及砷、汞等重金属离子，该产品广泛用于饮用水、工业用水和污水处理领域。不燃/5三甲基铝本项目所使用的是纯三甲基铝。三甲基易燃烧、易爆-26-铝是一种有机化合物，分子式C3H9Al。溶于乙醚、饱和烃类等有机溶剂。在苯中为二聚体，甚至在气相中也有部分二聚体。三甲基铝在空气中燃烧。遇水爆炸，生成氢氧化铝与甲烷。熔点：15.28甲基铝在常温常压下为无色透明液体。反应性极强。空气中自燃，瞬间就能着火。与具有活性氢的酒精类、酸类激烈反应。与水反应激烈，即使在冷水中也能产生爆炸性分解反应，并生成甲烷，有时还能发火。在300℃时缓慢分解产生甲烷。炸坏和烧伤。在空气铝烟雾。这种烟雾能刺激和腐蚀眼、膜。人吸入后，气管和肺受损伤，严肿。它附在皮肤上能破坏组织，不及重烧伤。6二乙基锌本项目使用的是纯二乙基锌。二乙基锌是一种有机化合物，化学式为C4H10Zn，常温常压下为无色透明液体，在空气中自燃，与水剧烈反应，溶于大多数有机溶剂。密度：1.205g/cm3，熔点：-28℃，沸点：98℃，折射率：1.498(20℃)在潮湿空气中能自燃。加热时可能发生爆摄入、吸入或经皮有害。对眼睛、皮肤、粘膜有强烈刺激作用。吸入可引肿，化学性肺炎、肺水肿。7氮气氮气，化学式为N2，为无色无味气体。氮气化学性质很不活泼，在高温高压及催化剂条件下才能和氢气反应生成氨气。不燃过高，使吸入气氧分压下降，引起缺氧窒息。8氩气氩气是一种无色、无味的单原子气体，相对原子质量为39.948。一般由空气液化后，用分馏法制取氩气。氩气的密度是空气的1.4倍，是氦气的10倍。氩气是一种惰性气体，在常温下与其他物质均不起化学反应，在高温下也不溶于液态金属中，在焊接有色金属时更能显示其优越性。不燃常压下无毒。高浓度时，使氧分压降低而发生窒息。氩浓度达50%以上，引起严重症状；75%以上时，可在数分钟内死亡。9润滑油油状液体，淡黄色至褐色，无气味或略带异味。不溶于水，遇明火和高热可燃。可燃急性吸入，可出现恶心，严重者可引起油脂性肺炎。4.2主要生产设备项目营运期主要生产设备如下表：表2-8项目主要设备一览表序号设备名称型号规格数量(单位：台)主要使用工序132B双面抛光设备定制6粗抛、精抛216B双面抛光设备定制203应力检测仪定制1预检4超声波清洗机定制5清洗5修瑕抛光机定制3修瑕抛光6超净工作台定制4包装7干涉仪定制1检验8表面缺陷检测仪定制19光驰镀膜机定制1镀膜ALD镀膜机定制4光谱仪定制1镀膜检验纯水制造设备定制1纯水制备空气压缩设备定制1干燥镀膜冷却塔定制1镀膜设备冷却一体化污水处理设施定制1/5水平衡5.1给水本项目用水由园区自来水管网供给，运营期生产用水主要为生活用水、纯水制备、抛光用水、清洗用水、废气喷淋用水、设备冷却用水、空调加湿用水、空调水系统补水，本项目超净空间不需要地面清扫，非超净空间区域地面采用干式清扫不涉及地面清洁用水。(1)生活用水本项目员工50人，不提供住宿，不设置食堂。参照《四川省用水定额》(2021)，Ld3m3/d，780m3/a。(2)抛光用水本项目在粗抛、精抛和修瑕抛光工序需要使用到抛光液，在指定的抛光液库房进行配置。1#抛光液由纯水和氧化铈按8:1比例配置而成，2#抛光液由纯水和二氧化硅按8:1比例配置而成。32B双面抛光机(6台)每台每次需要150kg抛光液，16B双面抛光机(20台)每台每次需要50kg抛光液，修瑕抛光机(3台)每台每次需要30kg抛光液。抛光液每3天更换一次，则计算出每次配抛光液所需要的纯水量为1.76m3，则(3)清洗用水本项目采用逆流漂洗同时加入超声波，根据建设单位提供资料，项目采用超纯水进行清洗，所使用的清洗机水流量为4m3/h，清洗工序每天工作3h，则每天用水量为12m3/d(3120m3/a)。(4)空调加湿用水超净室需维持一定的温度和湿度，根据建设单位提供的资料，空调加湿系统(只在冬季使用)每天补水量为0.6m3/d。(5)循环冷却用水镀膜机运行过程中需采用冷却水进行间接冷却，冷却循环水系统自带25m3储水容器，冷却水为纯水，循环使用，不外排，定期补充新鲜水，补充量按每天1%计，则每天需补充的水量为0.25m3/d(65m3/a)。-27--28-(6)纯水制备用水初纯水制备系统制备的纯水用于超纯水制备、空调加湿、循环冷却用水，超纯水制备系统制备的纯水用于抛光液配置和清洗用水。超纯水用水量为12.6m3/d，超纯水制备系统出水率按70%计，则超纯水制备系统产生的浓盐水量为5.40m3/d。初纯水用水量为18.85m3/d，初纯水制备系统出水率按75%计，则初纯水制备系统产生的浓盐水量(7)空调水系统补水根据建设单位提供的资料，空调水系统日补水量平均为1.3m3/d。(8)废气喷淋用水喷淋室自带2m3循环水箱，每天补水量按1%计，则日补水量为0.02m3/d。喷淋水每半年更换一次，更换的喷淋废水进入一体化污水处理设施。5.2排水本项目抛光废水、纯水制备产生的浓盐水、清洗废水、喷淋废水经废水处理系统处理后排入园区污水处理厂，生活污水依托基地预处理池处理后排入园区污水处理厂。生活污水最大排放量以生活用水量的85%计，最高排放量为2.55m3/d(663m3/a)。项目水平衡情况见下图。图2-2建设项目水平衡图(m3/d)6项目总平面布置-29-厂房出入口，均位于厂房西侧，与基地内道路相邻。厂房内从北至南依次布置粗抛区、精抛区、修瑕抛光区、清洗区、镀膜区等区域，并在各工序配备相应的设备，项目在设备和功能区布局时均按照项目生产工艺流程进行布局，且尽量减少物料的二次搬运，能够做到工艺流畅，节约成本和时间，车间布局较合理。厂内生产设备布置根据物料流程进行布置，各区域之间根据企业厂区通道宽度要求，留有足够的安全距离；项目产噪设备位于厂房内，经过合理布局、采取降噪消声措施后可实现达标排放，对周边环境影响较小，可接受。本项目废气排气筒位于厂区东侧，不处于区域主导风向上风向。同时，项目通过采取上述严格的防范措施和优化平面布局后可以将其影响减至最小，因此，评价认为项目在严格落实各项污染防治措施后，本项目外排废气对周边大气环境的影响较小，排气筒位置布置合理。综上所述，项目总平面布置从环保角度是合理的。工艺流程和产排污环节1施工期工艺流程及产污环节1.1施工期工艺流程本项目施工期主要为生产车间改造、装饰工程、设备安装等，施工期间产生的污染物主要有噪声、扬尘、固体废弃物、废水等，其排放量随工序和施工强度不同而变化。施工期的工艺流程和产污位置详见下图。图2-3施工期工艺流程及产污环节图1.2施工期主要污染工序本项目在已建生产厂房新增设备安装后进行生产，由于设备安装均位于厂房内进行，经厂房隔声等对周边环境的影响较小，因此，本次评价对施工期进行简单分析。1.2.1大气污染物-30-本项目施工期废气主要为施工扬尘和运输车辆尾气。(1)扬尘本项目施工扬尘主要来自安装设备及道路运输等过程，产生量较小，采取文明施工，洒水措施后其排放浓度可控制在1.0mg/m3，能够实现达标排放。(2)运输车辆尾气施工期间，使用机动车运送原材料、设备均会排放一定量的CO、NOx以及未完全燃烧的THC等，其特点是排放量小，属间断性无组织排放。加之施工场地开阔，扩散条件良好，施工期运输车辆尾气可实现达标排放。环评要求施工单位选择尾气排放达标运输车辆。1.2.2施工期噪声施工期噪声主要为车间内部改造和设备安装产生的噪声，其最高噪声可达90dB。项目在已建的厂房内进行，利用厂房进行隔声。1.2.3施工期废水本项目施工期生活废水依托成都屏芯智能智造基地已建预处理池处理之后，排入园区污水处理厂。1.2.4施工期固体废物本项目施工期较短，工程量较小，施工期间员工不在厂区食宿，无生活垃圾产生，产生的固体废物主要为各类设备的包装材料，废包装材料可交由原厂家回收再利用或卖给废品回收站。2营运期工艺流程及产污环节2.1掩膜版基板、大尺寸掩膜版基板、掩膜版基板修复品本项目主要生产空白掩膜版前端原料掩膜版基板(300mm×350mm)，使用的原材料为玻璃基板，同时通过该条生产线对大尺寸的掩膜版基板(800mm×920mm)进行量产试验，以及通过该条生产线对供货商已经退膜后的掩膜版回收品(520mm×800mm)进行抛光修复。本项目掩膜版基板、大尺寸掩膜版基板、掩膜版基板回收品均通过同一生产线进行粗抛光、精细抛光、瑕疵抛光等工序，生产达到可直接进行镀膜、涂胶要求的掩膜版基板，其生产工艺流程如下：-31-图2-4掩膜版基板、大尺寸掩膜版基板、掩膜版基板修复品生产工艺及产污位置图(1)预检：由人工使用应力检测仪对玻璃基板进行检测，查看是否存在缺陷。该工序产生不合格品。(2)1#抛光液配置：粗抛、精抛所需的1#抛光液在抛光液库房内进行配置。1#抛光液由氧化铈和纯水按1：8的比例配置而来。(3)粗抛：经检验合格后的玻璃基板运送至粗抛光工序，使用32B双面抛光设备、16B双面抛光设备对玻璃基板使用面进行粗抛，过程中需使用1#抛光液。该工序产生抛光废水、碎玻璃和设备噪声。(4)精抛：精抛工序和粗抛工序类似，经粗抛工序的玻璃基板再次使用32B双面抛光设备、16B双面抛光设备在不同精度的磨盘下对玻璃基板使用面进行精抛，精抛过程中同样使用到与粗抛相同的1#抛光液。该工序产生抛光废水、碎玻璃和设备噪声。(5)2#抛光液配置：修瑕抛光所需的2#抛光液在抛光液库房内进行配置。2#抛光液由二氧化硅溶液和纯水按1：8的比例配置而来。(6)修瑕抛光：经过粗抛和精抛的玻璃基板运送至修瑕抛光工序，使用修瑕抛光机对玻璃基板两面极小的瑕疵进行修瑕抛光。修瑕抛光过程中使用到2#抛光液。该工序产生抛光废水、碎玻璃和设备噪声。(7)清洗、干燥：完成抛光后的玻璃基板放入超声波清洗机(清洗、干燥均在超声波清洗机中完成)，采用逆流漂洗同时加入超声波进行清洗。清洗完成后，使用压缩空气进行吹干，清洗温度保持在25℃。该工序产生清洗废水、设备噪声。(8)检验、包装、入库：在洁净房内对完成最终清洗和干燥工序的玻璃基板进行检验，检验所使用到的设备为干涉仪和表面缺陷检测仪(均为光学设备)，最后包装、入库。该工序产生废包装材料、不合格品。2.2掩膜版基板镀膜实验本项目建设万级超净实验室，利用光驰镀膜机和ALD镀膜机对生产出的掩膜版基板进行镀膜实验，以测试本项目所生产的掩膜版基板的镀膜性能。其实验流程如下：图2-5掩膜版基板镀膜实验流程及产污位置图镀膜：本项目镀膜原理主要为金属有机化合物的气相沉积：金属有机化合物和保护气(氮气、氩气)形成稀释混合物，以低压气流的方式进入反应室高温环境中，金属有机化合物(本项目所使用的金属有机化合物为三甲基铝和二乙基锌，不涉及重金-32--33-/属)在反应室里和水反应分解并沉积在高温衬底表面。分解反应方程式如下：/C3H9AI+3H2O—AI(OH)3+3CH4C4H10Zn+2H2O—Zn(OH)2+2C2H6本项目通过实验以测试空白掩膜版镀膜的性能，所使用的金属有机化合物为三甲基铝和二乙基锌。将金属有机化合物和掩膜版放入光驰镀膜机和ALD镀膜机，镀膜温度为100℃，由镀膜机在密闭空间内自动进行镀膜，根据建设单位提供的资料，镀膜成功率约99%。该工序产生镀膜废气、不合格品。检验：镀完膜的掩膜版半成品通过光谱仪对镀膜效果进行检验。该工序产生不合格品。根据项目工艺流程分析，本项目建成后，生产过程中的产污环节及各环节产生的污染物见下表：表2-9项目主要污染源及污染物类型类别污染物名称产污环节主要污染因子污染物类型废气镀膜废气镀膜颗粒物、VOCs废水生活污水员工办公生活清洗废水清洗浓盐水纯水制备喷淋废水废气治理设施抛光废水抛光声设备噪声生产设备/生活垃圾工作生活一般固废不合格品检验、镀膜一般固废碎玻璃抛光一般固废废包装材料包装一般固废废滤材滤膜纯水制备一般固废一体化污水处理设施污泥环保设施一般固废含油抹布手套设备维护危险废物(HW49)废润滑油设备维护危险废物(HW08)废润滑油桶设备维护危险废物(HW08)废活性炭环保设施危险废物(HW49)本项目系租赁成都市双流区空港高技术产业园中的电子信息产业园内成都屏芯智能智造基地的空置厂房1F和4F进行建设，不新增用地，不涉及土建。本项目供水、供电、给排水均依托现有设施。经现场调查，本项目为成都屏芯智能智造基地第一家入驻企业，厂房1F和4F为空置厂房，无与本项目有关的污染物排放。厂房位于工业园区内，用地性质为工业用地，不涉及自然保护区、饮用水源地、基本农田保护区等环境敏感区。综上，拟建场地无与本项目有关的环境问题。-34-图2-6本项目厂房现状-35-三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准区域环境质量现状1环境空气质量现状1.1评价基准年的筛选根据本项目所需环境空气质量现状、气象资料等数据的可获得性、数据质量、代表性等因素，拟选择2021年作为评价基准年。1.2空气质量达标区判定根据导则第6.2.1.1条“项目所在区域达标判定，优先选用国家或地方生态环境主管部门公开发布的评价基准年环境质量公告或环境质量公告中的数据或结论”。项目位于成都市郫都区，本项目基本污染物环境质量现状数据来源于《2021年成都生态环境质量公报》中的结论。根据《2021成都生态环境质量公报》，优良天数显著增加。2021年，成都市空气质量优良天数299天，同比增加13天；优良天数比例为81.9%，同比上升3.8个百分点。其中，全年空气质量优102天，良197天，轻度污染50天，中度污染1天。PM10、O3年均浓度下降，除PM2.5外其余五项指标均达标。2021年，成都市主要PMPM微克O度值为151微克/立方米，同比下降10.7%；SO2年均浓度为6微克/立方米，同比持平；NO2年均浓度为35微克/立方米，同比持平；CO日均值第95百分位浓度值为1.0毫克/立方米，同比持平。2021年，成都市SO2、NO2、PM10、O3、CO浓度达到《环境空气质量标准》(GB3095--2012)二级标准。2021年，22个区(市)县空气质量优良天数范围为270天(温江区)~327天(蒲江县)，优良天数比例范围为74.0%(温江区)~89.6%(蒲江县)。与上年相比，成华区、天府新区、金牛区、蒲江县优良天数增加较多。2021年，22个区(市)县污染物SO2、CO、PM10浓度均达标，NO2、O3、PM2.5浓度部分区(市)县达标。龙泉驿区、金堂县、蒲江县、大邑县、邛崃市、简阳市、都江堰市、彭州市8个区(市)县实现六项污染物浓度全面达标。与上年相比，仅双流区O3浓度略有上升(上升幅度为1.2%)，其余区(市)县O3浓度均下降，下降幅度为新津区(1.2%)~青白江区(13.9%)；O3浓度达标区(市)县增加9个。本项目位于成都市双流区，属于不达标区。1.3环境质量达标规划-36-下：本项目配套建设相应废气收集处理设施及措施，确保评价区域环境质量不恶化。结合《成都市空气质量达标规划(2018~2027年)》，双流区环境空气质量将逐渐改善，主要大气污染物浓度稳定达到国家环境空气质量二级标准。表3-1成都市空气质量改善指标表NO/优良天数比例(%)22年44547427年5401.4环境空气质量补充监测为了解本项目特征污染物(TVOC、TSP)环境质量现状，本次评价TVOC、TSP引用现有监测数据。(1)采样时间2021年3月4日~3月7日(四川省雨燃环境科技有限公司)(2)监测点布设监测点位具体布点情况见下表。表3-2环境空气现状监测布点情况表序号与本项目相对位置与本项目距离11#(引用的TVOC、TSP