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半导体超纯水设备用水水质标准半导体超纯水设备是应用于半导体生产零件清洗的超纯水设备,需要符合特定的用水水质标准,下面具体介绍下半导体超纯水设备。半导体超纯水设备水质标准:半导体超纯水设备出水水质要符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业电子级水质技术标准（18MQ.cm、15MQ.cm、10MΩ.cm,2MΩ.cm、0.5MΩ.cm）我国电子工业超纯水水质试行标准、半导体工业用纯水指标、集成电路水质标准。半导体超纯水设备制备工艺:1、预处理系统一反渗透系统一中间水箱一粗混合床一精混合床一纯水箱一纯水泵一紫外线杀菌器一抛光混床一精密过滤器一用水点（≥18MΩ.CM）（传统工艺）2、预处理一反渗透一中间水箱一水泵一EDI装置-纯化水箱一纯水泵一紫外线杀菌器一抛光混床一0.2或O.5μm精密过滤器一用水点（≥18MΩ.CM）（最新工艺）3、预处理一一级反渗透一加药机（PH调节）-中间水箱一第二级反渗透（正电荷反渗膜）-纯水箱-纯水泵一EDI装置一紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点（≥17MΩ.CM）（最新工艺）4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵一紫外线杀菌器-O.2或O.5μm精密过滤器→用水点（≥15MΩ.CM）（最新工艺）5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床一紫外线杀菌器→精密过滤器→用水点（≥15MΩ.CM）（传统工艺）半导体超纯水设备的应用领域：电解电容器生产铝箔及工作件的清洗。电子管生产、显像管和阴极射线管生产配料用纯水。黑白显像管荧光屏生产、玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水。生产液晶显示器的屏面需用纯水清洗和用纯水配液。晶体管生产中纯水主要用于清洗硅片。集成电路生产中高纯水清洗硅片。半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路用纯水。半导体

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