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文档简介

光刻工艺步骤介绍

综述一光刻工艺流程介绍1涂胶工艺介绍2曝光工艺介绍3显影工艺介绍4显检图形介绍5条宽&套刻测量

二在线流片相关知识介绍

光刻工艺流程涂胶曝光显影套刻测量条宽测量送刻蚀送注入显检N-WellPRCoatingN-SiSi(P)Si3N4SiO2PR光刻工艺步骤实例-N-WELL层次涂胶N-WellExposureN-SiSi(P)Si3N4SiO2PR光刻工艺步骤实例-N-WELL层曝光N-WellDevelopingN-SiSi(P)Si3N4SiO2PR光刻工艺步骤实例-N-WELL层次显影N-WellEtchingN-SiSi(P)Si3N4SiO2PR光刻工艺步骤实例-N-WELL的形成

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