蒸镀仪操作规范

编号：XN/WI025-ZG-2009第3页共4页蒸镀仪操作规程编号：XN/WI025-ZG-2009第1页共4页生效日期：2009.08版本/修改:A/0蒸镀仪操作规程1．目的DM-300B型蒸镀仪用于真空蒸镀薄膜，主要用于测试膜层样品光暗电导，激活能等项目时制作铝栅。2．范围新能研发中心实验室3．责任实验室设备负责人，负责设备的使用及日常维护与点检并填写设备使用记录。4．操作流程4.1开机：4.1.1开房间内电源总开关；4.1.2开连接蒸镀仪的电源开关；4.1.3分别开通冷却水“出水”和“进水”开关；4.1.4.开蒸镀仪总开关。4.2蒸镀前准备工作：4.2.1开充气阀，对钟罩内充气，再升钟罩；4.2.2根据钟罩内是否清洁，先使用酒精清洗钟罩内的零部件；4.2.3安装钼舟，并将铝丝条放入钼舟中，并将所要沉积的衬底粘附于铝板上；4.2.4.降钟罩，在钟罩下降的同时要观察是否存在物品及杂物存在于钟罩内。4.3蒸镀仪的预热：4.3.1开机械泵，抽钟罩，接通低真空测量，直至钟罩内真空度降低到5Pa以下；4.3.2调节螺丝至10-20帕之间，此时可以对蒸镀衬底材料进行轰击处理，若不需要轰击，则直接进入下一步骤。轰击时间根据需要自己控制，主要为了处理沉积衬底表面。轰击完毕，把轰击转盘调零，再将表盘的“轰击”档转为“关”档；4.3.3将低阀推到抽系统位置，待压强低于5Pa后，开扩散泵，预热40分钟。4.4蒸镀薄膜：4.4.1在预热完毕后，开高阀，约40-60秒后，接通高真空测量(开灯丝)，低真空测量换到扩散泵前级测量，当真空度达到2-3×10-3，满足蒸镀真空要求；4.4.2开“工件旋转”档，根据需要调节“工件旋转”的速度（接触调压器值20-30）；4.4.3开通烘烤，调节好所需的温度，根据实际需要设置烘烤时间。如果无需烘烤，则可进入下一步进行蒸镀实验；4.4.4选好所放电极的位置，接通“蒸发”档，将一颗“铜扭”插入对应的电极位置，开始增大电流（180A左右）进行溶解蒸镀的材料，当发现已经熔解，将挡板挡住蒸发源。待完全熔解后，打开挡板，让材料蒸镀到衬底表面；4.4.5蒸镀完毕后，各档归零。关高真空测量，关高阀，低阀拉出到“抽钟罩”位置，停机械泵，待工件冷却后，对钟罩充气，升钟罩，取出零件，清洗镀膜室。4.4.6如需另外蒸镀，则重新换衬底，电极（钼舟）内加料。4.5关机：4.5.1如果蒸镀完毕，结束实验时，先关高真空测量，关高阀，停扩散泵，开机械泵。待机2小时退热后，将低阀拉出至“抽钟罩”位置，让钟罩内保持一定的真空度；4.5.2关蒸镀仪的总开关；4.5.3先关“进水”阀，后关“出水”阀（冷却水）；4.5.4关蒸镀仪的电源；4.5.5关总电源。4.6镀膜实验结束后，注意清洗各部分原件，各种材料归位，打扫卫生保持实验室的干净。5．注意事项5.1电极更换：用了数次钼电极后，有可能再镀膜时，加更大的电流，因此需要将用过的老的电极取下来，装上新的电极。5.2镀膜2－3次后，需要对钟罩和内部零件进行清洗，避免微小颗粒进入真空系统，导致真空泵的损坏。5.3突然停电：先切断高真空测量，关高阀，低阀拉到抽钟罩位置，关闭总电源，关闭其它工作状态的按钮。5.4通过控制时间和电流的大小，以及工件旋转速度的快慢，决定蒸镀薄膜的厚度和均匀性。6．设备日常维护点检