镀膜机常见故障及分析解决预防措施

镀膜机常见故障及分析解决预防措施一常见故障,问题及解决方法故障点故障现象故障缘由故障点故障现象故障缘由解决及预防措施备注1.高1.1.开枪有高压，1.灯丝保险烧断1.检查灯丝保险，烧断则更换立即束流无束流灯丝烧断线遇到枪体底坐体.调整引线与枪体底坐的间距.在抽气前检查枪体.关压高1.2.开高压显示跳动幅度大，并有束流跳动电位器未归零枪体短路屏蔽遇到高压引线造成短路电柜故障将灯丝电位器归零线取下〔留意引线不能遇到机器应悬空〕开高压，正常则枪体或高压电极保护罩或屏蔽短路造成放气检查电极保护罩或屏蔽检修电柜立关压即高1.3.开枪无高压，无束流〔偏转.真空.柜门〕高压电路出问题检查相应的高压保护检修高压掌握电路1.4.镀膜时高压会1.真空继电器烧坏1.更换真空继电器4下跌2.高压电路出问题2.检修高压电路号机1.5.镀膜时灯丝突1.BT138可控硅被击1.BT1384满格)穿2.枪体短路2.检查枪体号机1.6丝电流，无光斑栅极片短路线接反了整理枪体检修扫描，正确连接扫描线达不到以前的水平以前的速率〕1

形灯丝被氧化松动坩埚转速太快材料被污染晶片被挡住电柜出问题

重安装或更换灯丝.为了更好的对灯丝定形及延长灯丝对灯丝进展预热处理电源开关拧紧各连接处.调整坩埚转速材料调整晶片挡板位置.抽气应检7.检修电柜阻蒸电流调不1.蒸发舟烧断或松掉上去 造成接触不良空气开关跳闸坏了板下的引线接触不良速率不稳定 1.晶片失效料面不好功率设置不合理掌握参数PID不合理化高压打火

更换蒸发舟或拧紧螺钉.为了防止接触不良，各电极和压时应将铜压块取下砂干净再安装蒸发舟翻开空气开关更换电位器拧紧螺钉要匹配好习惯理(最大功率为略大于蒸发时所需功率〕PID紧固或更换灯丝解决打火现象1.10.高压打火枪体各接线处未拧紧聚四氟套管太脏高压电极太脏屏蔽不佳或未屏蔽描状态不好8.2枪高压干扰10.高压打在10KV11.预熔不够充分12.功率设置不合理整理枪体，在吹枪体时应用不被落在枪体里好洗调整或更换阳极，栅极片更换高压电极调整屏蔽或加装屏蔽调整好光斑，检查扫描12材料〔中调整坩埚转速时)应留意是否误遇到高压调整档位预熔时间及加的束流应合圈〕设置合理的功率,预熔功率相匹配,留意在第一套时速率较小时功率的设置22.描扫和2.1.光斑不能调整1.扫描引线或线圈短路1.检查引线及线圈,引线间不光斑 2.整流桥击穿引线或线圈断路脱或电位器坏了2.2光斑及扫描状1.灯丝变形态不好 2.极靴位置不正率不适宜短路条多或少了,位置不好高压档位不对扫描连接线有误

线是否相互触碰和松动更换整流桥检查引线及线圈接好连线或更换电位器更换灯丝时要做好记号避开安装时位置不正调整适宜频率,频差和密度调整短路条的位置及数量调整正确的高压档位正确连接扫描线,修理时应做好记号3.坩3.1坩埚转动不灵1.坩埚周边间隙太小埚和或不转 2.坩埚间隙有材料(卡

调整坩埚周边的间隙清理间隙中的材料.留意料工转料)轴承锈死减速器出问题电机出问题(2连接键脱落顺畅清洗或更换轴承.在清扫真空室及洗机时应将坩埚下面的轴承的性能检查减速器修理或更换电机调整好大门底板的位置(稍高于坩埚),关门时感到特别(如较寻常紧)应检查底板及防污板的位置重安装好键3.2工转噪音大晃动大,电机轴承坏了降不好传动齿轮磨损更换电机轴承清洗或更换大轴承将电机与减速箱连接好更换齿轮3.3电机损坏键脱落或磨损传动的齿轮磨损单向器坏了电路出问题更换电机重装或更换键更换齿轮更换或修理单向器(2楼)检修电路33.4.工转电压调不跳动大调整电位器损坏掌握器出问题工转传动不稳碳刷接触不良电压表有问题更换电位器检修掌握器修理传动局部整理碳刷接触面或更换修理或更换电压表4.门阀4.1.阀门打不开气压不够有问题阀门间互锁调高气压到适当位置修理或更换气动阀检查与其互锁的阀门.应留意阀门指示灯显示关闭但实际阀门并未关闭的现象阀门翻开后会1.气压不够自动关闭 2.气动阀阀芯内的橡皮松脱1.高阀没关到位气阀打不开 2.放气阀的气动阀有问题真5.1.在镀膜过程中1.高阀,预阀等阀门自空度 真空度突然下跌 动关闭集中泵断相或跳闸造成漏气5.2.低真空突然抽1.机械泵掺气阀没关不动 空室门压到东西并路阀(旁通阀),截止阀自动关闭机械泵出问题罗茨泵出问题管道漏气漏气真空室漏气5.3抽气慢 1.真空室太脏,没换防污板集中泵太久没洗板被吸起机械泵没掺气准机械泵,罗茨泵有问题4

调高气压到适宜位置更换阀芯或气动阀检查高阀没关到位的缘由,不能强行手动关闭更换或修理气动阀检查气压是否正常,正常则是相应的阀门问题,一般为气动阀的阀芯松脱合上闸刀,断相表现为三相指示灯有一或两个灯不亮,更换电炉盘行转坩关闭掺气阀应检查大门是否压到东西或密封圈上有杂物的气动阀和气压修理机械泵修理罗茨泵修理管道更换或修理机放阀5.4更换防污板或清洗真空室次)调整挡油板给机械泵掺气或换油表检修机械泵,罗茨泵真空室暴露在大气真空室暴露在大气干漏气尽量削减敞大气时间,玻片应完全烘干5.4.真空度低真空表测量不准百叶窗挡住真空室大门没关好真空泵出问题管道漏气动密封如坩埚,工转,观看窗,挡板等密封漏气的部件或四周有松动8.堵头没装好通了水的如坩埚,工转,探头等地方有漏点高阀,低阀气缸漏气金属焊缝漏更换真空表关闭高阀,假设此时真空室真叶窗的位置度变化,如有变化则放气整理真空室门密封修理或更换真空泵修理管道更换或重装动密封较大的变化,有则是该转动部动密封有问题检查动过的部件及四周,确认后紧固用酒精注射堵头,假设真空度有变化则紧固或重装该堵头9.通过用高压气来冲水管看真空度是否有变化,有则检查水路通过开关高阀,低阀或用酒精注射阀门确认后更换阀体或密封圈用酒精注射各焊缝来确认是否有漏,有则补焊焊缝6.膜题掉问6.1.掉膜1.真空室或玻片潮湿〕2.玻片没洗干净更换玻片,玻片上有油污真空度低打火严峻,造成膜厚不均匀引起应力大真空室有油污蒸发速率过高脱膜剂镀得过多阀盖及冷井处有油污适当用干净的布清洗好玻片,清洗时应认真认真先用洗洁精清洗干净玻片,再用清水将玻片冲洗干净检漏解决打火现象清洗真空室降低速率到适宜位置削减脱膜剂的厚度擦洗高阀盖及冷井.给集中906.2.周一掉膜严峻且膜质不好粉尘在抽气时飞到玻片上洗机时的潮气及防污板的潮气未干用酒精认真擦干净真空室底烘干后才装入真空室7.质膜7.1.膜质发黑不亮泽1.U5时有银灰色)2.2枪光斑能量太散(扫描频率有问题)3.U3材料镀多了(膜质稀烂)4.2枪坩埚位置不适宜U5真空度低U5调整光斑和扫描频率U32置更换料检查真空度7.2.膜发银U5跳程序或假速率造成U5材料没镀上或镀少U3U5U5觉察时应适当加镀一些U5,2.6此现象U3镀完U35U5卷玻片太脏玻片外表光滑度差U31空室经抽气未使用应更换或清室卫生后再装玻片,削减污染2.更换好的玻片3.U38.厚膜控8.1.晶片失效晶片使用寿命已到晶片压簧损坏1清洗晶片时应留意打晶片的时点接触不良水温过高探头挡板遇到工间及方法,延长晶片的使用寿命应轻拿轻放整理各连接处285.调在探头挡板与工转的距离8.2.开头镀膜掌握仪无工作程序清零没选择到镀膜程掌握仪时动作不应过快,掌握仪要有良好的接地选择好镀膜程序.在调程序时应留意光标是否在对应的镀膜程序上8.3.手动遥控盒不受控没接好遥控盒上的按键的接线脱焊接好接头焊好接线.在用遥控时应留意9.其9.1.开枪镀膜时发1.晶片被挡住他 现膜厚仪上没速率2.枪挡板未翻开显示 3.高压没开6

查晶片是否被挡修理挡板翻开高压束流掌握调在手动 4.将束流掌握调的自动9.2.枪挡板打不开1.气压不够 1.调高气压到适宜位置掌握挡板的气动阀 或更换气动阀坏了 装上键或螺钉接键或螺钉脱落二.一些根底学问及留意事项和应急措施1.膜厚掌握仪掌握参数1率2也称预蒸镀功率略小于最大功率最大功率DepRate 蒸发速率FinalThk----膜厚〔波长〕Soaktime 预熔时间功率上升时间Density 材料密度检测膜厚原理〔由于膜的蒸发转变了其重量，所以其震惊频率发生变化〕来厚的关系如小：探头高了,测试得到的厚度<实际得到的膜厚(玻片上厚度)探头低了,测试得到的厚度>实际得到的膜厚(玻片上厚度)(3).工具因数调高,相当于探头位置降低,所以膜厚要增加膜和材料间的关系色;没镀上,则为银白U3SiO2U6均匀性径向均匀性:同一玻片上部与下部的不均匀,与光斑的调整、材料的料面、坩埚转速和转向、玻片的曲率有关整体均匀性:同一套膜四块玻片上的均匀性,与光斑的稳定性、工转的转速和蒸发速率的匹配、真空度的凹凸、径向均匀性有关灯丝问题放气时要记住关灯丝电源,以免氧化灯丝初次使用或更换灯丝,应进展灯丝预热定型处理,以防灯丝加热过快变形.预热时,高15A3-5灯丝安装灯丝不宜太高或太低:太高会造成光斑不行调,简洁打烂栅极和阳极片;太低会造成光斑能量太散,不易蒸发栅极片应略低于阳极片各个压块、引线的接触面应清洗干净避开造成接触不良打紧螺钉时应松紧适当，太松会接触不良，太紧会造成“滑丝”轰击4.0Pa8.0Pa:2030轰击棒应用240#砂纸砂干净再用酒精擦一遍再装入真空室6.换机械泵油将油放干净,把出气口的盖板取下,然后取下挡油板,用布将机械泵油腔内擦干净(特别留意20次,洗干净后即可加油.加油应加到观看油窗伤两条红线之间(油加少了会造成机械泵的抽气性能下降,油加多了会造成抽气时油喷出来).油加好后将挡油板,盖板依次装好.应急措施突然停电首先将设备总电源开关关闭(防