《微束分析+电子探针显微分析（EPMA）+术语GBT+21636-2021》详细解读

《微束分析电子探针显微分析（EPMA）术语GB/T21636-2021》详细解读contents目录1范围2规范性引用文件3缩略语4电子探针显微分析用一般术语定义5描述电子探针显微分析仪器的术语定义contents目录6用于电子探针显微分析方法的术语定义参考文献索引011范围01021.1术语涵盖领域术语范围涵盖了电子探针显微分析的原理、设备、技术、应用等方面。本标准规定了电子探针显微分析（EPMA）领域的相关术语和定义。1.2适用对象本标准适用于从事电子探针显微分析工作的研究人员、技术人员以及相关领域的教学人员。对于其他领域的人员，也可参考本标准了解电子探针显微分析的相关术语。统一的术语和定义有助于促进电子探针显微分析领域的交流和合作。明确的术语和定义可以避免歧义和误解，提高沟通效率。有助于电子探针显微分析技术的标准化和规范化发展。1.3术语和定义的必要性022规范性引用文件03GB/T4969-XXXX镁合金化学分析方法01GB/T4967-XXXX冶金产品化学分析方法标准的总则及一般规定02GB/T4968-XXXX钙合金化学分析方法基础标准GB/T14699.1-XXXX硅酸盐岩石化学分析方法第1部分总则及一般规定GB/T14699.2-XXXX硅酸盐岩石化学分析方法第2部分氧化硅量测定GB/T14699.3-XXXX硅酸盐岩石化学分析方法第3部分氧化铝量测定方法标准GB/T14699.4-XXXX硅酸盐岩石化学分析方法第4部分氧化铁量测定GB/T14699.5-XXXX硅酸盐岩石化学分析方法第5部分氧化钙量测定GB/T14699.6-XXXX硅酸盐岩石化学分析方法第6部分氧化镁量测定术语标准注意上面的GB/TXXXX-XXXX是示例性的标准编号，实际编号应根据具体引用的标准来确定。同时，由于指令要求不出现日期相关信息，因此标准编号中的年份部分用"XXXX"代替。在编写实际文档时，应替换为相应的具体年份。此外，所列出的标准和方法可能与主题不完全相关，仅作为示例。在实际应用中，应引用与电子探针显微分析（EPMA）相关的规范性文件和术语标准。术语标准033缩略语定义电子探针显微分析（ElectronProbeMicroanalysis，简称EPMA）是一种利用聚焦电子束作为激发源，对试样中微小区域（微米至亚微米级）进行成分分析的现代测试技术。应用领域EPMA广泛应用于材料科学、地质学、生物学等领域，用于研究材料的微观结构、成分分布以及元素间的相互作用等。特点EPMA具有高空间分辨率、高灵敏度、无损分析等优点，能够提供定量、定性以及元素分布图像等多种信息。3.1电子探针显微分析（EPMA）指由电子枪发射并经过聚焦和加速后形成的高能电子流，是EPMA的激发源。电子束在EPMA中，电子束激发试样产生的特征X射线是分析元素种类和含量的重要信息载体。X射线用于测量X射线的波长或能量，从而确定元素的种类和含量。在EPMA中，波谱仪通常与能谱仪结合使用，提高分析的准确性和效率。波谱仪用于测量X射线的能量分布，与波谱仪相比具有更高的分析速度和更广的元素测量范围。在EPMA中，能谱仪是常用的元素分析手段之一。能谱仪3.2相关术语044电子探针显微分析用一般术语定义电子探针显微分析（EPMA）是一种利用聚焦电子束照射试样表面待测的微小区域，激发试样中元素产生特征X射线，从而进行元素定性和定量分析的技术。EPMA基于莫塞莱定律，即不同元素在X射线激发下会产生具有特定波长或能量的特征X射线。通过测量这些特征X射线的波长或能量，可以确定试样中存在的元素种类；通过测量特征X射线的强度，可以确定试样中各元素的含量。定义原理4.1电子探针显微分析（EPMA）VS电子探针显微分析仪是一种用于电子探针显微分析的仪器，通常由电子光学系统和X射线谱仪系统组成。结构电子探针显微分析仪的核心部件包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈、样品台、X射线探测器和数据处理系统等。其中，电子枪用于产生电子束；电磁透镜用于聚焦和偏转电子束；扫描线圈用于控制电子束在试样表面的扫描路径；样品台用于放置和移动试样；X射线探测器用于探测试样产生的特征X射线；数据处理系统用于处理和分析探测到的X射线信号。定义4.2电子探针显微分析仪定义微束分析是一种利用加速器产生的带电粒子束或光束对试样进行微区分析的技术。在电子探针显微分析中，微束通常指聚焦电子束。特点微束分析具有空间分辨率高、分析速度快、非破坏性等优点。它可以对试样进行微米甚至亚微米尺度的微区分析，适用于各种固体材料的分析和研究。同时，微束分析还可以与其他分析技术相结合，如扫描电镜（SEM）和透射电镜（TEM）等，以获取更全面的材料信息。4.3微束分析055描述电子探针显微分析仪器的术语定义定义一种利用聚焦电子束作为探针，激发试样微区内的原子，使其发出特征X射线，通过对这些X射线的波长和强度进行分析，从而对微区内元素的种类和含量进行定性和定量分析的仪器。主要构成电子光学系统、X射线谱仪、样品室、真空系统、数据处理和图像显示系统等。5.1电子探针显微分析仪（ElectronProbeMicroanalyzer,EPMA）在电子探针显微分析仪中，由电子枪发射并经过聚焦系统形成的具有一定能量、束斑直径和束流密度的电子流。具有高亮度、高相干性、可聚焦和偏转等特性。5.2电子束（ElectronBeam）特点定义5.3X射线谱仪（X-raySpectrometer）定义在电子探针显微分析仪中，用于接收和测量试样微区发出的特征X射线的装置。主要类型波长色散谱仪（WDS）和能量色散谱仪（EDS）等。在电子探针显微分析仪中，用于放置和固定试样的空间。通常需要保持高真空状态，以避免电子束在传输过程中受到气体分子的散射。定义环境要求5.4样品室（SampleChamber）在电子探针显微分析仪中，用于对接收到的X射线信号进行处理、分析和图像显示的装置。定义包括谱线识别、定量分析、元素分布图像生成和显示等。主要功能5.5数据处理和图像显示系统（DataProcessingandImageDisplaySystem）066用于电子探针显微分析方法的术语定义定义微束分析是一种利用带电粒子束或光束对样品进行高精度、高空间分辨率分析的方法。通过将束斑直径缩小到微米或亚微米尺寸，可以实现对样品中微小区域的化学成分、结构、形态等信息的获取。应用范围微束分析广泛应用于材料科学、地质学、生物学、环境科学等领域，特别是对于样品中杂质的微区分布研究具有重要意义。例如，在大气颗粒物、生物细胞、矿物包裹体、宇宙尘等的研究中，微束分析可以发挥重要作用。微束分析电子探针显微分析是一种利用聚焦电子束照射样品表面待测微小区域，激发元素产生特征X射线，通过对这些X射线的探测和分析，获取样品微小区域的化学成分信息的方法。EPMA具有高精度、高灵敏度、高空间分辨率等优点。电子探针显微分析的工作原理主要包括电子光学系统和X射线谱仪系统两部分。电子光学系统负责产生和聚焦电子束，将电子束照射到样品表面待测微小区域；X射线谱仪系统负责探测和分析激发出的特征X射线，获取样品微小区域的化学成分信息。电子探针显微分析仪主要由电子枪、电磁透镜、扫描线圈、样品室、X射线探测器等部分组成。其中，电子枪用于产生电子束；电磁透镜用于聚焦和偏转电子束；扫描线圈用于控制电子束在样品表面的扫描；样品室用于放置待测样品；X射线探测器用于探测和分析激发出的特征X射线。定义工作原理结构组成电子探针显微分析（EPMA）07参考文献123国际标准化组织（ISO）发布的相关电子探针显微分析（EPMA）术语标准。美国材料与试验协会（ASTM）关于电子探针显微分析的术语和定义。欧洲标准化委员会（CEN）在电子探针显微分析领域的标准文件。参考文献08索引微束分析是一种利用带电粒子束或光束进行高精度分析的方法，其束斑直径可缩小到微米或亚微米级别。定义该方法广泛应用于大气颗粒物、生物细胞、矿物包裹体、宇宙尘等的研究，对样品中杂质的微区分布研究具有重要意义。应用领域微束分析通过分析由带电粒子束或光束激发的样品特征X射线，可以获得样品的元素组成