压力传感器工艺_第1页
压力传感器工艺_第2页
压力传感器工艺_第3页
压力传感器工艺_第4页
压力传感器工艺_第5页
已阅读5页，还剩9页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

MEMS压力传感器简介及工艺2021/5/91目录MEMS压力传感器简介1传感器结构和工作原理2一种电容式压力传感器制造工艺3总结42021/5/92MEMS压力传感器就是利用MEMS技术加工制造的压力传感器。作用是将压力这个物理量转化为电量来测量。特点：体积小、重量轻、精度高、温度特性好。2021/5/93分类：目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器。两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。2021/5/94硅压阻式压力传感器硅电容式压力传感器2021/5/95传感器的制造工艺与半导体集成电路平面工艺兼容,这就满足了传感器向智能化方向发展的要求。产生了微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路等集成一体的MEMS器件。与压阻式压力传感器相比,电容式压力传感器具有高灵敏度、低噪声和较大的动态范围等显著的优点。2021/5/96接触式电容压力传感器由硅膜片、衬底、衬底电极和绝缘层构成。左图是没有受到压力作用的情况,上下电极间是一个电容结构;右图是受压力作用后硅膜片变形的情况。这时,可以发现电极间距d发生了相应的变化。2021/5/97MEMS的制造技术主要包括两类技术：集成电路技术和微机械加工技术。这两类加工技术的基本材料都是用硅。集成电路技术：包括光刻、扩散、氧化等。微机械加工技术：体微机械加工技术、表面微机械加工技术、LIGA技术(利用X光深层曝光、电铸、机械加工)等。2021/5/98一种基于MEMS的电容压力传感器主要制作工艺过程如下：图a：清洗图b：湿氧氧化图c：涂胶，光刻图d：刻蚀2021/5/99图e：干氧氧化图f：硼（B）扩散图g：键合图h：腐蚀2021/5/910图i：干法刻蚀图j：湿法腐蚀图k：溅射2021/5/911在所有的微系统制造工艺中，工件的几何形状由掩模来定义，针对所设计的空腔型三维形体，通过腐蚀去掉多余的牺牲材料，由离子注入和扩散来控制局部材料的性质和特点，以达到改变选择区域硅基底的电导的目的。2021/5/912总结：基于mems电容式压力传感器的设计和mems工艺制作，由工件几何形状决定了加工的工艺流程，而工艺是制约微机电系统器件能否达到设计要求的关键。可以通过改善敏感元件、电容器的物理特性，改

人人文库> 全部分类> 应用文书 > 研究报告

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论