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文档简介

《线位移传感器动态参数校准规范》实验验证报告线位移传感器可用来测量位移、距离、位置和应变量等长度尺寸，在工程测试中应用广泛。典型的线位移传感器可以分为接触式传感和非接触式传感。线位移传电压或电流等模拟量；也有些线位移传感器已集成了信号转化功能，能直接以数字方式或其他方式输出长度尺寸。规范制定小组在参考相关的技术标准和各生产厂技术说明书的基础上，为了确认本规范的计量性能指标和校准方法是否合理，针对校准规范上确定的计量特性及校准项目，对线位移传感器动态参数的校准项目和校准表1线位移传感器频率响应实验验证1123456789Lij-yij(×VR×10-3)86573554344αij-βij(×π×10-3)34334521234是否满足Lij-yij≤±0.01×VR，αij-βij≤0.01×π是频率响应(Hz)45表2线位移传感器动态示值误差实验验证1123456789表3线位移传感器动态重复性实验验证1123456789表4线位移传感器分辨力实验验证1123456789表5线位移传感器响应时间1123456789354633344541线位移传感器的测量重复性引入的不确定度分量可以通过10次连续重复测量采用A类方法进行评定，按近似正态分布考虑，则3.1.2线位移传感器校准装置引入的线位移传感器校准装置引入的不确定度，其来源主要包括激光干涉仪分辨力引入的不确定度分量u21；电感位移传感器回程误差引入的不确定度分量u22；电感位激光干涉仪分辨力引入的不确定度分量采用B类方法评定，激光干涉仪分辨力u22电感位移传感器测量板卡采用16位AD芯片，则对于电感位移传感器140μm的量程，板卡的理论分辨力为2.136nm，板卡分辨力引入的不确定度分量采用B类电感位移传感器的安装误差主要是指探针运动轴线与校准装置的运动轴线不共线所引起的阿贝误差，该误差引入的不确定度分量采用B类方法评定，阿贝误差为由此可知，由于线位移传感器校准装置引入的不确定度u1和u2均按近似正态分布，合成标准不确定度uc为近似正态分布，当测量动态3.7拓展不确定度Uc

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