电子工程气体供应设计要求_第1页
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文档简介

电子工程气体供应设计要求1.1常用气体供应设施的设置,应符合下列规定:1宜集中设置一个或多个气体供应站;2应根据气体耗量、纯度要求和当地气体供应状况,经能量消耗和技术经济比较确定氢气、氧气、氮气等的供应方式;3压缩空气宜由厂区内设置的空压站供给;4氩气、氦气宜采用液态罐或气态气体钢瓶供应。1.2在工程中设置制气装置时,应符合下列规定;1应结合用气参数和当地具体条件,进行各类制气装置的单位产气量能耗比较,应采用单位气体能耗低的装置;2应优化制气系统设备组合,并应合理配置气体制取、纯化、压缩和储存设备,应做到能耗低、经济性好;3各种制气装置的单位气体能耗,不宜超过表1.2的规定。表1.2各种制气装置的单位气体能耗气体类型单位气体能耗[(kW·h/Nm3)]低温法生产气态氧<0.6生产液态氧<1.2生产气态氮<0.4生产液态氮<1.0常温法生产氧气<0.6生产氮气<0.4水电解法制取氢气≤5.0天然气转化制取氢气≤1.5注:1本表的单位气体能耗以生产普通纯度的氧气、氮气、氢气计算;2天然气转化制取氢气是按1Nm3天然气生产2.5Nm3氢气和耗电量经折合计算。1.3工程采用液态气体供应时,液态气体的储存周期应根据运输距离和日用气量等因素确定,不宜超过7d用量。1.4压缩空气干燥装置的选用,应符合下列规定:1应根据用气量、供气压力和使用时间以及维护方便等因素确定,应选用再生能耗低的干燥装置;2单台空气压缩机排气量超过10Nm3/min时,宜选用冷冻式干燥机或余热再生或加热再生式的干燥装置;3单台空气压缩机排气量小于等于10Nm3/min时,宜选用冷冻式干燥机或无热再生或微热再生式的干燥装置。1.5无油压缩空气站的能效指标应符合下列规定:1供气压力露点小于3°C时,机组输入比功率不大于71Kw/(m3/min)。2供气压力露点小于-20°C时,机组输入比功率不大于8.05Kw/(m3/min)。3供气压力露点小于-40°C时,机组输入比功率不大于8.42kW/(m3/min)。4供气压力露点小于-70°C时,机组输入比功率不大于8.62kW/(m3/min)。1.6气体

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