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文档简介

电子工程净化空调系统1.1同一建筑物内净化空调系统的划分，应符合下列规定：1运行班次或使用时间不同和温度、相对湿度要求不同的洁净室、洁净区，应分别设置；2净化空调系统与一般空调系统，应分别设置。1.2洁净室、洁净区的送风方式可分为集中送风、隧道送风、风机过滤器机组送风等类型，其类型应根据洁净室、洁净区的使用功能特点确定，且宜采用风机过滤器机组送风方式。1.3洁净室、洁净区除下列情况之一外，均应充分利用回风：1在生产过程中向房间内散发的有害物质超过规定时；2对其他工序有危害或不能避免交叉污染时。1.4洁净厂房设有多套净化空调系统时，宜采用新风集中处理。1.5洁净室、洁净区的送风量、新风量应符合现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定，在具体生产工艺允许时，应采用相关规定的下限值。1.6洁净室、洁净区与周围空间的静压差值，应按工程设计值进行控制。当工程设计无规定，且洁净室、洁净区的新风量由补偿室内排风量和保持洁净室、洁净区与周围空间静压差值所需新风量之和确定时，应按现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472规定的下限值进行控制。1.7净化空调系统采用集中空气处理和集中送风方式，且按洁净度要求确定的风量大于消除热湿负荷计算的风量时，应采用一、二次回风的送风系统。除生产工艺特殊要求外，在同一空气处理系统中，不应同时有加热和冷却的运行过程。1.8净化空调系统采用新风和循环风分别处理的方式时，用于空调的冷冻水宜按控温、调湿要求采用不同的供水温度。1.9净化空调系统宜自动调节送风量，并应合理选择自动调节控制方法及检测参数。1.10用于净化空调系统的空气处理机组，应选用气密性优良的产品，其漏风率应低于1%。1.11当净化空调系

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