氖气混合气中微量组分的测定气相色谱法

ICS17.080

CCSL85

13

河北省地方标准

DB13/T5644—2022

3.5%氩气/10ppm氙气/氖气混合气中微量

组分的测定气相色谱法

Determinationoftracecontentsin3.5%argon/10ppmxenon/neonmixturebyGC

DB13/T5644—2022

3.5%氩气/10ppm氙气/氖气混合气中微量组分的测定气相色谱法

1范围

本文件描述了用气相色谱法测定电子工业用气体3.5%氩气/10ppm氙气/氖气混合气中微量组分

的原理、试剂或材料、仪器设备、测定步骤及结果处理等。

本文件适用于电子工业用气体3.5%氩气/10ppm氙气/氖气混合气中氩气、氧气、氮气、总烃（以

甲烷计）、一氧化碳、二氧化碳、氙气和水分的测定。氩气含量测定的检出限不大于5×10-6（体积

分数），氧气、氮气、总烃（以甲烷计）、一氧化碳、二氧化碳、氙气和水分含量测定的检测限不大

于0.01×10-6（体积分数）。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用

文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）

适用于本文件。

GB/T4844-2011纯氦、高纯氦和超纯氦

GB/T5832.2气体中微量水分的测定第2部分：露点法

GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法

GB/T28726气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T30431-2020实验室气相色谱仪

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4氩气含量的测定

原理

采用配备热导检测器(TCD)的气相色谱仪（GB/T30431-2020）测定氩气含量。样品气经5A分子

筛色谱柱分离，热导检测器检测，由于氩气与载气的热导系数不同，氩气组分的电信号与浓度成正

比，采用保留时间进行定性，采用峰高（或峰面积）进行定量。

试剂或材料

4.2.1高纯氦气：纯度≥99.999%（体积分数），GB/T4844-2011。

4.2.2氖中氩气标准气体：含量为3.5%（体积分数）。

仪器设备

气相色谱仪：GB/T30431-2020，配备热导检测器(TCD)，仪器对氩气含量的检测限不大于5×10-

6（体积分数）。

推荐测定条件如下：

a)载气：高纯氦气（见4.2.1）；

b)进样口温度：60℃；

c)色谱柱温度：35℃；

d)检测器温度：60℃；

e)桥电流：120mA；

f)进样体积：1mL；

g)色谱柱：长2m，内径3.2mm，内部装填颗粒度为（40～60）目的5A分子筛不锈钢色谱柱。

1

DB13/T5644—2022

测定步骤

4.4.1测试前准备

按仪器操作规程启动仪器，并保证管路气密性。调整仪器各部件达到测定条件，待仪器稳定后

即可测定。

4.4.2标准气体测定

采用外标定量法，选用有标准物质认定证书的标准气体。在符合规定的测定条件下定体积进样，

待所有峰流出后，测定氩气的峰高（或峰面积），重复进样，直至相邻两次测定结果的相对偏差不

大于1%，取其平均值。

4.4.3样品气体测定

按4.4.2的方法测样品气体的含量。

结果处理

氩气的含量按公式（1）计算：

1……（）

Φ1Φs11

s1

式中：

-2

Φ1——样品气体中氩气的含量（体积分数，10）；

-2

Φs1——标准气体中氩气的含量（体积分数，10）；

1——样品气体中氩气的峰高（或峰面积）；

s1——标准气体中氩气的峰高（或峰面积）。

5微量氧气、氮气、总烃（以甲烷计）、一氧化碳、二氧化碳和氙气含量的测定

原理

采用配备脱氧柱、气路切换装置的氦离子化检测器的气相色谱仪（GB/T28726）对各组分分析。

当样品气体经色谱柱分离后进入氦离子化检测器时，与亚稳态的氦发生非弹性碰撞而电离，在检测

器的收集极输出相应的微电流，微电流经放大器放大后的电流讯号在一定范围内与组分含量成正比。

采用保留时间进行定性，采用峰高（或峰面积）进行定量。

试剂或材料

5.2.1高纯氦气：纯度≥99.999%，GB/T4844-2011。

5.2.2氦中氧气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳和氙气标准气体，含量均为5×10-6（体积分

数）。

仪器设备

气相色谱仪：配备脱氧柱、气路切换装置（见附录A）和氦离子化检测器（PDD），仪器对氧气、

氮气、总烃（以甲烷计）、一氧化碳、二氧化碳和氙气含量测定的检测限不大于0.01×10-6（体积分

数）。

推荐测定条件如下：

a)载气：高纯氦气（见5.2.1）；

b)载气流速：120mL/min；

c)衰减：10-9；

d)柱温：色谱柱Ⅰ、Ⅱ，50℃；色谱柱Ⅲ，55℃；色谱柱Ⅵ，60℃；

e)检测器温度：180ºC；

f)进样体积：0.5mL；

2

DB13/T5644—2022

g)色谱柱：色谱柱Ⅰ、Ⅱ，长2.0m，内径3.2mm，内部装填颗粒度为（40～60）目的5A分子

筛不锈钢色谱柱；色谱柱Ⅲ，长4.0m，内径3.2mm，内部装填颗粒度为（60～80）目的

PorapakQ（乙烯苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物）不锈钢色谱柱；色谱柱Ⅵ，长1.18m，内

径6mm，内部装填颗粒度为30目的Pt、Pd（是否为混合物）贵金属不锈钢色谱柱。

测定步骤

5.4.1测定前准备

按仪器操作规程启动仪器，并保证管路气密性。调整仪器各部件达到测定条件，待仪器稳定后

即可测定。

5.4.2标准气体测定

采用外标定量法，选用有标准物质认定证书的标准气体。在符合规定的测定条件下定体积进样，

待所有峰流出后，测其峰高（或峰面积），重复进样，直至相邻两次测定结果的相对偏差不大于5%，

取其平均值。

5.4.3样品气体测定

按5.4.2的方法测样品气体的含量。

结果处理

按公式（2）分别计算氧气、氮气、总烃（以甲烷计）、一氧化碳、二氧化碳和氙气的含量。

Ai……（）

ΦiΦsi2

Asi

式中：

-6

Φi—样品气中待测组分i的含量（体积分数，10）；

Φsi—标准气中待测组分i的含量（体积分数，10-6）；

Ai—样品气中待测组分i的峰高（或峰面积）；

Asi—标准气中待测组分i的峰高（或峰面积）；

i—代表待测组分。

6微量水含量的测定

3.5%氩气/10ppm氙气/氖气混合气中水分含量的测定按GB/T5832.2或GB/T5832.3的规定执行，

当对测定结果有异议时，以GB/T5832.3规定的方法为仲裁方法。

7精密度和准确度

实验室内3.5%氩气/10ppm氙气/氖气混合气中氩气的检测结果的相对标准偏差不大于1%，其它微

量组分的检测结果的相对标准偏差不大于5%。

实验室内3.5%氩气/10ppm氙气/氖气混合气中微量组分的加标回收率在96%～100%。

3

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AA

（资料性）

3.5%氩气/10ppm氙气/氖气混合气中氧气、氮气、总烃（以甲烷计）、一氧化碳、二氧化碳和氙气

含量测定气路示意图

3.5%氩气/10ppm氙气/氖气混合气中氧气、氮气、总烃（以甲烷计）、一氧化碳、二氧化碳和氙

气含量测定气路如图1所示。

注1：定量环1、定量环2的体积均为0.5mL。

注2：载气1、载气2、载气3和载气4的流量均为120mL/min.

注3：针阀1、针阀2、针阀3和针阀4均为放空阀。

注4：氧、氮、总烃（以甲烷计）、一氧化碳和氙气的检测经由气动阀Ⅰ、第一分子筛柱、气动阀Ⅱ、脱氧柱、

气动阀Ⅲ和第二分子筛柱进入PDD检测器。

注5：二氧化碳的检测经由气动阀Ⅰ、PorapakQ和气动阀Ⅳ进入PDD检测器。

图1氧气、氮气、总烃（以甲烷计）、一氧化碳、二氧化碳和氙气测定气路示意图

4

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前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规

定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中共河北省委军民融合发展委员会办公室提出。

本文件由河北省军民融合标准化技术委员会（HeB/TC21）归口。

本文件起草单位：中国船舶集团公司第七一八研究所、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公

司。

本文件主要起草人：赵丙倩、陈良、郑秋艳、袁晓燕、殷越玲、崔雯、苏子杰、李帅楠。

I

附录B

（资料性附录）

农药工业特征大气污染物

序号CAS中文名序号CAS中文名

1—氮氧化物3375-15-0二硫化碳

250-00-0甲醛3475-18-3二甲硫醚

351-68-3二甲胺3575-31-0异丙胺

456-05-32-氨基-4,6-二氯嘧啶3675-34-31,1-二氯乙烷

556-23-5四氯化碳3775-44-5光气

656-40-6甘氨酸3875-65-0叔丁醇

757-13-6尿素3975-87-6三氯乙醛

859-88-1盐酸苯肼4075-93-4硫酸单甲酯

960-29-7乙醚4175-97-8频那酮

1060-35-5乙酰胺4276-02-8三氯乙酰氯

1164-17-5乙醇4377-73-6双环戊二烯

1264-18-6甲酸4477-78-1硫酸二甲酯

1364-19-7乙酸4578-79-5异戊二烯

1467-56-1甲醇4678-82-0异丁睛

1567-63-0异丙醇4778-93-32-丁酮

1667-64-1丙酮4878-95-51-氯丙酮

1767-66-3氯仿4979-01-6三氯乙烯

1867-68-5二甲基亚砜5079-04-9氯乙酰氯

1968-12-2二甲基甲酰胺（DMF）5179-11-8氯乙酸

2071-36-3正丁醇5279-22-1氯甲酸甲酯

2171-43-2苯5387-60-53-氯-2-甲基苯胺

2274-87-3氯甲烷5488-06-22,4,6-三氯苯酚

2374-89-5一甲胺5595-47-6邻二甲苯

2474-90-8氰化氢5695-50-11,2-二氯苯

2574-93-1甲硫醇5795-53-4邻甲苯胺

2674-96-4溴乙烷5895-54-5邻苯二胺

2775-00-3氯乙烷5995-57-8邻氯酚

2875-04-7乙胺6095-64-73,4-二甲基苯胺

2975-05-8乙腈6195-65-83.4-二甲基苯酚

3075-08-1乙硫醇6295-76-13,4-二氯苯胺

3175-09-2二氯甲烷6395-82-92,5-二氯苯胺

3275-13-8异氰酸酯6496-22-03-戊酮

—22—

附录A

（资料性附录）

常见农药中间体品种

表A.1常见农药中间体品种

序号中间体名称农药类别主要产品

甲草胺、乙草胺、异丙甲草胺、异丙

甲基二乙基苯胺（）酰胺类

12--6-MEA草胺等

22-6-二乙基苯胺（DEA）酰胺类丁草胺、丙草胺

32-氯-5-氯甲基吡啶杂环类（吡啶）吡虫啉等

4N-硝基亚氨基咪唑烷（咪唑烷）杂环类（吡啶）吡虫啉等

51,2,4-三氮唑杂环类（三唑）三唑酮等

62,4,6-三氯-1,3,5-三嗪（三聚氯氰）杂环类（三嗪）莠去津等

71,2-苯二胺（邻苯二胺）杂环类（咪唑）多菌灵等

82,4-二氯苯酚苯氧羧酸类2,4-D等

92,5-二氯苯酚苯氧羧酸类麦草畏等

102-氨基-4,6-二甲氧基嘧啶（嘧啶胺）磺酰脲类苄嘧磺隆、烟嘧磺隆、吡嘧磺隆等

二甲基氨基磺酰基吡啶

N,N--2--3-磺酰脲类烟嘧磺隆等

11甲酰胺（烟嘧磺胺）

2-氨基-4-甲氧基-6-甲基-1,3,5-三嗪

12磺酰脲类苯磺隆、甲磺隆