设备安装技术参数_第1页
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设备安装技术参数设备名称型号用途包装箱尺寸毛重(kg)毛重(kg)毛重(kg)主体尺寸主要部件尺寸维修空间前（mm）后（mm）左（mm）右（mm）地基要求水平度微振电源电源性质电压(V)相数功率(kW)接地电阻(Ω)纯水电阻率MΩ.cm(25℃)温度(℃)压力(MPa)流量(L/min)冷却水电阻率MΩ.cm(25℃)温度(℃)压力(MPa)流量(L/min)大宗气体纯度(％)压力(MPa)流量(L/min)管道接口型式特种气体化学品环境要求温度(℃)湿度（％）洁净度排风材质接口(mm)抽速（m/s）排气气质接口(mm)抽速（m/s）通讯接口其它特殊要求

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