SJ-T 11883-2022 扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法

扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法前言 I 12规范性引用文件 3术语和定义 14.1物料平衡和热平衡计算单位 4.2基准温度 4.3热平衡测试范围 1 15.1测定前的准备 25.2热平衡方框图 25.3测定时间 25.4测定项目 26物料平衡计算方法 36.1物料平衡图 36.2收入项 3 36.4物料平衡表 47热平衡计算方法 4 47.2热输出 67.3热平衡表 98热效率计算方法 99综合能耗计算方法 9I本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定1范围综合能耗的计算可参考本变件。2规范性引用文件下列文件中容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。中注日期的引用文件，仅该日期对应的废本适用本文件：不注日期的引用文件，其新版本(包括所有的修改单)适用于本GB236g综合能耗计算通则生产周期productioncycle从设备空闲伏态开始，完成一个完整的热处理工艺后重新回到空闲状态的时间2图1热平衡方框图5.4.1温度项目进口气体温度T、出口气体温度T、入炉硅片温度T、出炉硅片温度r舟机构温度T、进口冷却水温度T、出口冷却水温度T、炉体轴向内壁面温度T(炉体沿轴向分几段度r。36.2.2入炉气体质量按公式(1)计算：时亥的进口气体质流量，单位为干税每秒(kgls)m入炉物料质按公式(2)计算：4 (5)6.3.4支出总和计算按式(6)计算： (6)收入支出%%XXmXXmXXmXXXXmX5Q=c,m.T-cm,T。……………(9)60.电熟的输入然量，单位为不kJ);P时刻时应的第段电加热功率，审位为千瓦(kW)Q.——进口冷却水的热量单位为于焦(kJ)。 T——出炉气体温度，单位为开(K);7 8Q.——冷却水带出的热量，单位为千焦(kJ);△——在线数据采集仪的数据采集时间间隔，单位为秒(s);T!——出口冷却水温度，单位为开(K);c——冷却水温度工对应的比热容，单位为千焦每千克开[kJ/(kg-K)];c——环境温度r。下冷却水的比热容，单位为千焦每千克开[kJ/(kgK)];m,——时刻对应的冷却水质量流量，单位为千克每秒(kg/s)。7.2.6壁面热损失按公式(19)计算：………(19)Q——壁面热损失，单位为千信(kJ);h₁、h两做炉门外壁面的对流换热系数，单位为瓦每平方米开wì(m²K)];h十护体轴向外壁面的对流换热系数，单位为瓦每平方米开wA(m²K)];T、T.时刻对应的两测煽门外壁面温度，单位为开(K):A、两侧炉门外壁面面积，单位为平方米(m²);O时刻t对应的轴向第段内壁面温度，单位为开(K);、分别为抗散炉本体的导热系数、扩散炉本体外保温层的导热来数单值为瓦每平方米d、a—分别为所散炉径向内影面直径，抗散炉水体径向外壁面車径散炉保温层外壁A由散炉轴向第段的外壁面面积，单位为平方米(m²)7.2.7热平衡的确定热平衡各项输大西量总和与已测各项输出热量总和之差即为差值AO,按式(Q0)计算：DQ出炉气体带出的热量，单位为干焦(kJ);Q——出炉硅片带出的热量，单位为千焦(kJ);Q——出炉舟机构带出的热量，单位为千焦(kJ);——舟出炉时炉体的蓄热量，单位为千焦(kJ);Q——壁面热损失，单位为千焦(kJ);Q出口冷却水的热量，单位为千焦(kJ)。差值包括未测出的输出热量及误差。热平衡允许相对误差值为±5%以内，按式(21)计算：7.2.8总热输出按公式(22)计算：90=Q₂+Q,+Q+Q+Q'+Q+AQ…… Q出炉舟机构带出的热量，单位为千焦(kJ);Q出口冷却水输出%%QXXQ出炉气体带出的热量XXQXXQ出炉硅片带出的热量XXQ量XXQ出炉舟机构带出的热量XX0XXQXXQ电加热的输入热量XXQXXXXQXXXXQXX扩散炉热效率按公式(23)计算：7——扩散炉热效率