TFJAS 002-2024 湿电子化学品 再生光阻洗净液

ICS13.030.10CCSZ00T/FJAS团 体 标 准T/FJAS002—2024湿电子化学品再生光阻洗净液wetchemicalsregenerationLightblockingcleaningsolution2024-06-30发布 2024-06-30实施福建省标准化协会  发布T/FJAS002—2024T/FJAS002—2024PAGE\*ROMANPAGE\*ROMANII目 次范围 1规范性引用文件 1术语和定义 1技术要求 2试验方法 3检验规则 4标志、包装、运输、贮存 5前 言本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由福建中融科技有限公司提出。本文件由福建省标准化协会归口。T/FJAS002—2024T/FJAS002—2024PAGEPAGE1湿电子化学品再生光阻洗净液范围本文件规定了再生光阻洗净液的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于以湿电子化学品行业含光阻洗净液回收液为原料，经过提纯的光阻洗净液再生产品(以下简称产品），主要用于显示面板制造行业等。规范性引用文件（包括所有的修改单适用于本文件。GB190 危险货物包装标志GB/T601化学试剂 标准滴定溶液的制备GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备GB/T603化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备GB/T3143液体化学产品颜色测定法(Hazen单位-铂-钴色号)GB/T4945石油产品和润滑剂酸值和碱值测定法(颜色指示剂法)GB/T6283化工产品中水分含量的测定卡尔.费休法（通用方法）GB/T6324.2 2GB/T6678化工产品采样总则GB/T6680液体化工产品采样通则GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T9722化学试剂气相色谱法通则GB15603 危险化学品仓库储存通则SJ/T11637 电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则术语和定义下列术语和定义适用于本文件。湿电子化学品wetchemicals湿电子化学品又称超净高纯电子化学品，是微电子、光电子湿法工艺（主要包括湿法刻蚀、清洗、显影、剥离等环节）中使用的各种液体化工材料。光阻洗净液Lightblockingcleaningsolution光阻去除液、清洗剂，主要成分丙二醇甲醚（PM）和丙二醇甲醚醋酸酯（PMA）。回收液liquidrecycling主要含主要丙二醇甲醚和丙二醇甲醚醋酸酯，以及少量其它有机溶剂、光刻胶、水、金属离子等。技术要求产品的技术指标应符合表1的要求。表1 技术指标项目指标外观无色透明液体有效成分w/%≥99.5丙二醇甲醚（PM）w%75.0±15.0丙二醇甲醚醋酸酯（PMA）w%25.0±15.0水分(wt)/%≤0.1色度Hazen单位（铂-钴色号）10酸值(以乙酸计)w/%0.05蒸发残渣≤0.03%铝（Al）μg/kg≤10金（Au）μg/kg≤10银（Ag）μg/kg≤10钡（Ba）μg/kg≤10硼（B）μg/kg≤10铋（Bi）μg/kg≤10镉（Cd）μg/kg≤10钙（Ca）μg/kg≤10钴(Co)μg/kg≤10铜（Cu）μg/kg≤10铁（Fe）μg/kg≤10钾（K）μg/kg≤10锂（Li）μg/kg≤10镁（Mg）μg/kg≤10锰（Mn）μg/kg≤10钠（Na）μg/kg≤10镍（Ni）μg/kg≤10铅（Pb）μg/kg≤10锡（Sn）μg/kg≤10注：由供需双方商定，含量允许偏差值应满足合同规定。试验方法一般规定本试验方法中除另有规定外，标准滴定溶液、杂质测定用标准溶液和所用制剂及制品均按GB/T601、GB/T602、GB/T603GB/T6682外观取适量实验室样品于比色管中，在自然光下目视观察。纯度方法提要仪器气相色谱仪：配有氢火焰离子检测器（FID）GB/T9722气相色谱条件5.3.3.1 氮气：纯度≥99.999%。5.3.3.2 空气：空气压缩泵。5.3.3.3 氢气：纯度≥99.999%。试剂：丙二醇甲谜、丙二醇甲醚醋酸酯，色谱纯。进样器：10μL色谱分析条件本文件推荐的色谱柱和色谱操作条件见表2，其他同等分离程度的色谱柱及色谱操作条件也可使用。表2 推荐的色谱柱和色谱操作条件毛细管色谱柱30m×0.32mm×1.8μm(柱长×柱内径×液膜厚度）柱温/℃℃保持，速率气化室温度/℃220检测器温度/℃300载气（N2）流量/（mL/min）25氢气流量/（mL/min）35空气流量/（mL/min）350分流比60:1进样量/μL0.1--0.2分析步骤建立标准曲线校准用标准溶液的配制0.0001g标准溶液的配制0.0001g标准曲线的建立2试样的测定2水分的测定按GB/T6283的规定进行测定。色度的测定按GB/T3143的规定进行测定。酸值的测定按GB/T4945的规定进行测定。蒸发残渣按GB/T6324.2的规定进行测定。5.7金属元素的测定按SJ/T11637的规定进行