TQGCML 4573-2024 高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范

ICS31.020CCSH80团 体 标 准T/QGCML4573—2024高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范Manufacturingspecificationforhighprecisionandultracleanwaferelectrochemicalelectroplatingchambergriddisk2024-08-12发布 2024-08-27实施全国城市工业品贸易中心联合会  发布T/QGCML4573T/QGCML4573—2024PAGE\*ROMANPAGE\*ROMANII目 次前言 II范围 1规范性引用文件 1术语和定义 1缩略语 2场地和人员 2设备 2材料 2加工流程 3成品质量 3环境保护 3安全 4前 言本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由常熟市兆恒众力精密机械有限公司提出。本文件由全国城市工业品贸易中心联合会归口。本文件主要起草人：罗中平、雷超、赵鹏志。T/QGCML4573T/QGCML4573—2024PAGEPAGE1高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘生产制造规范范围本文件适用于高精度超洁净晶圆电化学电镀腔体网格盘（以下简称“网格盘”）的生产制造。规范性引用文件（包括所有的修改单适用于本文件。GB12348 工业企业厂界环境噪声排放标准GB/T12801 生产过程安全卫生要求总则GB13456 钢铁工业水污染物排放标准GB15577 粉尘防爆安全规程GB/T15605 粉尘爆炸泄压指南GB16297大气污染物综合排放标准GB18597危险废物贮存污染控制标准GB18599一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准术语和定义下列术语和定义适用于本文件。晶圆 wafer硅半导体集成电路制作所用的圆形硅晶片。镀铜用网格盘 griddiskforcopperplating在晶圆的加工过程中对晶圆进行镀铜操作时用到网格盘。开粗 opencoarse零件加工过程中的第一个工序，通常从毛坯开始加工。倒角 chamfer把工件的棱角切削成一定斜面的机械加工方式。工装加工 fixtureprocessing一般指机械加工设备及工装。缩略语下列缩略语适用于本文件。ABS：丙烯腈-丁二烯-苯乙烯塑料（AcrylonitrileButadieneStyreneplastic）CNC：数控车床（CNClathe）场地和人员场地应远离居民生产、生活区，避免环境污染、噪音污染、粉尘污染。宜靠近已有的交通运输线路，电力配套设施应完善。应适应加工规模需要。布局应合理、分隔清晰。应具备通风换气设施。人员应掌握网格盘生产制造技术相关的基础知识，并经过专业岗位技术培训，考核合格后，持证上岗。应掌握环境保护和职业健康安全相关的基础知识，能应急生产制造过程中可能出现的问题。应了解厂房的管理制度，并自觉遵守人员着装和污染防控的各项规定。应熟练掌握生产设备的操作方法。操作人员应穿戴安全帽、防护眼镜、耳塞、防护口罩、防护手套、防护服、防护鞋进行加工作业。操作人员应接受安全生产教育和培训。新职工上岗前、调换工种人员应进行专门的安全教育培训。设备主要使用以下加工设备：立式加工中心；数控车床；锯床；加热箱；液氮去毛刺机；内冷钻；工装；铣刀等。材料材料选择选用刚性强、耐磨性好、硬度高、耐高温冲击的聚丙烯作为原料。材料接收材料入厂后，仓库管理人员应确认其生产厂家、产品名称、规格及数量与采购计划相符，并有相应的质量证明文件（如合格证、出厂检验报告等）。材料储存材料储存环境应清洁、通风、干燥、防雨、防潮。加工流程用锯床将聚丙烯材料切割为整块板料。上加工中心压板压住开粗，外圆铣削一圈工艺凸台，CNC11011010h，然后空冷至室温。1mmCNC正面内圆及各台阶尺寸、铣腰型孔到位加工。铣在圆周一圈沉头孔尺寸到位打正面各孔、牙孔，内腔筋倒角，用工装打侧面孔，控制孔深。ABS1mm上四轴转角度打内壁侧面孔的尺寸到位。采用内冷合金钻头进行加工，钻头加工前先用铣刀将斜0.1mm，铣反面槽及孔、铣密封槽到位。采用液氮去毛刺机调制聚丙烯材料至合适温度，将工件放入进机器内，合上后逐步降温冷冻。旋转工件并将专用沙喷在表面去除毛刺。上车床去除夹位后，将外径尺寸到位，刀纹应不粗糙。0.05Mpa，观察各小孔出水是否均匀且高度一致，不允许有不出水或者断续的情况，确认无异常后安装钛合金堵头。采用符合精度要求的量具测量尺寸，合格后进行包装。采用缓冲泡棉包裹，放入圆形珍珠棉内，检查是否晃动，确认无异常后贴标签出货。出库前应经仓库登记和审核，有序出库。成品质量网格盘表面干净平整，无气泡、黑点、变形、划伤等缺陷。出液孔角度应一致且不贯穿漏液。环境保护废气、废水生产制造应配套适宜的污染物治理设施。GB16297的规定。GB13456固体废弃物贮存生产制造产生的固体废弃物贮存应符合GB18597、GB18599的规定。噪声GB12348应建立、健全安全生产责任制，并做好安全生产计划工作。GB/T12801