新建3英寸半导体芯片生产及测试封装项目环评资料环境影响

11.1项目由来芯辰半导体（苏州）有限公司由中国科学院半导体研究所的团队发起创立，成立于2022年1月，位于太仓市双凤镇新湖瓯江路15-1号，是太仓市重点引进的新一代半导体高新技术制造企业。《芯辰半导体（苏州）有限公司新建3英寸半导体芯片生产及测试封装项目环境影响报告表》于2022年12月9日取得苏州市生态环境局批复（苏环建[2022]85第0217号建设内容为：年生产并测试3英寸半导体芯片3000万颗（其中VCSEL芯片1000万颗、通信激光器芯片2000万颗）以及年封装3英寸半导体芯片20万颗产品。目前厂房装修工程、管道工程等正在施工，部分公辅设施开始安装。在项目建设过程中，建设单位因自身发展需求，拟调整产品方案，增加晶圆外延片产品种类，并调整原有生产工艺，从而在太仓打造“芯片设计、材料外延、晶圆制造、封装测试”完整工艺研发平台和产品生产线。由于产品方案和生产工艺的调整，导致项目新增砷及其化合物、氯气等特征污染因子，并且颗粒物、氮氧化物、氯化氢、挥发性有机物等污染物排放量增加。对照《污染影响类建设项目重大变动清单（试行）》（环办环评函[2020]688号），符合清单中“6.新增产品品种或生产工艺（含主要生产装置、设备及配套设施）、主要原辅材料、燃料变化，导致以下情形之一1）新增排放污染物种类的（毒性、挥发性降低的除外2）位于环境质量不达标区的建设项目相应污染物排放量增加的；（3）废水第一类污染物排放量增加的；（4）其他污染物排放量增加10%及以上的”，因此本项目的变动情况属于重大变动。《建设项目环境保护管理条例》，建设项目的环境影响评价文件经批准后，建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动的，建设单位应当重新报批建设项目的环境影响评价文件。导体材料制造”类别。因此根据《建设项目环境影响评价分类管理名录（20212其环境影响评价类别按照其中单项等级最高的确定。因此本项目应编制环境影为此，江苏科瑞晟环保科技有限公司受芯辰半导体（苏州）有限公司的委托，承担芯辰半导体（苏州）有限公司新建3英寸半导体芯片生产及测试封装项目（重新报批）的环境影响评价工作。我公司接受委托后，项目组人员在现场踏勘、基础资料收集和工程分析的基础上，编制完成了本项目环境影响报告书。通过环境影响评价，了解项目建设前的环境现状，预测项目建成后对周围大气环境、水环境及声环境等的影响程度和范围，并提出防治污染和减轻项目建设对周围环境影响的可行措施，为项目的设计、施工和运行的环保工作提供1.2项目特点对照原有环评文件及其批复内容，项目实际建设情况发生重大变动，主要（1）项目增加外延片产品种类，增加外延及配套生产工艺内容。（2）项目增加砷烷、磷烷、乙硅烷、氯气、氯化氢等特气使用，增加三甲基镓、三甲基铟、丙酮、乙醇、硫酸、硝酸、氢氧化钠、双氧水等危化品使用。氯气等特征污染因子，并且颗粒物、氮氧化物、氯化氢、挥发性有机物等污染物排放量增加。（4）项目因产品品种、生产工艺和原辅材料变化，导致增加含砷废水、无机废水、有机废水等生产废水产生量。项目增加外排废水处理系统，不含氮、磷、氟、重金属的生产废水经其处理后接管至双凤污水处理厂集中处理。（5）项目因产品品种、生产工艺和原辅材料变化，导致增加酸碱废液、有机废液、含砷废物等危险废物。对照《污染影响类建设项目重大变动清单（试行）》（环办环评函[2020]688号），变动分析情况详见下表。3类别性质是规模是否）；根据《2023年度苏州市生态环境状况公延片产品种类及产能，导致氮氧化物、是地点否生产工艺导致以下情形之一1）新增排放污染物种类是物料运输、装卸、贮存方式变化，导致大气污否环境保护措施所列情形之一（废气无组织排放改为有组织排放、污染防治措施强化或改进的除外）或大气项目废气污染防治措施的变化属于废气否新增废水直接排放口；废水由间接排放改为直接排放；废水直接排放口位置变化，导致不利否新增废气主要排放口（废气无组织排放改为有组织排放的除外）；主要排放口排气筒高度降否噪声、土壤或地下水污染防治措施变化，导致项目变动后，强化噪声、土壤和地下水否固体废物利用处置方式由委托外单位利用处置改为自行利用处置的（自行利用处置设施单独开展环境影响评价的除外）；固体废物自行处原环评中等离子燃烧水洗装置产生的废是事故废水暂存能力或拦截设施变化，导致环境否41.3环境影响评价工作过程在接受建设单位委托后，我公司首先认真研究了相关法律、法规、规范性文件及园区规划，确定评价文件类型。其次开展初步的现场调查及资料收集，根据建设单位提供的资料，进行初步的工程分析，确定评价重点，制定工作方案，安排进一步环境现状调查与监测。在资料收集完成后，进行工程分析，各环境要素及各专题环境影响分析，提出环保措施并进行技术经济论证，给出污染物排放清单及环境影响评价结论，最终形成环评文件。具体工作程序见图1.3-1。__阶__阶51.4分析判定相关情况1.4.1产业政策符合性分析本项目与相关产业政策分析见下表。芯辰半导体（苏州）有限公司位于太仓市双凤镇工业区（新湖片区-区域一区域一重对照《产业结构调整指导目录（2024年本）》，本项目属于鼓励类的“二十八、信息产无源集成元件、高密度互连积层板、单层、双层及多层挠性板、刚挠印刷电路对照《苏州市产业发展导向目录（2007年）》，本项目属于鼓励类的“三、电子信息产件制造、印刷电路板行业，不生产半导体电路板器件产品。对照《环境保护综合名录（2021对照《江苏省太湖流域禁止和限制的产业产品目录（2024年本）》，本项目不属于限制于物联网、大数据、人工智能、5G、云计算等领域，是新一代信息技术的核心关键技术和信62035年远景目标纲要中明确提出要“加快构建全国一体化大数据中心体系，强化算力统筹智另外，根据《半导体行业-半导体激光芯片行业研究报告》，半导体激光芯片产业链上游定根据苏州市人民政府公开发布的《2024年苏州市重点项目清单》，芯辰新建半导体项目综上所述，本项目能够符合产业政策相关规定要求。1.4.2太湖流域符合性分析根据《省政府办公厅关于公布江苏省太湖流域三级保护区范围的通知》（苏政办发[2012]221号），本项目位于太湖流域三级保护区范围内，与太湖流域相关规范性文件符合性分析见下表。7第二十八条禁止在太湖流域设置不符合国家产业政策和水环境综合治理要求的造纸、制革、酒精、淀粉、冶金、酿造、印染、电镀等排放水污染物的生产项目，现有的生（一）新建、改建、扩建化学制浆造纸、制革、酿造、染料、印染、电镀以及其他排放含磷、氮等污染物的企业和项目，城镇污水集中处理等环境基础设施项目和第四十六向水体排放或者倾倒油类、酸液、碱液、剧毒废渣废液、含放射性废渣废液、含病原体污水、工业废渣以及其他废弃物；（四）在水体清洗装贮过油类或者有毒有害污染物的车辆、船舶和容器等；（五）使用农药等有毒物毒杀水围湖造地；（八）违法开山采石，或者进行破坏林木、植；（本项目含氮磷的生产废水经处理后回用，不外排，不属于条例中禁止建设项目，生产行为不在条例中禁综上所述，本项目能够符合太湖流域相关规定要求。1.4.3长江流域符合性分析本项目距离长江干流约23km，位于长江流域范围内，与长江流域相关规范性文件符合性分析见下表。外本项目不向水体内倾第十三条沿江地区禁止建设各类污染严重的项目。具体本项目不属于污染严第二十七条沿江地区实行水污染物排放许可证制度。禁止无排污许可证或者违反排污许可证的规定排放水污染物本项目依法申领排污第三十四条沿江地区化工以及化工原料制造行业和其他行业的排污单位应当严格执行国家和地方有关排放标本项目废水能够达标准中禁止排放的有机8项目不属于钢铁、造的重要基础，相关规划要符合生态保护红线空间管控要项目不在生态保护红线以及生态空间管控项目不在《<长江经济带发展负面清单指南内济带发展负面清单指南（试版）>江苏省实施细区核心景区的岸线和河段范围内投资建设与风景名胜资本项目不在自然保护国家级和省级风景名胜区核心景区的岸线代表大会常务委员会关于加强饮用水源地保护的决定》本项目不在饮用水水源一级保护区的岸线饮用水水源准保护区9国家级和省级水产种质资源保护区的岸线和河段范围内本项目不在国家级和省级水产种质资源保护区的岸线和河段范园的岸线和河段范围内保护和开发利用总体重要江河湖泊水功能口禁止长江干流、长江口、34个列入《率先全面禁捕的长《<江经济带发展负面清单指南（试行，2禁止在化工企业周边建设不符合安全距离规定的劳动密本项目周边无化工企业本项目不属于国家及不涉及落后产能、工本项目不属于严重过本项目符合法律法规综上所述，本项目能够符合长江流域相关规定要求。1.4.4“三线一单”符合性分析（1）生态保护红线对照《江苏省国家级生态保护红线规划》、《江苏省生态空间管控区域规划》以及《太仓市2021年度生态空间管控区域优化调整方案》，距离项目最近的国家级生态保护红线区域为太仓金仓湖省级湿地公园，距离项目厂界为5225m；距离项目最近的生态空间管控区域为杨林塘（太仓市）清水通道维护区，距离项目厂界为760m。项目不在江苏省国家级生态保护红线区域和生态空间管控区域范围内，符合规划相关要求。称关系积积/（其中G204至吴塘北岸范围/（2）环境质量底线由于《2023年太仓市环境质量状况公报》中未公布各评价因子的具体监测数据，因此本次评价引用《2023年度苏州市生态环境状况公报》中相关数据，项目所在区域O3超标，因此判定为环境空气质量不达标区。根据《苏州市空气质量改善达标规划（2019-2024年）》，苏州市以到2024年环境空气质量实现全面达标为远期目标，通过调整能源结构，控制煤炭消费总量；调整产业结构，减少污染物排放；推进工业领域全行业、全要素达标排放；加强交通行业大气污染防治；严格控制扬尘污染；加强服务业和生活污染防治；推进农业污染防治；加强重污染天气应对措施，提升大气污染防控能力，届时太仓市大气环境质量状况可以得到持续改善。根据《2023年太仓市环境质量状况公报》，2023年太仓市共有国省考断面12个，浏河（右岸）、仪桥、荡茜河桥、新泾闸、鹿鸣泾桥、滨江大道桥、新新丰桥镇3个断面平均水质达到Ⅲ类水标准。2023年太仓市国省考断面水质优Ⅲ比例为100%，水质达标率100%。评价范围内，地下水环境能够达到《地下水质量标准》（GB/T14848-2017）中Ⅳ类标准以上；声环境能够达到《声环境质量标准》（GB3096-2008）中3类标准；土壤各项监测因子均能满足第二类用地土壤污染风险筛选值或农用地土壤污染风险筛选值。项目产生的废气、废水、噪声、固废均得到合理处置，项目建成后，污染物排放总量能够在区域范围内进行平衡，项目排放的各类污染物对周边环境影响较小，不会降低项目所在地的环境功能质量，符合环境质量底线要求。（3）资源利用上线项目利用租赁厂房进行建设，不新增用地；园区环保基础设施完善，项目生产过程中用电、用水、蒸汽需求，均可由市政供电、给水、供热管网提供，项目资源消耗量占园区资源消耗总量相对较少。项目将全过程贯彻清洁生产、循环经济理念，通过采用节水工艺、节电设备等手段，尽可能降低项目的能耗与物耗，项目建设不会达到资源利用上线，与资源利用上线相符。（4）生态环境准入清单生态环境准入清单对照《太仓市双凤镇工业区（新湖片区）规划环境影响报告书》环境准入负面清单进行分析，本项目符合生态环境准入要求。禁止类产业《产业结构调整指导目录（2024年本项目属于鼓励类的“二十八、信息产业”中“5．新型电子元器件制造”《苏州市产业发展导向目录（2007本项目属于鼓励类的“三、电子信息产业”中“（五）新型电子元器件制造”/禁止引入的本项目不属于高水耗、高物耗、高能耗水质经预处理不能满足污水处理厂本项目排放的废水能够达到太仓市双凤本项目排放的恶臭、有毒有害大气污染靠的物料泄漏自动监控装置的液体主要生产原料且无可靠有效的污染本项目使用高毒的砷烷、磷烷原料。项磷烷废气达标排放，环境风险水平处于新增重点污染物排放量且无总量指标来源等不符合总量控制要求的项目本项目废气污染物排放总量和废水污染物排放总量能够在区域内进行平衡；固清洁生产水平不能达到国内先进水本项目清洁生产水平能达到国内先进水平目对生态红线保护区域产生明显不良本项目不在江苏省国家级生态保护红线区域和生态空间管控区域范围内，不会对生态红线保护区域产生不良环境和生绿化防护不能满足环境和生态保护本项目绿化防护能够满足环境和生态保不能满足环评测算出的环境防护距本项目无需设置环境防护距离，环境风片区五靠近区外居住区周边50m不得引入含喷涂和表面处理等易产生本项目位于新湖片区-区域一求镇污水集中处理等环境基础设施项在不增加产能的前提下实施提升环本项目不属于上述行业，不排放含氮磷本项目含重金属废水经处理后回用于冷本项目属于半导体行业，项目使用的丙酮、乙醇等清洗剂不适用《清洗剂挥发不可替代的论证，并取得了中国光学光电子行业协会出具的《关于芯辰半导体片生产及测试封装项目清洗剂不可替代（5）《江苏省“三线一单”生态环境分区管控方案》根据《江苏省人民政府关于印发江苏省“三线一单”生态环境分区管控方案的通知》（苏政发[2020]49号）、《江苏省2023年度生态环境分区管控动态更新成果公告》，本项目所在区域位于江苏省重点区域（流域）生态环境分区范围内，相关内容详见下表。引导长江流域产业转型升级和布局优化调整--农田范围内，投资建设除国家重大战略资源修复和地质灾害治理项目、重大基础设施项本项目不在国家确定的生态保护红线和永久基本本项目不属于该本项目不属于该本项目不属于该本项目排放总量全面加强和规范长江入河排污口管理，有效管控入河污染物排--化纤、危化品和石油类仓储、涉重金属和危本项目采取严格的环境风险防范措施，严防沿江--本项目不属于该本项目不排放含在太湖流域一级保护区，禁止新建、扩建向设项目，禁止新建、扩建畜禽养殖场，禁止本项目不属于该本项目不属于该----废液、含放射性废渣废液、含病原体污水、本项目不向水体内排放或倾倒该--本项目生产过程中用水由园区给水管网提供，项目水资源消耗量占园区资源消耗总量相对较少，不会达到资源利--（6）《苏州市“三线一单”生态环境分区管控实施方案》根据《关于印发<苏州市“三线一单”生态环境分区管控实施方案>的通知》（苏环办字[2020]313号）、《苏州市2023年度生态环境分区管控动态更新成果公告》，本项目所在的太仓市双凤镇工业区（新湖片区-区域一）属于方案中双凤工业园范围内，为重点管控单元，相关内容详见下表。本项目不属于国家及地方本项目符合太仓市双凤镇本项目不在上级生态环境本项目排放的污染物能够本项目采取有效措施减少涉及环境风险源的企业应严格按照国家标准本项目及时编制突发环境立应急小组和储备应急物），括：1、煤炭及其制品（包括原煤、散煤、煤炭等）；2、石油焦、油页岩、原油、重油、渣油、煤焦油；3、非专用锅炉或未配置高效本项目不使用和销售“Ⅲ综上所述，本项目能够符合“三线一单”相关要求。1.4.5审批原则符合性分析本项目与《集成电路制造建设项目环境影响评价文件审批原则（2024年）》相符性分析见下表。项目应符合生态环境保护相关法律法规、法定规划以及相关产业结构调整、重点污染物总量法定规划以及相关产业结构调整、重点污染物项目选址应符合生态环境分区管控要求，不得位于法律法规明令禁止建设的区域，应避开生态保护红线。鼓励新建、扩建项目选址布设在依法合规设立的产业园区内，符合园区规划及本项目选址能够符合生态环境分区管控要求，不在法律法规明令禁止建设的区域和生态保护红线范围内。本项目位于依法合规设立的太仓强化节水措施，鼓励再生水使用，减少新鲜水消耗，鼓励清洗水回用，提高水的回用率和重本项目含重金属废水、含氮磷废水、含氟废水处理达回用标准后，回用于冷却塔和喷淋塔补鼓励采用转轮浓缩吸附燃烧装置处理硅片有机洗、光刻、湿法去胶等工序产生的有机废气；应采用喷淋吸收等有效措施处理衬底清洗、湿法刻蚀、湿法去胶、含氰电镀等工序产生的氯氰化氢等酸性废气以及衬底清洗、显影等工序产生的氨、胺类化合物等碱性废气；化学气相硅烷、磷化氢等特种废气，以及焊接工序产生的铅及其化合物等涉重金属焊接烟尘应配置收集系统和净化处理装置，应采用干式吸附等有效措施处理离子注入工序产生的含砷废气。重氯气、挥发性有机物、氰化物、氨等特征污染本项目有机废气采用二级活性炭吸附装置处理；本项目酸碱废气采用酸碱喷淋塔处理；本项目焊接烟尘和喷砂粉尘采用滤芯除尘器处沉积尾气、刻蚀尾气、氧化尾气，分别采取不同的本地处理系统（POU）进行处理，其中沉积尾气、刻蚀尾气、氧化尾气采用等离子燃烧水洗装置进行处理，外延尾气采用三级湿法喷淋塔处理，烤盘尾气采用干式吸附尾气处理器项目排放的废气污染物应符合《大气污染物综程产生的氨以及污水处理站产生的氨、硫化氢等恶臭污染物排放应符合《恶臭污染物排放标的，厂区内挥发性有机物无组织排放控制应符物排放标准的，废气排放还应符合地方标准要本项目排放的有组织废气能够符合《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）、《恶本项目排放的无组织废气能够符合《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）、《恶按照清污分流、雨污分流、分类收集、分质处回用系统，提高水循环利用率，减少废水外排有机废水、酸碱废水、含重金属废水、含砷废鼓励含重金属废水采用化学沉淀法预处理，砷化镓芯片制造产生的含砷废水采用过滤+化学沉淀法预处理；含氟废水采用化学沉淀法预处理，含氨废水采用吹脱法或厌氧氨氧化法预处理。根据生产工艺及废水排放种类，重点关注氟化物、总氮、总砷、总磷、重金属等特征因本项目废水按照“清污分流、雨污分流、分类低浓度的氮磷废水、重金属废水、含氟废水一起经pH调节+混凝沉淀+A/O+MBR本项目较干净的第三道清洗废水经活性炭过滤本项目不含氮磷、重金属、氟的无机有机废水产废水不含氟化物、总氮、总砷、总磷、重金项目排放的废水污染物应符合《电子工业水污染物排放标准的，废水排放还应符合地方标准本项目排放的废水能够达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）标准要求。按照减量化、资源化、无害化的原则，妥善处理处置固体废物。危险废物应委托有相应危废处置资质的单位进行处置。重点关注危险废物种类识别是否遗漏。鼓励通过综合利用的方式危险废物和一般工业固体废物贮存应符合《危般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》本项目产生的危险废物均委托有资质单位进行本项目按照《建设项目危险废物环境影响评价本项目设置的一般固废仓库属于库房形式，按本项目设置的危废仓库属于贮存库形式，按照消声等措施有效控制噪声污染，加强厂区内固定设备、运输工具、货物装卸等噪声源管理，同时避免突发噪声扰民。厂界噪声应满足《工扩建项目，应强化噪声污染防治措施，进一步本项目设备选型上应优先选用国内外低噪声设备和工艺，设备布局上尽可能远离厂界，同时采取必要的减振、隔声等降噪措施控制噪声排放。项目运营后，建设单位应加强厂区内固定设备、运输工具、货物装卸等噪声源管理，定本项目厂界噪声经预测，能够达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3严格防控项目环境风险，建立完善的环境风险防控体系，提升环境风险防控能力，确保环境风险防范和应急措施合理、有效。针对项目可能产生的突发环境事件应制定有效的风险防范和应急措施，提出运行期突发环境事件应急预案编制要求。化学品库、化学品供应间等化学品存储区应设置事故废水收集或应急储存设施，以及采取其他防液体流散措施。应计算氯气、砷化氢、磷化氢等有毒有害气体的泄漏影本次评价针对项目可能产生的突发环境事件制定合理、有效的风险防范和应急措施，并提出急池，仓库内部采取托盘、导流沟、收集井等本次评价计算了氯气、砷化氢、磷化氢等有毒有害气体的泄漏影响范围并提出相应的环境风土壤及地下水污染防治应坚持源头控制、分区防控、跟踪监测和应急响应的防控原则。项目运输、回收、处置、排放的装置、设备设施及场所，提出防腐蚀、防渗漏、防流失、防扬散等土壤和地下水污染防治具体措施，并根据环境保护目标的敏感程度、项目平面布局、水文地质条件等采取分区防渗措施，提出有效的土壤、地下水监控和应急方案，避免污染土壤和地下水。对于可能受影响的地下水环境敏感目标，应提出保护措施；涉及饮用水功能的，强化地下水环境保护措施，确保饮用水安全。涉及土壤污染重点监管单位的新建、改建、扩建项目，需提出土壤污染隐患排查、土壤和地下本次评价按照“源头控制、分区防控、跟踪监防渗漏、防流失、防扬散等土壤和地下水污染废水收集池、废水站、事故应急池、室外喷淋本次评价提出土壤污染隐患排查要求以及土壤和地下水自行监测要求，并制定合理、有效的改建、扩建项目应全面梳理现有工程存在的环明确项目实施后的环境管理要求和环境监测计划。根据自行监测技术指南和排污许可证申请与核发技术规范要求，制定废水、废气污染物排放及厂界噪声监测计划并开展监测，监测位置应符合技术规范要求。排放全氟辛酸及其盐类和相关化合物（PFOA类）等新污染物的土壤污染重点监管单位，还应依法依规制定周边环境监测计划。电子工业污水集中处理设施运营企业应按照《电子工业水污染物排放标准》（GB39731）开展废水综合毒性监测。本次评价按照《排污许可证申请与核发技术规电子工业》提出废水、废气污染物排放及厂界项目污染防治设施建设依照《中华人民共和国本项目应按照《关于进一步加强环保设备设施安全生产工作的通知》，将环保设备设施安全作为企业安全管理的重要组成部分，严格落实涉环保设备安全“三同时”有关要求，并按照《中华人民共和国安全生产法》有关规定接受环境影响评价文件编制应规范，基础资料数据应符合实际情况，内容完整、准确。环境影响评价结论应明确、合理，符合建设项目环境影响报告表编制技术指南要求，需要开展专项评价的还应符合相关环境影响评价技术导则要本次评价规范编制，基础资料数据由资深半导体行业技术人员根据同类项目的生产研发经验综上所述，本项目能够符合《集成电路制造建设项目环境影响评价文件审批原则（2024年）》相关原则要求。1.4.6消耗臭氧层物质相关要求符合性分析本项目使用三氟甲烷（HFC-23）10kg/a，根据《中国受控消耗臭氧层物质清单》，其属于第九类氢氟碳化物，与消耗臭氧层物质相关规范性文件符合性分析见下表。第九类氢氟碳化物：主要用途为制冷《议定书》及相关修正案规定，2024HFCs平均值加上HCFCs基线水平本项目使用的三氟甲烷用途为半导体行建设单位应积极寻找替代工艺，若发现既能保证产品质量要求又更加环保的刻汰的消耗臭氧层物质用于前款规定的三氟甲烷属于第九类氢氟碳化物，根据根据《关于控制副产三氟甲烷排放的通知》：“六、鼓励企业开展生产技术革质管理条例>修改•专家解读④|为积极来，中国将通过制冷、消防、半导体等行业的绿色替代，对全球氢氟碳化物减排产生深远影响。”本项目使用的三氟甲烷用途为半导体行导体行业原料用途的绿色替代，不属于综上所述，本项目能够符合消耗臭氧层物质相关规定要求。1.4.7新污染物相关要求符合性分析本项目干法刻蚀气氛之一为Cl2+CH4+H2的组合，刻蚀过程中会有微量的氯甲烷生成（主要为一氯甲烷、二氯甲烷），根据《重点管控新污染物清单（2023年版）》，二氯甲烷属于重点管控新污染物，本项目与新污染物相关规范性文件符合性分析见下表。新污染物清基清洗剂、有机溶剂清洗剂中二氯甲本项目使用的各类化学品中均不含有二类制药工业水污染物排放标准》（GB21904）等二氯甲烷排放管控要依据《中华人民共和国大气污染防治相关企业事业单位应当对排污口和周建设单位应定期对二氯甲烷的排放口和周边环境进行监测，评估环境风险，排查环境安全隐患，并采取有效措施防范土壤污染重点监管单位中涉及二氯甲本项目建设后，建设单位应严格执行土壤污染风险管控标准，识别和管控有关点管控新污染物清单和我省补充清单理，严格涉新污染物建设项目准入管击已淘汰持久性有机污染物的非法生本项目不生产、加工使用和进出口重点管控新污染物，二氯甲烷产生工段为有害化学物质进行生产或者在生产过程中排放有毒有害化学物质的企业依晓的方式公布使用有毒有害原料的情害化学物质的替代和排放控制要求纳新污染物治理要求落实情况作为无废本项目建成后，建设单位应开展清洁生产审核工作，采取便于公众知晓的方式公布使用有毒有害原料的情况以及排放有毒有害化学物质的名称、浓度和数量放重点管控新污染物的企事业单位应行的污染控制标准要求及采取的污染事业单位和其他生产经营者应按照相污染重点监管单位应严格控制有毒有污染物清单中所列化学物质的企事业本项目排放的二氯甲烷能够达到《大气（DB32/4041-2021）标准要求及环境质量目标要求，建设单位应按照排污许可管理有关要求，依法申领排污许可证，并在其中载明执行的污染控制标准要求及采取的污染控制措施。建设单位应定期对排放口和周边环境进行监测，评估环境风险，排查环境安全隐患，并采取有效措施防范环境风险。建设单位应建立土壤污染隐患排查制度，防止有毒有综上所述，本项目能够符合新污染物相关规定要求。1.4.8挥发性有机物相关要求符合性分析本项目与挥发性有机物相关规范性文件符合性分析见下表。替代。将全面使用符合国家要求的低VOCs含量原辅材料的企业纳入正面关低VOCs含量产品规定的涂料、油辅材料VOCs含量（质量比）均低于本项目生产过程中需要使用丙酮、异丙月进行了清洗剂暂不可替代的论证，并取得了中国光学光电子行业协会出具的《关于芯辰半导体（苏州）有限公司新本项目建设后，建设单位应建立原辅材分、VOCs含量、采购量、使用量、库存量、回收方式、回收量等信息，并保真空泵负压收集或者通风橱（密闭罩）收集，无法密闭的采用外部集气罩进行车维修等政府定点招标采购企业使用收集，收集后采用二级活性炭吸附装置目中优先使用；引导将使用低VOCs液面逸散以及工艺过程等无组织排放《挥发性有机物无组织排放控制标准》本项目建设后，建设单位应制定VOCs无组织排放控制规程，细化到具体工序和生产环节，以及启停机、检维修作业等，落实到具体责任人；健全内部考核本项目按照“应收尽收”的原则，最大程度提高废气收集效率，减少项目无组真空泵负压收集或者通风橱（密闭罩）收集，无法密闭的采用外部集气罩进行收集，本次评价要求距集气罩开口面最集点位，距集气罩开口面最远处的本项目应加强生产车间密闭管理，在符升治理设施运行率。根据处理工艺要采用自动卷帘门、密闭性好的塑钢门窗本项目建设后，建设单位营运期需加强运行维护管理，做到治理设施较生产设生故障或检修时，对应生产工艺设备应本项目采用二级活性炭吸附装置处理有机废气，本次评价要求二级活性炭吸附行设计，采用颗粒活性炭作为吸附剂，加、及时更换，废活性炭应委托有资质因安全等因素生产工艺设备不能停止毫克/克的活性炭，并按设计要求足量内采用一次性活性炭吸附技术的企业物料投加逐步推进采用密闭式投料装真空泵负压收集或者通风橱（密闭罩）收集，无法密闭的采用外部集气罩进行收集，本次评价要求距集气罩开口面最不低于0.3m/s。废气收集系统的输送管新建治理设施或对现有治理设施实施本项目采用二级活性炭吸附装置处理有机废气，本次评价要求二级活性炭吸附行设计，采用颗粒活性炭作为吸附剂，建设单位营运期需加强运行维护管理，及时更换活性炭等耗材，废活性炭应委托有资质单位定期处置，并做好生产设治理设施耗材维护更换、处置情况等台属于危险废物的应交有资质的单位处为吸附剂时，其比表面积不低于的，应按设计要求及时解吸吸附的VOCs，解吸气体应保证采用高效处理(RTO)燃烧温度一般不低于760℃,催化燃烧装置(CO)燃烧温度一般不低于有条件的工业园区和企业集群鼓励建中心等涉VOCs“绿岛”项目，实现竹木制品、电子等重点行业要加大低称、使用领域、施工配比以及VOCs资建设工程承建单位要自行或委托社本项目生产过程中需要使用丙酮、异丙月进行了清洗剂暂不可替代的论证，并取得了中国光学光电子行业协会出具的《关于芯辰半导体（苏州）有限公司新产生挥发性有机物废气的生产经营活动应当在密闭空间或者密闭设备中进本项目产生挥发性有机物废气的生产经营活动在密闭厂房中进行，配备了挥发效运行挥发性有机物回收或者净化设空间进行的生产经营活动应当采取有性有机物收集和净化设施，生产过程中产生的挥发性有机物经收集处理后达标排放。含有挥发性有机物的物料密闭储点行业挥发性有机物污宜的方式进行有效处理，确保VOCs总去除率满足管理要求，其中有机化率均不低于90%，其他行业原则上不低于75%。含恶臭类的气体可采用微本项目工艺废气收集方式优先采用真空无法密闭的采用外部集气罩进行收集，工艺有机废气处理方式采用二级活性炭吸附，VOCs总收集、净化处理率均不性有机物专项治理工作本项目生产过程中需要使用丙酮、异丙月进行了清洗剂暂不可替代的论证，并取得了中国光学光电子行业协会出具的《关于芯辰半导体（苏州）有限公司新导、指导企业在确保安全生产的前提《挥发性有机物无组织排放控制标准》各地要加大对企业治污设施的分类指本项目采用二级活性炭吸附装置处理有机废气，本次评价要求二级活性炭吸附行设计，确保有机废气排放浓度稳定达发性有机物清洁原料替快推进实施挥发性有机物清洁原料替代工作的涂料、油墨、胶黏剂等项目。2021年本项目属于半导体行业，项目使用的丙酮、乙醇等清洗剂不适用《清洗剂挥发不可替代的论证，并取得了中国光学光电子行业协会出具的《关于芯辰半导体片生产及测试封装项目清洗剂不可替代综上所述，本项目能够符合挥发性有机物相关规定要求。1.4.9其他环保相关文件符合性分析本项目与其他环保相关规范性文件符合性分析见下表。域削减要求，对不符合规定的项目坚决停批停动高炉－转炉长流程炼钢转型为电炉短流程炼本项目不属于高耗能高排放项目，不属于本条规定严禁新增放建设项目生态环境源头防控的指本项目不属于高耗能高排放项化工、焦化、有色金属冶炼、严格长江干支流有关产业园区规划环评审查和本项目符合太仓市双凤镇工业区（新湖片区）生态环境准入本项目不属于高耗能高排放项本项目属于较大环境风险，四邻不存在居民区等敏感目标，符合环境准入条件，在采取严格的环境风险防范措施下，环境风险水平处于可防控的范围施方案》业结构调整指导目录中考虑减污降碳协同增效别。优化生态环境影响相关评价方法和准入要低水平项目，能够符合国家产业规划、产业政策、“三线一单”、污染物区域削减替代等要求，不属于该文件中严禁新本项目主要原辅材料存在砷烷、砷化镓衬底，属于砷及砷化合物，本项目在取得环评批复后，建设单位依法申领排污本项目建成后，建设单位应定期开展清洁生产审核工作，并采取便于公众知晓的方式公布企业相关信息，包括使用有毒排放有毒有害物质的名称、浓本项目各类涉重金属危险废物收集后贮存在危废仓库内，定期委托资质单位进行处置，贮存设施采取了必要的防渗漏、防流失、防扬散等措施，避免入打好重污臭氧污染防治和柴油货车污染治理攻坚战行动实施方案》低水平项目，符合国家和地方产业政策、“三线一单”、园本项目不属于落后产能、落后工艺、落后产品，项目能够符合国家和地方相关法规和标准加快推进工业污水集中处理设施建设。新建冶水处理资质且出水达到国家标准的原料药制造印染、原料药制造项目，不排放含重金属、难降解废水、高盐废水。建设单位依法申领排污许可证和排水许可证，出水与双凤污水处理厂联网实时监项目环境管理、区域环境质量联动的“三挂钩”项目位于太仓市双凤镇工业区（新湖片区）范围内，产生的含氟废水经处理后回用于冷却塔和喷淋塔补水，含氟废物委产不增污”，项目不设置入河化危险废物监管和利用处置能力改新改扩建项目依法严格履行环保、安全、规划、住建、消防、节能审查等相关手续和“三同时”处置项目必须包括八位危险废物代码明确的全危险废物环境影响评价指南》科学评价危险废的重点行业涉危险废物建设项目环境影响评价规划、住建、消防、节能审查本次评价严格按照《建设项目危险废物环境影响评价指南》险废物种类、数量、属性、贮存设施及需要配套的污染防治措施。采取了必要的防渗漏、防流失、防扬散等措施，防止建设项目环评要评价产生的固体废物种类、数一般固体废物和危险废物。不得将不符合废物经营单位项目环评审批要点要与危险废物本次评价严格按照《建设项目危险废物环境影响评价指南》等技术规范文件科学评价了固体废物种类、数量、来源和属性，论述了贮存、转移和利用处置方式合规性、合理性，并提出切实可行的污染防治对策一般固体废物和危险废物，无理体系。按照《环境影响评价技术导则地下水本项目依法进行环境影响评本次评价按照分区防渗要求，提出各项防腐蚀、防渗漏、防遗撒等土壤污染防治具体措评价范围内不存在居民区、学校、医院、疗养院、养老院等建设单位严格按照国家和地方标准规范委托有资质单位设计同时”要求，并及时开展安全风险评估，按要求设置安全监测监控系统和联锁保护装置，综上所述，本项目能够符合环保其他相关规范性文件中规定要求。1.5关注的主要环境问题针对本项目的工程特点和项目周围的环境特点，项目关注的主要环境问题（1）大气环境：项目产生的废气种类较多，需重点关注各类废气产生、收集、处理、达标排放问题，特别是砷烷、磷烷、氯气等特征因子对周围大气环境和敏感目标产生的影响。（2）地表水环境：项目产生的废水种类较多，水质差异大，需重点关注废水分类收集、分质处理，含重金属废水、含氮磷废水、含氟废水、第三道清洗废水经处理后是否能回用，其余废水经处理后是否能达到接管标准，是否能接管至区域污水处理厂集中处理，做到不降低周围地表水环境功能现状。（3）声环境：关注项目新增的各类噪声源经减振、隔声等降噪措施处理后是否能做到厂界达标，做到不降低周围声环境功能现状。（4）固体废物：项目产生的固体废物种类较多，需重点关注项目危险废物产生、分类收集、转移、安全贮存、运输、合规处置等过程，危险废物贮存设施是否合规性建设。（5）地下水和土壤环境：关注项目废水收集池、废水站、危废仓库等重点单元对地下水、土壤环境的影响，是否采取有效的地下水、（6）环境风险：项目厂内贮存化学品种类较多，存在多种易燃易爆、有毒有害物质，具有一定的环境风险。需重点关注项目环境风险防范措施是否可行，环境风险是否达到环境可接受水平。（7）排污总量：关注项目污染物排放总量控制及平衡渠道。1.6环境影响评价的主要结论本项目的建设符合国家和地方产业政策；选址符合规划要求，选址恰当，布局合理；采取的污染防治措施可行可靠，可有效实现污染物达标排放；总量符合控制要求；项目本身对环境污染贡献值小，对周围环境影响小，不会改变区域环境功能现状；能满足清洁生产的要求；环境风险在可接受范围内；经济损益具有正面效应。本次评价认为，在落实各类污染防治措施的前提下，项目在拟建地建设是可行的。2.1编制依据2.1.1国家法律法规、部门规章和规范性文件（1）《中华人民共和国环境保护法》（国家主席[2014]9号令（2）《中华人民共和国环境影响评价法》（国家主席[2018]24号令）；（3）《中华人民共和国大气污染防治法》（国家主席[2018]16号令）；（4）《中华人民共和国水污染防治法》（国家主席[2017]70号令）；（5）《中华人民共和国噪声污染防治法》（国家主席[2021]104号令）；（7）《中华人民共和国土壤污染防治法》（国家主席[2018]8号令）；（8）《中华人民共和国长江保护法》（国家主席[2020]65号令（9）《中华人民共和国清洁生产促进法》（国家主席[2012]54号令）；（10）《中华人民共和国节约能源法》（国家主席[2018]16号令（11）《中华人民共和国循环经济促进法》（国家主席[2018]16号令（12）《建设项目环境保护管理条例》（国务院[2017]682号令（13）《排污许可管理条例》（国务院[2021]736号令）；（14）《太湖流域管理条例》（国务院[2011]604号令（15）《地下水管理条例》（国务院[2021]748号令（16）《消耗臭氧层物质管理条例》（国务院[2023]770号令（17）《危险化学品安全管理条例》（国务院[2011]591号令（18）《突发环境事件应急管理办法》（生态环境部[2015]34号令）；（20）《环境影响评价公众参与办法》（生态环境部[2018]4号令）；（22）《建设项目环境影响评价分类管理名录（2021年版）》（生态环境部（23）《国家危险废物名录（2025年版）》（生态环境部、国家发展和改革委员会、公安部、交通运输部、国家卫生健康委员会[2024]36号令（25）《重点管控新污染物清单（2023年版）》（生态环境部、工业和信息（26）《中共中央国务院关于深入打好污染防治攻坚战的意见》（2021年（27）《关于进一步加强环境影响评价管理防范环境风险的通知》（环发（28）《关于印发<建设项目主要污染物排放总量指标审核及管理暂行办法>的通知》（环发[2014]197号（29）《关于印发<建设项目环境影响评价信息公开机制方案>的通知》（环发[2015]162号（30）《关于加强规划环境影响评价与建设项目环境影响评价联动工作的意见》（环发[2015]178号（31）《关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知》（环环评[2016]150号（32）《关于加强高耗能、高排放建设项目生态环境源头防控的指导意见》（环环评[2021]45号（33）《关于印发<“十四五”环境影响评价与排污许可工作实施方案>的通知》（环环评[2022]26号办环评[2017]84号（35）《关于印发集成电路制造、锂离子电池及相关电池材料制造、电解铝、水泥制造四个行业建设项目环境影响评价文件审批原则的通知》（环办环评（36）《关于启用<建设项目环境影响报告书审批基础信息表>的通知》（环办环评函[2020]711号（37）《关于印发<减污降碳协同增效实施方案>的通知》（环综合[2022]42（38）《关于印发<环境保护综合名录（2021年版）>的通知》（环办综合函（39）《关于印发<2020年挥发性有机物治理攻坚方案>的通知》（环大气（40）《关于加快解决当前挥发性有机物治理突出问题的通知》（环大气（41）《关于进一步加强重金属污染防控的意见》（环固体[2022]17号（42）《关于印发<长江经济带生态环境保护规划>的通知》（环规财[2017]88（43）《关于发布<建设项目危险废物环境影响评价指南>的公告》（环境保护部公告[2017]43号（44）《关于发布<优先控制化学品名录（第一批）>的公告》（环境保护部、工业和信息化部、国家卫生和计划生育委员会公告[2017]83号（45）《关于发布<有毒有害大气污染物名录（2018年）>的公告》（生态环境部、国家卫生健康委员会公告[2019]4号（46）《关于发布<有毒有害水污染物名录（第一批）>的公告》（生态环境部、国家卫生健康委员会公告[2019]28号（47）《关于发布<优先控制化学品名录（第二批）>的公告》（生态环境部、工业和信息化部、国家卫生健康委员会公告[2020]47号（48）《关于发布<排放源统计调查产排污核算方法和系数手册>的公告》（生态环境部公告[2021]24号（49）《关于发布<中国受控消耗臭氧层物质清单>的公告》（生态环境部、发展改革委、工业和信息化部公告[2021]44号（51）《国土资源部国家发展和改革委员会关于发布实施<限制用地项目目录（53）《国家发展改革委商务部关于印发<市场准入负面清单（2022年版）>的通知》（发改体改规[2022]397号（54）《关于进一步加强环保设备设施安全生产工作的通知》（安委办明电2.1.2地方法规、政府规章和规范性文件（1）《江苏省大气污染防治条例》（2018年11月23日江苏省第十三届人民代表大会常务委员会第六次会议修正）；（2）《江苏省水污染防治条例》（2021年9月29日江苏省第十三届人民代表大会常务委员会第二十五次会议修正）；（3）《江苏省太湖水污染防治条例》（2021年9月29日江苏省第十三届人民代表大会常务委员会第二十五次会议修正）；（4）《江苏省长江水污染防治条例》（2018年3月28日江苏省第十三届人民代表大会常务委员会第二次会议修正）；（5）《江苏省环境噪声污染防治条例》（2018年3月28日江苏省第十三届人民代表大会常务委员会第二次会议修正）；（6）《江苏省固体废物污染环境防治条例》（2018年3月28日江苏省第十三届人民代表大会常务委员会第二次会议修正）；（7）《江苏省土壤污染防治条例》（2022年3月31日江苏省第十三届人民代表大会常务委员会第二十九次会议通过）；（8）《江苏省循环经济促进条例》（2021年9月29日江苏省第十三届人民代表大会常务委员会第二十五次会议修正）；（9）《江苏省节约能源条例》（2021年9月29日江苏省第十三届人民代表大会常务委员会第二十五次会议修正）；（10）《苏州市危险废物污染环境防治条例》（2018年11月23日江苏省第十三届人民代表大会常务委员会第六次会议修正）；（11）《江苏省挥发性有机物污染防治管理办法》（省政府[2018]119号令）；（12）《江苏省突发环境事件应急预案管理办法》（苏环发[2023]7号（13）《江苏省生态环境保护公众参与办法》（苏环规[2023]2号（14）《省政府关于印发江苏省国家级生态保护红线规划的通知》（苏政发（16）《省政府关于印发江苏省“三线一单”生态环境分区管控方案的通知》（苏政发[2020]49号（17）《江苏省2023年度生态环境分区管控动态更新成果公告》（江苏省生政办发[2012]221号（19）《省政府办公厅关于印发江苏省强化危险废物监管和利用处置能力改革实施方案的通知》（苏政办发[2022]11号（20）《省政府办公厅关于加快推进城市污水处理能力建设全面提升污水集中收集处理率的实施意见》（苏政办发[2022]42号（21）《省政府办公厅关于印发江苏省深入打好净土保卫战实施方案的通知》（苏政办发[2022]78号（22）《省政府办公厅关于印发江苏省新污染物治理工作方案的通知》（苏政办发[2022]81号（23）《省政府关于江苏省地表水（环境（苏政复[2022]13号（24）《关于印发<江苏省重点行业挥发性有机物污染控制指南>的通知》（苏环办[2014]128号（25）《省生态环境厅关于进一步做好建设项目环评审批工作的通知》（苏环办[2019]36号（27）《省生态环境厅关于将排污单位活性炭使用更换纳入排污许可管理的通知》（苏环办[2021]218号（28）《省生态环境厅关于印发江苏省环境影响评价文件环境应急相关内容编制要点的通知》（苏环办[2022]338号（29）《关于印发<江苏省深入打好重污染天气消除、臭氧污染防治和柴油货车污染治理攻坚战行动实施方案>的通知》（苏环办[2023]35号（30）《省生态环境厅关于印发<江苏省固体废物全过程环境监管工作意见>的通知》（苏环办[2024]16号（31）《江苏省2020年挥发性有机物专项治理工作方案》（苏大气办[2020]2（32）《关于印发<江苏省挥发性有机物清洁原料替代工作方案>的通知》（苏大气办[2021]2号（33）《江苏省排污口设置及规范化整治管理办法》（苏环控[1997]122号）；（34）《省生态环境厅关于印发<江苏省污染源自动监控管理办法（试行）>的通知》（江苏省生态环境厅2021年11月10日发布（35）《关于印发<江苏省地表水氟化物污染治理工作方案（2023-2025年）>的通知》（苏污防攻坚指办[2023]2号（36）《关于印发<长江经济带发展负面清单指南（试行，2022年版）>江苏省实施细则的通知》（苏长江办发[2022]55号（37）《关于发布实施<江苏省限制用地项目目录（2013年本）>和<江苏省禁止用地项目目录（2013年本）>的通知》（苏国土资发[2013]323号（38）《江苏省自然资源厅关于太仓市2021年度生态空间管控区域优化调整方案的复函》（苏自然资函[2021]1587号（39）《省发展改革委省工业和信息化厅省生态环境厅关于印发<江苏省太湖流域禁止和限制的产业产品目录（2024年本）>的通知》（苏发改规发[2024]3（40）《市政府关于印发苏州市产业发展导向目录的通知》（苏府[2007]129（41）《关于印发<苏州市“三线一单”生态环境分区管控实施方案>的通知》（苏环办字[2020]313号（42）《苏州市2023年度生态环境分区管控动态更新成果公告》（苏州市生（43）《关于加快推进实施挥发性有机物清洁原料替代工作的通知》（太大气办[2021]6号）。2.1.3生态环境标准（1）《建设项目环境影响评价技术导则总纲》（HJ2.1-2016大气环境》（HJ2.2-2018地表水环境》（HJ2.3-2018地下水环境》（HJ610-2016声环境》（HJ2.4-2021土壤环境（试行）》（HJ964-2018生态影响》（HJ19-2022（8）《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ169-2018（9）《固体废物鉴别标准通则》（GB34330-2017（10）《危险废物鉴别技术规范》（HJ298-2019（11）《危险废物收集贮存运输技术规范》（HJ2025-2012（12）《污染源源强核算技术指南准则》（HJ884-2018（13）《排污许可证申请与核发技术规范电子工业》（HJ1031-2019（14）《排污单位自行监测技术指南电子工业》（HJ1253-2022（16）《吸附法工业有机废气治理工程技术规范》（HJ2026-2013（17）《环境保护产品技术要求工业废气吸附净化装置》（HJ/T386-2007（18）《环境保护产品技术要求工业废气吸收净化装置》（HJ/T387-2007（19）《电子工业水污染防治可行技术指南》（HJ1298-2023（20）《电子工业废气处理工程设计标准》（GB51401-2019）。2.1.4建设项目有关文件（1）《芯辰半导体（苏州）有限公司新建3英寸半导体芯片生产及测试封装项目环境影响报告表》及其批复（苏环建[2022]85第0217号（2）《太仓市双凤镇工业区（新湖片区）规划环境影响报告书》及其审查意见（苏环评审查[2020]30053号（4）《苏州市“十四五”生态环境保护规划》（苏府办[2021]275号（5）《太仓市“十四五”生态环境保护规划》（太政发[2022]3号（6）《苏州市空气质量改善达标规划（2019~2024）》（苏州市生态环境局（7）《太仓浦源医药原料有限公司拟退地地块（政府收回）土壤污染状况初（8）芯辰半导体（苏州）有限公司新建3英寸半导体芯片生产及测试封装项目（重新报批）其它相关资料。2.2评价因子与评价标准2.2.1环境影响因子识别综合考虑本项目性质、工程特点、实施阶段，结合项目所在区域相关规划及环境现状，识别出可能对各环境要素产生的影响。识别结果详见表2.2-1。气境境源康划CC期CCCCNCNCCCCC根据本项目“三废”排放特征和项目区域环境状况，确定评价因子见表2.2-2。二氧化氮、砷、五氯气、氯化氢、氨气、硫化氢、硫酸雾、非甲烷总烃、其化合物、氟化物、雾、异丙醇、丙酮境--境------萘砷-----2.2.2评价标准2.2.2.1生态环境质量标准（1）环境空气质量标准根据《太仓市双凤镇工业区（新湖片区）规划环境影响报告书》，项目所在区域环境空气功能区为二类区。SO2、NO2、PM10、PM2.5、CO、O3执行《环境空气质量标准》（GB3095-2012）及生态环境部[2018]29号公告的修改单中二级标准；砷、氟化物执行《环境空气质量标准》（GB3095-2012）附录A参考浓度限值；氨气、丙酮、硫化氢、硫酸雾、氯气、氯化氢、五氧化二磷执行《环境影响评价技术导则大气环境》（HJ2.2-2018）附录D其他污染物空气质量浓度参考限值；非甲烷总烃参照执行《环境空气质量非甲烷总烃限值》（DB13/1577-2012）中二级标准。异丙醇参照执行《苏联居民区大气中有害物质的最大允许浓度》（CH245-71）最大一次值。具体标准限值见表2.2-3。NO24PM10砷（2）地表水环境质量标准根据《江苏省地表水（环境）功能区划（2021-2030年）》，杨林塘（阳澄湖-长江）执行《地表水环境质量标准》（GB3838-2002）Ⅱ类水质标准，盐铁塘Ⅲ类水质标准。缸浜、吴塘、东严泾执行《地表水环境质量标准》（GB3838-2002）Ⅳ类标准。具体标准限值见表2.2-4。46（3）地下水质量标准项目所在区域地下水质量执行《地下水质量标准》（GB/T14848-2017）中相应标准。具体标准限值见表2.2-5。pH＜5.5pH＞9>650>2000>350>350铁>2.0锰>1.5锌>5铝>0.5>0.01>10>1.5钠>400>100>1000>4.8>30>0.1>2汞>0.002砷>0.05镉>0.01>0.1铅>0.1（4）声环境质量标准根据《太仓市双凤镇工业区（新湖片区）规划环境影响报告书》，项目所在区域声环境质量执行《声环境质量标准》（GB3096-2008）中3类标准。具体标准限值见表2.2-6。2.2.2.2环境风险管控标准（1）土壤污染风险管控标准项目所在区域建设用地土壤环境质量执行《土壤环境质量建设用地土壤污染风险管控标准（试行）》（GB36600-2018）中第二类用地土壤污染风险筛选值；项目所在区域农用地土壤环境质量执行《土壤环境质量农用地土壤污染风险管控标准（试行）》（GB15618-2018）中农用地土壤污染风险筛选值。若项目所在地土壤在运行期后发现有受污染时，应当以土壤污染风险管制值作为评价标准，并采取风险管控或修复措施。具体标准限值见表2.2-7和表2.2-8。1砷2镉34铜5铅6汞7镍89955苯4䓛萘pH≤5.5pH＞7.5镉汞砷铅铬铜镍锌2.2.2.3污染物排放标准（1）大气污染物排放标准项目变动后，有组织废气中颗粒物、二氧化硫、氮氧化物、非甲烷总烃、氯化氢、氯气、氟化物、硫酸雾、砷及其化合物、二氯甲烷执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1标准；氨、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准；砷化氢、磷化氢、溴化氢、磷酸雾、氯甲烷、丙酮、异丙醇参照执行上海市地标《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表1和附录A标准。具体标准限值见表2.2-9。3//133氨//11335氨//115513项目变动后，无组织废气中颗粒物、氮氧化物、非甲烷总烃、氯化氢、氟化物、硫酸雾执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表3标准；氨、硫化氢、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1中二级标准。具体标准限值见表2.2-10。4氨厂区内VOCs无组织排放限值执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表2标准。具体标准限值见表2.2-11。6项目涉及VOCs物料储存、转移、输送、工艺过程VOCs无组织排放控制，设备与管线组件VOCs泄漏控制，敞开液面VOCs无组织排放控制等均需执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）中相关控制要求。（2）水污染物排放标准项目变动后，项目排放的水污染物执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放限值和表2单位产品基准排水量。具体标准限值见表2.2-12和2.2-13。pH(无量纲)8太仓市双凤污水处理厂尾水排放标准执行苏州特别排放限值标准（苏委办发[2018]77号未规定的其他水污染物执行《城镇污水处理厂污染物排放标准》（DB32/4440-2022）表1中C标准。具体标准限值见表2.2-14。pH值(无量纲)项目变动后，回用水水质执行《城市污水再生利用工业用水水质》（GB/T19923-2024）表1和表2标准。砷应在回用水箱处满足《电子工业水污pH值(无量纲)52（3）噪声排放标准项目施工期场界环境噪声执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB12523-2011）表1中排放限值；营运期厂界环境噪声执行《工业企业厂界-（4）固体废物控制要求项目固体废物产生、收集、贮存、运输、利用、处置等环节执行《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》、《江苏省固体废物污染环境防治条例》、《苏州市危险废物污染环境防治条例》相关规定要求。项目一般工业固体废物采用库房形式进行贮存，其贮存过程应满足防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求；危险废物厂内贮存执行《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）中相关控制要求。2.3评价工作等级和评价重点2.3.1评价工作等级根据本项目污染物排放特征、周边环境情况和环境功能区划，按照《环境影响评价技术导则》所规定的方法，确定本次环境影响评价的等级。2.3.1.1大气环境影响评价工作等级根据《环境影响评价技术导则大气环境》（HJ2.2-2018）附录A中的AERSCREEN模型计算相应浓度占标率，然后采用评价工作分级方法判断大气评价等级。评价等级判别见表2.3-1，估算模型参数见表2.3-2，采用估算模型计算结果见表2.3-3，占标率Pi计算公式：Pi—第i个污染物的最大地面空气质量浓度占标率，%；Ci—采用估算模型计算出的第i个污染物的最大1h地面空气质量浓度，μg/m3；C0i—第i个污染物的环境空气质量浓度标准，μg/m3。/是否//1///2//PM10/砷//////3/PM10/砷//////4PM10/5/6/PM10//////7/8/根据表2.3-3，项目产生最大地面空气质量浓度的污染源为P3排气筒排放的砷及其化合物，占标率Pmax约为38%＞10%。根据表2.3-1，确定项目大气环境影响评价工作等级为一级。2.3.1.2地表水环境影响评价工作等级根据《环境影响评价技术导则地表水环境》（HJ2.3-2018），项目属于水污染影响型，水污染影响型建设项目评价等级判定标准见表2.3-4。-项目废水排放方式为间接排放，对照水污染影响型建设项目评价等级判定标准可知，项目评价等级为三级B。2.3.1.3地下水环境影响评价工作等级根据《环境影响评价技术导则地下水环境》（HJ610-2016）中附录A地下水环境影响评价行业分类表，项目属于“K机械、电子；80、电子真空器件、集成电路、半导体分立器件制造、光电子器件制造及其他电子器件制造”中“有分割、焊接、酸洗或有机溶剂清洗工艺的”类别，因此地下水环境影响评价项目类别为Ⅲ类。根据现场勘查及相关资料调研，项目地下水评价范围内已实现集中供水，且无地下水开采及使用现象，项目所在地周边不存在集中式饮用水水源准保护区，亦不属于水源准保护区以外的补给径流区，也不属于其他特殊地下水资源保护区。因此项目所在地地下水环境敏感程度为不敏感。地下水环境敏感程度分级见表2.3-5。准保护区；除集中式饮用水水源以外的国家或地方政府设定的与地下水环境相关的其准保护区以外的补给径流区；未划定准保护区的集中水式饮用水水源，其保护区以外 注：a“环境敏感区”是指《建设项目环境影响评价分类管理名录》中建设项目地下水环境影响评价工作等级划分见表2.3-6。根据分级表，项目为Ⅲ类项目，地下水环境敏感程度为不敏感，故项目地下水环境影响评价工作等级为三级。一一二一二三二三三2.3.1.4声环境影响评价工作等级项目所在区域声环境功能区划为《声环境质量标准》（GB3096-2008）规定的3类区且项目边界向外200m范围内无声环境保护目标。因此根据《环境影响评价技术导则声环境》（HJ2.4-2021）中“5.1评价等级”，项目声环境影响评价工作等级为三级。2.3.1.5土壤环境影响评价工作等级项目土壤环境影响类型属于污染影响型，根据《环境影响评价技术导则土壤环境（试行）》（HJ964-2018）中附录A土壤环境影响评价项目类别，项目属于“设备制造、金属制品、汽车制造及其他用品制造”中“有化学处理工艺的”，项目类别为Ⅱ类。污染影响型项目土壤环境敏感程度分为敏感、较敏感、不敏感三级，判别依据见表2.3-7。项目土壤环境影响途径主要为大气沉降，项目大气沉降影响范围内存在耕地等土壤环境敏感目标，敏感程度为敏感。项目占地规模约为1.68hm2，小于5hm2，占地规模属于小型。对照污染影大中小大中小大中小---2.3.1.6生态影响评价工作等级项目属于污染影响类建设项目，位于太仓市双凤镇工业区（新湖片区）规划范围内，符合规划环评相关要求，不涉及生态敏感区。根据《环境影响评价技术导则生态影响》（HJ19-2022）中“6.1评价等级判定”，项目可不确定评价等级，直接进行生态影响简单分析。2.3.1.7环境风险评价工作等级1、危险物质数量与临界量比值（Q）根据《建设项目环境风险评价技术导则》（HJ169-2018）附录C，计算项目所涉及的每种危险物质在厂界内的最大存在总量与其对应临界量的比值Q。当存在多种危险物质时，按照下式Q值计算：当Q＜1时，该项目环境风险潜势为Ⅰ;当Q≥1时，将Q值划分为：(1)1≤Q＜10；(2)10≤Q＜100；(3)Q≥100。项目涉及的危险物质与临界量比值（Q）见下表。内容涉及商业机密，已删除。由上表可知，项目Q值为2.17447（1≤Q＜10）。2、行业及生产工艺（M）分析项目所属行业及生产工艺特点，按照下表评估生产工艺情况。具有多套工艺单元的项目，对每套生产工艺分别评分并求和。将M划分为(1)M>20；(2)10<M≤20；(3)5<M≤10；(4)M=5，分别以M1、M2、M3和M4表示。5a高温指工艺温度≥300℃,高压指压力容器的设计压力（P）≥10.0MPa；项目属于电子行业，生产过程涉及高温并存在危险物质工艺，行业及生产工艺M值确定见下表。内容涉及商业机密，已删除。综上，项目M值为60，以M1表示。3、危险物质及工艺系统危险性（P）分级根据危险物质数量与临界量比值（Q）和行业及生产工艺（M），项目危险物质及工艺系统危险性等级确定情况见下表。项目危险物质数量与临界量比值（Q）属于1≤Q＜10，行业及生产工艺（M）划分为M1，故项目危险物质及工艺系统危险性等级判定为P2。4、各要素环境敏感程度（E）的分级①大气环境依据环境敏感目标环境敏感性及人口密度划分环境风险受体的敏感性，共分为三种类型，E1为环境高度敏感区，E2为环境中度敏感区，E3为环境低度敏感区，分级原则见下表。项目周边5km范围内居住、医疗卫生、文化教育、科研、行政办公等机构人口总数约111638，大于5万人；周边500m范围内人口总数2250，大于1000人。因此，本项目大气环境敏感程度为E1。②地表水环境地表水功能敏感性分区按下表进行判定，项目雨水受纳水体为吴塘、东严泾，水环境功能均为Ⅳ类水体。故项目地表水功能敏感性分区为低敏感F3。或以发生事故时，危险物质泄漏到水体的排放点算起，排放进入受纳河流最大流速时，24h或以发生