(高清版)DB3202∕T 1033-2022 硅集成电路芯片制造企业职业病危害预防控制技术规范　　

DB3202DB3202/T1033—2022硅集成电路芯片制造企业职业病危害预防控制技术规范TechnicalSpecificationforpreventionandcontrolofoccupationalhazardsinbatterymanufacturingindustry2022-07-20发布2022-07-27实施无锡市市场监督管理局发布I12化学气相沉积chemicalvapordeposi34.1企业4.1.1按照职业病防治法的要求建立职业健康管理体系，设立专职职业卫生管理人员，开展4.1.2制定职业病危害预防控制计划，包括职业病危害因素识别、风险评估及预防控制的实施4.1.3建立职业病危害岗位职业卫生操作规程和职业病防护用品管理制度，督促劳动者遵守4.1.4建立工作场所职业病危害因素监测及评价制度，实施由专人负责的有毒化学品在线日常监测,当至少每月进行一次职业中毒危害因素检测；至少每半年进4.1.5开展职业卫生培训：企业负责人和职业卫生管理人员应接受职业卫生法律知识、卫生4.1.6开展健康促进工作：采取综合干预措施，为劳动者创造健康的工作环境和条件，预防4.1.7为劳动者缴纳工伤保险，落实4c)以书面形式将职业健康检查结果如实告知劳动者本人。4.2.1主动参与企业职业健康管理体4.2.2遵守职业卫生操作规程，发现职业危害隐患应及时报告，并积极参与隐患的消除。工4.2.3当工作场所发生职业病危害事故时，应按照应急预案立即向管理人员报告，并停止作4.2.4积极参与和配合企业提供的职业卫生技术服务，如职业卫生培训、职业病危害因素检4.3供应商和承包商4.3.1硅集成电路芯片制造原材料供应商应提供合格的安全技术说明书，生产设备供应商应提4.3.3承包商应提供给劳动者有效的个人防护4.4工会4.4.4收集并分析劳动者对职业病防治工作的5职业接触的危害识别与风险评估5.1.1硅集成电路芯片制造主要包括硅片制造车间、装配与封装车间及辅助生产车间。主要55.1.2硅集成电路芯片制造存在多种职业病危害因素，包括化学有害因素（含粉尘和化学物5.2风险评估6.1.2宜优先采用先进的生产工艺和技术，提高生产过程的机械化、自动化和密闭6.1.3应采用有效的职业病防护设施，进行经常性的维护、检修，定期检测其性能66.2.1.1硅片制造车间输送各类化学品的管线应采用机械化、管道化和自动化，密闭或负压6.2.1.2制造车间工艺设备应设排风系统，并根据尾气中不同的介质分别接入相应的废气处6.2.1.4生产过程中使用到的特种气体，特别是以钢瓶储存形式的氨6.2.1.5危险品库房应设防爆型易燃气体浓度检测传感器和有毒气体浓度检测传感器，库房6.2.1.6硅片制造区应设由新风空调系统及循环空调系统组成的空调净化系统。合理布置新6.2.1.8制定有毒有害化学品现场检维修作业方案；对存在氢氟酸、盐酸、硝酸、氨、四甲6.2.2.2空气调节机组与风管之间采取软连接；机组出风口设置消声器；在技术夹层高度允6.2.3.1扩散氧化炉、化学气相沉积设备等存在高温部件的检修区应设置围栏或醒目的警示6.2.4.2接触放射线的工作人员应该佩戴个人剂量计，对工作人员职业照射水平进行监测控76.2.5.1所选用的光刻设备等对紫外线应具有较好的屏蔽性，采用防紫外线玻璃观察窗，材6.2.5.2对产生高频高压电场的化学气相沉积等设备采取屏蔽措施，确保作业场所的电6.2.5.3硅片制造岗位的工作人员在传送硅片时腕部频繁活动，需改进工具、考虑操作和工6.3.1.2镀锡预处理活化槽、电镀槽、退镀槽、烘干区等设置机械通风排6.3.1.3存在化学灼伤危险的作业区（如强酸、强碱储存及使用区域），设置必要的6.3.2.1磨片、清洗区独立设置，采用双层玻璃门窗、闭门器等隔6.3.4.1使用激光进行打孔、切割、修值、定位、划片的设备应采取相应的卫生防护措施，），86.4.1.3硅烷、氨、氯、砷化氢、磷化氢等有毒特种气体的储存间和配送间内应设置有效的6.4.1.4从工作间（区）排出的含有尘、毒的废气、废水、废渣应进行相应的无害化治理，6.4.1.6散发有毒气体的生产废7.2对本单位存在的职业病危害因素进行排查，针对可能发生职业病危害事故7.3应急救援预案应明确指挥与协调、各部门责任人、事故发生后的疏散路线7.4发生职业病危害事故时，应立即采取应急救援和控制措施，并及时报告所7.6工作场所应合理配置应急防护用品、现场急救用品、应急广播通讯器材、8职业病危害防治工作的评估8.1定期组织安全、技术、工会等部门人员、职业卫生管理人员、职工代表和专家，9干法腐蚀离子注入硅集成电路芯片制造企业各岗位存在的职业病危害因素硅集成电路芯片制造企业不同岗位可能存在多种职业病危表B.1硅集成电路芯片制造企业各岗位存在的职业病危害因素、采取的防及紫外线镜防毒口罩、防烫手等管线密闭、通风排毒、屏蔽 湿式作业、通风排