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文档简介

碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体编制说明晶圆氧化温度约在800℃~1300℃之间，且对环境中金属杂质含量要协会。本标准参照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标经济适用原则:在制定团体标准时，充分考虑碳化硅陶瓷晶舟制可证实原则:标准中涉及的各项性能指标，规定相应的试验条件符合法律法规和政策要求:在制定团体标准时，严格遵守国家现本文件适用于碳化硅质量分数含量不小于99.99%的碳化硅陶瓷原材料的纯度和主要杂质元素含量影响碳化硅陶瓷晶舟制品的表1产品纯度%/C/表2主要杂质元素mg/kgmg/kgmg/kgmg/kgmg/kg表3各牌号粒度分布牌号>25>2产品的堆积密度和颗粒密度影响碳化硅陶瓷晶舟制品的体积密表4各牌号堆积密度和颗粒密度牌号在对不同碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体产品测试数据粉体的纯度、主要杂质元素含量按ISO/TS15338规定的项目单位样品1样品2样品3样品4样品5标准要求产品纯度F240SiC%99.991099.991899.991899.991699.9907≥99.99Si/主元素主元素主元素主元素主元素主元素C/主元素主元素主元素主元素主元素主元素F1200SiC%99.992099.991699.991099.991799.9911≥99.99Si/主元素主元素主元素主元素主元素主元素C/主元素主元素主元素主元素主元素主元素主要杂质元素含量F240Femg/kgAlmg/kgNamg/kg78679Mgmg/kg889Camg/kg9677F1200Femg/kgAlmg/kgNamg/kg98776Mgmg/kg9856Camg/kg86798粒度F240D10um24.1426.8927.5427.0527.83>25D50um47.1148.4249.1048.6448.8848.0±1D90um85.1086.2090.3287.2088.78F1200D10um2.422.202.382.242.10>2D50um4.483.863.524.863.544.0±0.5D90um9.449.229.769.899.62堆积密度F240g/cm31.5221.5531.4971.5101.541≥1.50F1200g/cm30.7560.7500.7600.7550.753≥0.75颗粒密度F240g/cm33.153.143.123.133.14≥3.12F1200g/cm33.123.133.183.143.14≥3.12标准化的碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体生产将推动碳我国碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体和碳化硅陶瓷晶舟制品（1）与有关的现行法律、法规和规章制度的符合性，特别是与（1）加大标准宣传力度，提高认知度，在碳化硅陶瓷晶舟制品用高纯碳化硅粉体生产领域以及下游设备的设计和应用企业加强宣（2）标准归口单位进行贯标指导，组织标准宣贯培训班，由标

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