T-EBA 40004-2024 （10-1~10-7）Pa真空计现场校准规范

公开中国团体标准（10-1~10-7）Pa真空计现场校准规范CalibrationSpecificationforOn-siteCalibrationof(10-1~10-7)Pa北京电子仪器行业协会发布I发北京航空材料研究院、成都兴睿宝电子科技有限公司、亿维智能航天科技（烟台郭宇扬、余荣、陈春、蓝娟、高威、陈静、贺良（10-1~10-7）Pa真空计现场校准规范是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。采用动态的方法得到的标准压力与被校准真空计所测压力相比较的校准方针对高精度电子器件的生产现场所使用的真空设备不能长时间停产，为了现场真空度参数的校准2动态流量法是在分子流条件下采用进气小孔C1对较高压力的气体连续膨准室下方的限流抽气小孔C2对校准室连续抽气，在校准室中形成动态P2—校准室中的压力，单位：Pa；通过进气阀门向校准室中引入一定量的气体，同时通过校准室下方的限流抽气小孔对校准室连续抽气，在校准室内形成动态稳定的气体压力，通过被校准真空计和参考标准同时测+100%；-60%工作温度范围、准确度等级或引用误差、制造计量器具许可证标志和编号、制造b)真空计显示的数字应醒目、整齐，表示功能的文字符号和标识应完整、清晰、端正。c)周围无影响正常校准的电磁干扰，无剧烈振动1234作为校准点，校准过程选择校准压力点按照由低到高的用目视方法检查，被校真空计接入标准装置，在真空状态下，通电后控制单元显示是否a)打开机械泵抽气，打开旁通阀门V10抽气，在G2读数小于100Pa后关闭阀门V10，打开阀门V1b)关闭阀门V6在G2读数小于10-2Pa后打开真空规G1，在校准室压力小于1×10-4Pa后且G2正常工c)调节阀门V4向校准室引入一定压力的氮气，使G2的压力稳定3×10-4Pa压力点附近，待压力稳4d)依照步骤c继续调节阀门V4的开度，使G2的压力依次稳定在1×10-4Pa、6×10-4Pa、9×10-4P1×10-3Pa、6×10-3Pa、9×10-3Pa、1×10-2Pa、6a)打开机械泵抽气，打开旁通阀门V10抽气，在G2读数小于100Pa后关闭阀门V10，打开阀b)打开G3、G4、G5及被校准真空计，当G3、G4、G5稳定3小时以上且装置本底压力小于5×10-3d)通过阀门V5、选取C2或C3向校准室VC1中进气。a)校准数据按四舍五入及偶数法则进行修约，保留的有效位数应使末位数与测量b)校准结束后应出具校准证书，校准证书中，应该包括校准条件下，校准所得各种数据，并给c)校准证书应包括委托方要求的、说明校准结果所必需的和所用方法要求A.1在（10-1～10-4）Pa范围内的不确定度评定采用动态比对法，在（10-1～10-4uc,r=√（A.1）ur=kuc,r（A.2）e)参考标准与被校真空计温度变化(±1℃);a)压力测量及膨胀的重复性，引入的b)根据真空标准的规定，要求本底真空高于最小被校压力的2个量级，这样本底造成的影响是规管相互之间影响量，引入的不确定度分量u3；e)在校准过程中温度变化为±1℃,按B类评定u5。1/2√33√34//5变化(±1℃)√3uc,r=√uEQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),1)+uEQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),2)+uEQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),3)+uEQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),4)+uEQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),5)A.2.5扩展不确定度Ur合成标准不确定度按公式（A.1)计算，取包含因子k=2，则扩展不确定度为：ur=2uc,r。A.2在（10-4～10-7）Pa范围内的不确定度评定采用动态流量法，在（10-4～10-7。其误差校准的测量模型可用下面公式计算，uc,r=√（A.3）6ur=kuc,r（A.4）f)参考标准与被校真空计温度变化(±1℃);b)依据电容薄膜真空计相关研究，参考标准的稳定度引入的不确定度为u2；c)根据装置试验报告结果，返流比引入不确定度e)抽气小孔流导测量引入不确定f)在校准过程中温度变化为±1℃,按B类评定，引入不确定度u6。g)装置的极限真空度小于1×10-7Pa，本122//3//4//5//6√37变化(±1℃)√3EQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),1)EQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),2)EQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),3)EQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),4)EQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),5)EQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),6)EQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),7)A.2.5扩展不确定度Ur合成标准不确定度按公式（A.3)计算，取包含因子k=2，则扩展不确定度为：ur=2uc,r。CertificateofCalibration地址Address编号S/N接收日期：年月日校准日期：AcceptanceDate：MonthDayDay校准人：审核人：批准人：Approvedby:DayIssuedDate：8校准使用的主要测量标准标准名称STDNames编号S/NCert.No./Traceto有效期至DueDate////////////