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3402ProcesstechnologyforOGStouchscreenblackphotoresI本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件起草单位:芜湖长信科技股份有限公司、芜湖长信新型显示器件有限公司、赣州市德普特科1OGS触控屏黑光阻制程工艺GB/T25915.1洁净度及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度黑光阻显影液blackphotoresistd一种主要由氢氧化钾、表面活性剂组成的，能够4组成成分2等级应符合GB/T25915.1中按粒子浓度划分的空气洁净度I在完成SiO2镀膜的玻璃基板上通过涂布机涂上一层黑光阻，经前烘烤固化后，利用365nm波段的紫区域黑光阻，再经过后烘烤彻底固化，最终在基板6.3.1应对玻璃基板的数量、面别、表观进行检查，6.5.1将玻璃基板固定到工作台面，涂布机刀头与玻璃基板之间距离控制在（85～306.5.2开启涂布机进行涂布作业，涂布速度为（55～200）mm/sec，涂布压力为（0.03～0.6.5.3涂布过程中玻璃基板与工作台面应固6.6.1将完成涂布的玻璃基板放入烤炉中烘烤，烘烤温度为（80～120）℃,时间为（120～200）s。3的氢氧化钾，显影温度为（22～26）℃,显影时间为（60～90）s，喷淋压力为（0.3～1.0）kg/cm2。6.8.2显影过程中，玻璃基板不应与显影设备或其他物体发生摩擦和6.9.1将显影后的玻璃基板
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