GB/T 15074-2025电子探针定量分析方法通则

ICS7104099

CCSN.53.

中华人民共和国国家标准

GB/T15074—2025

代替GB/T15074—2008

电子探针定量分析方法通则

GeneralspecificationforEPMAquantitativeanalysis

2025-03-28发布2025-10-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T15074—2025

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

方法原理

4…………………1

仪器设备和标样

5…………………………1

试样制备

6…………………3

测量前的准备

7……………3

测量条件

8…………………4

测量步骤

9…………………5

各元素质量分数的计算

10…………………6

测量不确定度

11…………………………10

分析报告

12………………12

附录资料性电子探针定量分析结果测量不确定度评定示例

A()……13

Ⅰ

GB/T15074—2025

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替电子探针定量分析方法通则与相比除结

GB/T15074—2008《》,GB/T15074—2008,

构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

,:

更改了范围见第章年版的第章

a)(1,20081);

增加了术语和定义见第章

b)(3);

更改了方法原理的表述见第章年版的第章

c)(4,20083);

更改了电子探针主要结构图和描述见年版的第章

d)(5.1.1,20084);

增加了电子探针束流稳定度的要求见

e)(5.1.2);

增加了电子探针校准检定的建议见

f)/(5.1.2);

更改了电子探针环境条件的要求见年版的第章

g)(5.2,20085);

更改了标样的选择原则要求和使用见年版的第章

h)、(5.3,20088);

更改了试样制备的要求见第章年版的

i)(6,200812.1);

更改了测量前的准备内容删除了射线计数系统增加了综合检查总量误差的要求见第

j),X,(7

章年版的第章

,20086);

更改了加速电压的推荐值见年版的

k)(8.1,20087.1);

更改了电子束流选择原则见年版的

l)(8.2.1,20087.2.1);

增加了谱线干扰解决方法见

m)(8.3.3);

更改了束斑直径的描述增加了试样和标样束斑直径应一致的要求见年版的

n),(8.4,20087.4);

更改了定性分析的目的见年版的

o)(9.1,20089.1);

更改了元素测量顺序的建议见年版的

p)(9.2.1,200812.2.2);

删除了各元素射线强度测量的次序见年版的

q)X(200812.3);

增加了不能测试轻元素的处理方式见

r)(9.2.2);

更改了背底强度的测量公式见年版的

s)(9.3.5,200811.6);

更改了相对射线强度的计算公式见年版的

t)X(10.2,20089.4);

更改了校正法的元素适用范围见年版的

u)ZAF(10.3.2.1,200813.2.1);

增加了φρz法和法见和

v)()XPP(10.3.310.3.4);

更改了系数校正法法因子法见年版的

w)α(B-A、α)(10.3.5,200813.3);

更改了校准曲线法选用标样的数量见年版的

x)(10.3.6.2,200813.4.2);

增加了测量不确定度的评定步骤见第章

y)(11);

更改了分析报告的要求见第章年版的第章

z)(12,200815)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC38)。

本文件起草单位核工业北京地质研究院中国地质科学院矿产资源研究所首钢集团有限公司

:、、、

广东省科学院工业分析检测中心

。

本文件主要起草人葛祥坤范光陈振宇鞠新华伍超群

:、、、、。

本文件于年首次发布年第一次修订本次为第二次修订

1994,2008,。

Ⅲ

GB/T15074—2025

电子探针定量分析方法通则

1范围

本文件规定了电子探针显微分析仪电子探针定量分析的仪器设备标准样品试样制备测量前

()、、、

的准备测量条件的选择测量过程电子束入射电流的测量各元素质量分数的计算测量不确定度的

、、、、、

评定和结果报告

。

本文件适用于电子探针对试样中各元素的定量测量及数据处理带有波谱仪的扫描电镜的定量分

,

析参照执行

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

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微束分析电子探针显微分析术语

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