电子气体 四氟化硅 征求意见稿

1GB/T31058—XXXX电子气体四氟化硅本文件规定了电子用四氟化硅的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求，提供了四氟化硅的安全信息。本文件适用于以硅和氟化氢为原料提纯制得的电子用四氟化硅。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件GB190危险货物包装标志GB/T4844纯氦、高纯氦和超纯氦GB/T5099（所有部分）钢质无缝气瓶GB/T7144气瓶颜色标志GB/T11640铝合金无缝气瓶GB/T14194压缩气体气瓶充装规定GBl5258化学品安全标签编写规定GB/T16804气瓶警示标签GB/T28726气体分析氦离子化气相色谱法GB/T33145大容积钢质无缝气瓶GB/T34972电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法GB/T43306气体分析采样导则GB/TXXXX电子气体中酸度的测定第1部分：傅里叶变换红外光谱法TSG23气瓶安全技术规程3术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。4技术要求四氟化硅的技术要求应符合表1的规定。表1技术要求GB/T31058—XXXX2<1×10+Ar)含量（摩尔分数）<0.5×10<4×10<0.1×10<0.3×10<1×10<0.1×10<0.1×10<3×10<5×10<3×10<5×10<30×10<15×10<10×10<15×10<30×10<10×10<10×10<30×10<5×105采样四氟化硅的采样应符合GB/T43306的规定。6试验方法警示：本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况，使用者应采取适当的安全和健康防护措施。6.1四氟化硅纯度6.1.1杂质总含量GB/T31058—XXXX3杂质总含量按式(1)计算：x10=x1+x2+x3+x4+x5+x6+x7+x8+x9………………(1)式中：x1——氢含量(摩尔分数)；x2——（氧+氩）含量(摩尔分数)；x3——氮含量(摩尔分数)；x4——一氧化碳含量(摩尔分数)；x5——二氧化碳含量(摩尔分数)；x6——甲烷含量(摩尔分数)；x7——硫化氢含量（摩尔分数）；x8——二氧化硫含量（摩尔分数）；x9——氟化氢含量（摩尔分数）；x10——杂质总含量（摩尔分数）。6.1.2四氟化硅纯度6.1.3四氟化硅纯度按式(2)计算：2-2………(2)式中：x——四氟化硅纯度(摩尔分数)，10-2。6.2氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、硫化氢、二氧化硫含量的测定6.2.1测定方法按GB/T28726规定的方法测定四氟化硅中氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、硫化氢、二氧化硫含量。可采用其他等效的方法测定。当对测定结果有异议时，以本文件规定的方法为仲裁方法。6.2.2预分离柱长约0.6m、内径约2mm的不锈钢管,内装约粒径为0.18mm～0.25mm的碳分子筛，或其他等效预分离柱。6.2.3色谱柱6.2.3.1色谱柱І：长约1.5m、内径约3mm的316L不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的5A分子筛，或其他等效色谱柱。该柱用于测定氢、氧+氩、氮、一氧化碳和甲烷含量。6.2.3.2色谱柱Ⅱ：长约2m、内径约2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的高分子聚合物（乙基苯乙烯和二乙烯基苯共聚物），或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化硫含量。6.2.3.3色谱柱Ⅲ：长约30m、内径0.32mm、内涂乙基苯乙烯和二乙烯基苯共聚物的毛细柱，或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳、硫化氢含量。GB/T31058—XXXX46.2.4标准样品标准样品中组分含量为（1~5）×10-6（摩尔分数），平衡气为高纯氦，应符合GB/T4844的规定。6.3氟化氢含量的测定6.3.1测定方法按GB/TXXXX《电子气体中酸度的测定第1部分：傅里叶变换红外光谱法》的规定的方法测定四氟化硅中氟化氢含量。可采用其他等效的方法测定。当对测定结果有异议时，以GB/TXXXX规定的方法为仲裁方法。6.3.2测定条件参考的测定条件如下：——氟化氢特征峰波数：4034cm-1～4043cm-1；——分辨率：0.5cm-1～2cm-1；——环境温度：18℃~25℃;——环境相对湿度：≤60%；——其他测定条件按照仪器说明书执行。6.3.3标准样品测定四氟化硅中氟化氢含量时，宜有3种不同组分含量的气体标准样品，氟化氢的含量分别约为：1×10-6（摩尔分数）、2×10-6（摩尔分数）、5×10-6（摩尔分数），平衡气为高纯氦，应符合GB/T4844的规定。6.4金属元素及其他元素含量的测定按GB/T34972的规定执行。6.5尾气处理测定时，应有四氟化硅尾气处理措施，以防止四氟化硅对环境的污染。7检验规则四氟化硅产品应逐一检验并验收。当检验结果均符合表1的规定时，判该产品合格。当检验结果有任何一项指标不符合表1的规定时，则判该产品不合格。8标志、包装、运输、贮存及安全信息8.1标志8.1.1四氟化硅出厂时应有产品质量合格证，其内容至少应包括：——产品名称，生产厂名称，危险化学品生产许可证编号；——生产日期或批号，以及保质期；GB/T31058—XXXX5——充装质量（kg——本文件号及四氟化硅的纯度。8.1.2包装容器上应涂刷“电子气体四氟化硅”字样。8.1.3四氟化硅的包装标志应符合GB190的规定，颜色标志应符合GB/T7144的规定，标签应符合GB15258、GB/T16804的规定。8.2包装、运输及贮存8.2.1包装四氟化硅的气瓶应符合GB/T5099（所有部分）、或GB/T11640或GB/T33145的规定。8.2.2四氟化硅的充装及贮运应符合GB/T14194、TSG23的规定，充装及贮运的安全管理条例见《危险化学品安全管理条例》、《特种设备安全监察条例》。8.2.3宜使用进行内表面处理的气瓶,处理后的气瓶应符合本文件的规定。瓶阀出气口连接方式宜使用CGA330。8.2.4应防止泄漏和瓶口被污染。8.2.5四氟化硅产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，不应暴晒，远离热源。8.3安全信息四氟化硅的安全信息见附录A。GB/T31058—XXXX6（资料性）安全信息A.1基本信息A.1.1化学式：SiF4；中文名：四氟化硅；英文名：Silicontetrafluoride。A.1.2相对分子质量：104.0786（按2018年国际相对原子质量计算）。A.1.3CAS号：7783-61-1、UN危险货物编号:2411。A.1.4物理性质：沸点：-94.8℃,熔点：-86.8℃；气体相对密度，101.325kPa和21.1℃时3.594（空气=1）。A.2危险性说明四氟化硅遇水分解生成的氟化氢等氟化物对人体产生毒作用。它对皮肤、眼睛和呼吸道粘膜产生刺激和附属作用，能引起流泪、眼痛、咳嗽、呼吸困难、肺水肿等症状。长期接触可引起牙齿酸蚀症及骨硬化症。A.3操作注意事项A.3.1生产过程严格密闭操作，提供局部通风和全面通风。操作人员经过专门培训，严格遵守操作规程。A.3.2操作人员穿戴适当的个人防护装备。A.3.3使用不易产生火花的机械设备和工具。A.3.4设备接地，使用防爆型的通风系统和设备。A.4紧急情况应对措施A.4.1切断气源。若不能切断气源，则不熄灭泄漏处的火焰。A.4.2消防人员佩带空气呼吸器，穿全身防火防毒服，在上风向灭火。将容器从火场移至空旷处。喷水保持火场容器冷却。A.4.3灭火剂选用雾状水、泡沫、干粉。A.4.4如果误吸入四氟化硅，迅速脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给氧。如呼吸停止、心跳停止，立即进行心肺复苏术，并就医。A.4.5皮肤接触：如发生冻伤，用温水（38～42）℃复温，忌用热水或辐射热，不要揉搓。就医。GB/T31058—XXXX7A.5泄漏处理处置A.5.1消除所有点火源。A.5.2根据气体的影响区域划定警戒区，无关人员从侧风、上风向撤离至安全区。A.5.3应急处理人员佩戴内置正压自给式呼吸器，穿气密性化学防护服。A.5.4有液化气体泄漏，注意防冻伤。A.5.5不接触或跨越泄漏物。A.5.6切断泄漏源。A.5.7防止气体通过下水道、通风系统和密闭性空间扩散。A.5.8喷雾状水抑制蒸气或改变蒸气云流向，避免水流接触泄漏物。不用水直接冲击泄漏物或泄漏源。A.5.9隔离泄漏区直至气体散尽。A.6贮存注意事项A.6.1贮存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。A.6.2生产、使用、贮存四氟化硅的装置或场所设置四氟化硅气体泄漏检测报警仪。A.6.3贮存区备有泄漏应急处理设备。A.7废弃处置说明A.7.1根据国家和地方有关法规的要求处置废弃化学品。或与制造商联系,确定处置方法。A.7.2将污染的包装物和容器返还生产商或按照国家和地方法规处置。A.7.3处置前应参阅国家和地方有关法规。