GB/T 26250-2025电子气体砷化氢

ICS7110020

CCSG.86.

中华人民共和国国家标准

GB/T26250—2025

代替GB/T26250—2010

电子气体砷化氢

Electronicgas—Arsine

2025-04-25发布2025-11-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T26250—2025

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替电子工业用气体砷化氢与相比除结构

GB/T26250—2010《》,GB/T26250—2010,

调整和编辑性改动外主要技术变化如下

,:

更改了范围见第章年版的第章

———(1,20101);

更改了砷化氢应符合的技术要求见第章年版的第章

———(4,20103);

更改了采样的要求见第章年版的

———(5,20104.1.2);

更改了纯度计算方法见年版的

———(6.1,20104.2);

更改了氧氩氮一氧化碳二氧化碳甲烷磷化氢含量的测定方法见年版的

———+、、、、、(6.2,2010

4.4、4.5、4.6、4.8);

增加了乙烷乙烯锗烷硅烷硫化氢含量的测定方法见

———、、、、(6.2);

更改了水分含量的测定方法见年版的

———(6.3,20104.7);

更改了尾气处理的要求见年版的

———(6.4,20104.3);

更改了金属元素的测定方法见年版的

———(6.5,20104.9);

删除了颗粒的测定年版的

———(20104.10);

更改了检验规则见第章年版的

———(7,20104.1);

更改了标志包装运输及贮存的要求见第章年版的

———、、(8,20105.1);

更改了安全信息的内容见年版的

———(8.3,20105.2)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本文件起草单位玉门大洋天庆石化有限责任公司昊华气体有限公司西南分公司上海栎智半导

:、、

体科技有限公司全椒南大光电材料有限公司上海亿钶气体股份有限公司北京普瑞分析仪器有限公

、、、

司浙江省标准化研究院中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司福建恒申电子材料科技有限公司

、、()、、

中昊光明化工研究设计院有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司大连大特气体有限公司联雄投

、、、

资上海有限公司上海市计量测试技术研究院杭州新世纪混合气体有限公司沈阳中复科金压力容

()、、、

器有限公司大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司宿州伊维特新材料有限公司北京睿信捷

、、、

环保科技有限公司上海凡伟仪器设备有限公司西南化工研究设计院有限公司

、、。

本文件主要起草人马彬淇马杰潘华杰任如孙建叶凯乔洋董建平沈峰史兰崔雯

:、、、、、、、、、、、

赵赛迪吕磊刘丹孙福楠郭琼赖晓峰王见见依俊廷杜雨桐黄辉李春华杨金山鲍光强

、、、、、、、、、、、、、

王大为李明常侠牛迪谈益强尹乐乐赵洁何波唐中伟周鹏云唐霞梅

、、、、、、、、、、。

本文件于年首次发布本次为第一次修订

2010,。

Ⅰ

GB/T26250—2025

电子气体砷化氢

1范围

本文件规定了电子用砷化氢的技术要求采样检验规则标志包装运输贮存描述了相应的试

、、、、、、,

验方法提供了砷化氢的安全信息

,。

本文件适用于以砷化锌为原料提纯制得的电子用砷化氢

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

危险货物包装标志

GB190

纯氦高纯氦和超纯氦

GB/T4844、

所有部分钢质无缝气瓶

GB/T5099()

气体中微量水分的测定第部分光腔衰荡光谱法

GB/T5832.33:

气瓶颜色标志

GB/T7144

铝合金无缝气瓶

GB/T11640

液化气体气瓶充装规定

GB/T14193

化学品安全标签编写规定

GB15258

气瓶警示标签

GB/T16