标准解读

《T/CEMIA 033-2023 半导体制程8英寸(200 mm)12英寸(300 mm)用石英玻璃炉管》标准针对半导体行业中使用的石英玻璃炉管设定了具体的技术要求和测试方法。该标准适用于直径为8英寸（约200毫米）及12英寸（约300毫米）的炉管，这些炉管主要用于半导体材料的热处理过程。

标准中详细规定了石英玻璃炉管应具备的物理性能、化学稳定性以及尺寸精度等关键指标。对于物理性能而言，包括但不限于抗热震性、耐高温性等；化学稳定性方面，则强调了在特定条件下对酸碱腐蚀的抵抗能力；而尺寸精度则确保了炉管能够精确地适应不同型号的半导体生产设备。此外，还定义了一系列检测方法来验证上述特性的达标情况，比如通过特定条件下的加热冷却循环测试来评估其抗热震性，或是采用化学试剂浸泡实验来考察材料的耐蚀性。

该标准还特别指出了生产过程中需要注意的安全事项与环境保护要求，旨在促进绿色制造的同时保障操作人员健康。同时，对于产品的标识、包装、运输和储存也给出了指导性意见，以保证产品从出厂到用户手中的整个流程中都能保持良好的状态。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2023-06-08 颁布
  • 2023-09-08 实施
©正版授权
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文档简介

ICS31030

CCSL.90

团体标准

T/CEMIA033—2023

半导体制程8英寸200mm

()

12英寸300mm用石英玻璃炉管

()

Quartzglasstubefor8in12inSemiconductorProcess

2023-06-08发布2023-09-08实施

中国电子材料行业协会发布

中国标准出版社出版

T/CEMIA033—2023

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由中国电子材料行业协会提出并归口

。

本文件起草单位上海强华实业股份有限公司北京北方华创微电子装备有限公司北方集成电路

:、、

技术创新中心北京有限公司北京凯德石英股份有限公司中建材衢州金格兰石英有限公司

()、、。

本文件主要起草人蓝呈吕红兵张婷婷余韦华周文华周韦军李军竹芦英杨慧萍曹永友

:、、、、、、、、、、

张忠恕王友军

、。

Ⅰ

T/CEMIA033—2023

半导体制程8英寸200mm

()

12英寸300mm用石英玻璃炉管

()

1范围

本文件规定了半导体制程英寸英寸用石英玻璃炉管的术语和定义分类

8(200mm)12(300mm),

和产品结构技术要求试验方法检验规则标志包装贮存和运输

,,,,、、。

本文件适用于半导体扩散工艺制程英寸英寸用石英玻璃炉管制品包含

8(200mm)12(300mm),

石英外管石英内管石英工艺管及石英双层管以下简称石英玻璃炉管不适用于及以下半

、、(“”),14nm

导体制程用石英玻璃炉管

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

石英玻璃化学成分分析方法

GB/T3284

石英玻璃中羟基含量检验方法

GB/T12442

石英玻璃术语

JC/T2205

洁净室及相关受控环境第部分空气洁净度的分级

ISO14644-11:(Cleanroomsandassociated

controlledenvironments—Part1:Classificationofaircleanlinessbyparticleconcentration)

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

JC/T2205。

31

.

气泡bubble

石英玻璃管内壁的圆形椭圆形空穴

、。

来源有修改

[:JC/T2205—2014,4.1,]

32

.

破皮气泡openbubble

暴露在石英玻璃管内或外表面的开口气泡

。

来源有修改

[:JC/T2205—2014,4.2,]

33

.

气线airline

石英玻璃管壁内或表面平行于管长方向的线状梭状空穴

、。

来源有修改

[:JC/T2205—201

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